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公开(公告)号：CN103261857B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201180061382.3
申请日：2011-12-20
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及用于拉曼光谱学以及用于观察样品（7）的方法和光学设备，所述设备包括光学装置和光学分离装置，所述光学装置用于叠加具有光谱带B0的激励激光束（1）和具有光谱带BV的观察束（2）以便形成组合的激励和观察入射束，所述光学分离装置设置在来自所述样品（7）上的散射的收集束的路径中并且包括能够将所述收集束空间分成第一次级束和两个三级束的第一滤波装置（12）和第二滤波装置（13），所述次级束和所述三级束中的每一个分别包括选自所述激光的光谱带B0、所述观测束的光谱带BV以及所述拉曼散射束的光谱带BR的光谱带。
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公开(公告)号：CN103261857A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180061382.3
申请日：2011-12-20
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及用于拉曼光谱学以及用于观察样品（7）的方法和光学设备，所述设备包括光学装置和光学分离装置，所述光学装置用于叠加具有光谱带B0的激励激光束（1）和具有光谱带BV的观察束（2）以便形成组合的激励和观察入射束，所述光学分离装置设置在来自所述样品（7）上的散射的收集束的路径中并且包括能够将所述收集束空间分成第一次级束和两个三级束的第一滤波装置（12）和第二滤波装置（13），所述次级束和所述三级束中的每一个分别包括选自所述激光的光谱带B0、所述观测束的光谱带BV以及所述拉曼散射束的光谱带BR的光谱带。
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公开(公告)号：CN101680840A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880018636.1
申请日：2008-04-17
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01N21/65 , G01J3/2803 , G01J3/2823 , G01J3/44 , G01N2021/656
Abstract: 一种用于探测样品(1)的表面(2)光谱成像方法和系统。该光谱成像系统包括：高倍放大或低倍放大装置，其包括物镜(5)；外壳(6)，其包括光谱仪；以及扫描装置(11)，其设置在高倍放大或低倍放大装置的物镜(5)与光谱仪之间，且能够沿两个方向X和Y扫描样品表面(2)，以照射样品表面(2)上的被扫描区域(3)。根据本发明，当在被扫描区域上扫描激发射束(8)期间，在探测装置(10)的像素上对在被扫描区域上测量的发射光束(9)的能量进行积分，产生每条像素线的平均光谱数据；存储装置(12)被连接到探测装置(10)，每条像素线的所述平均光谱数据被传送到存储装置(12)，并且所述存储装置(12)包括存储器，所述存储器能够存储M条像素线的平均光谱数据；并且成像装置(13)被连接到存储装置(12)，M条像素线的所述平均光谱数据被同时发送到所述成像装置(13)，以获得被扫描区域的平均光谱图像。
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公开(公告)号：CN106471375B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201580019743.6
申请日：2015-02-19
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
IPC: G01N35/08 , B01L3/00 , G01N21/552 , G01N35/10
Abstract: 本发明涉及一种用于在流体隔室中转移流体样品的系统，其包括第一和第二流体回路、第一注入部件(80)，所述第一和第二流体回路分别连通到流体隔室(10)的第一和第二入口‑出口(1、2)，所述第一注入部件(80)被配置为在所述第一流体回路(11、12、13)中按顺序注入：缓冲溶液；第一分离流体体积后跟流体样品；第二分离流体体积以及另一种缓冲溶液。根据本发明，所述系统包括第一排出部件、第二注入部件(90、91)以及双向循环部件，所述第一排出部件布置在所述第一流体回路上并在所述第一入口‑出口(1)附近，所述第二注入部件(90、91)布置在第二流体回路(21、22、23)上并在所述第二入口‑出口(2)附近，所述双向循环部件被配置为在所述流体隔室(10)中以两个相反方向循环所述流体样品，而不使分离流体进入所述流体隔室(10)。
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公开(公告)号：CN106461458A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580032136.3
申请日：2015-04-17
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G02B21/0048 , G01J3/06 , G01J3/44 , G01N21/65 , G01N2021/656 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B26/101 , G02B26/105
Abstract: 本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的第一和第二反射光学装置(M-X1，M-X2)，适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M-X1，M-XY1)的第一角度倾斜装置(21，25)，以及适配于根据第二旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M-X2，M-XY2)的第二角度倾斜装置(22，26)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)枢转而成角度地倾斜所述光束(2)的轴(12)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102713541B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201080052222.8
申请日：2010-11-18
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
Abstract: 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计，其包括：入射狭缝（3），适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束，所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束。根据本发明，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线上，该叶形曲线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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公开(公告)号：CN101680840B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200880018636.1
申请日：2008-04-17
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01N21/65 , G01J3/2803 , G01J3/2823 , G01J3/44 , G01N2021/656
Abstract: 一种用于探测样品(1)的表面(2)光谱成像方法和系统。该光谱成像系统包括：高倍放大或低倍放大装置，其包括物镜(5)；外壳(6)，其包括光谱仪；以及扫描装置(11)，其设置在高倍放大或低倍放大装置的物镜(5)与光谱仪之间，且能够沿两个方向X和Y扫描样品表面(2)，以照射样品表面(2)上的被扫描区域(3)。根据本发明，当在被扫描区域上扫描激发射束(8)期间，在探测装置(10)的像素上对在被扫描区域上测量的发射光束(9)的能量进行积分，产生每条像素线的平均光谱数据；存储装置(12)被连接到探测装置(10)，每条像素线的所述平均光谱数据被传送到存储装置(12)，并且所述存储装置(12)包括存储器，所述存储器能够存储M条像素线的平均光谱数据；并且成像装置(13)被连接到存储装置(12)，M条像素线的所述平均光谱数据被同时发送到所述成像装置(13)，以获得被扫描区域的平均光谱图像。
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公开(公告)号：CN106461925B9
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201580023009.7
申请日：2015-02-24
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及一种用于拉曼散射显微镜的光学设备，该光学设备包括：激光源(10)，其适于以激发波长λ发射激光束(11)；显微镜物镜(14)，其适于接收激光束(11)，并且将激光束聚焦到显微镜物镜(14)的像平面中，所聚焦的激光束(21)旨在照射样品(20)；光学系统，其适于收集拉曼散射光束(22)；以及检测部件(16，17)，其适于检测收集的拉曼散射束(22)。更特别地，本发明提出了拉曼散射显微镜设备，其进一步包括自适应光学系统(31，32，33)，该自适应光学系统(31，32，33)位于激发激光束(11)的光路上，位于拉曼散射束(22)的光路上，或位于对激发激光束(11)和拉曼散射光束(22)公用的光路上。
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公开(公告)号：CN106461925B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201580023009.7
申请日：2015-02-24
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
Abstract: 本发明涉及一种用于拉曼散射显微镜的光学设备，该光学设备包括：激光源(10)，其适于以激发波长λ发射激光束(11)；显微镜物镜(14)，其适于接收激光束(11)，并且将激光束聚焦到显微镜物镜(14)的像平面中，所聚焦的激光束(21)旨在照射样品(20)；光学系统，其适于收集拉曼散射光束(22)；以及检测部件(16，17)，其适于检测收集的拉曼散射束(22)。更特别地，本发明提出了拉曼散射显微镜设备，其进一步包括自适应光学系统(31，32，33)，该自适应光学系统(31，32，33)位于激发激光束(11)的光路上，位于拉曼散射束(22)的光路上，或位于对激发激光束(11)和拉曼散射光束(22)公用的光路上。
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公开(公告)号：CN106662531B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201580034089.6
申请日：2015-04-28
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
IPC: G01N21/67
Abstract: 本发明涉及一种辉光放电测谱法系统，该辉光放电测谱法系统包括辉光放电灯，辉光放电灯适于接纳固体样本(10)并且形成辉光放电蚀刻等离子体(19)。根据本发明，一种用于原位测量通过蚀刻样本(10)而产生的腐蚀凹口的深度的系统(100)包括：光学分离器(3)；光学装置(4)，其适于分别地将第一入射束(21)向着所述样本的第一区域(11)引导，所述第一区域暴露于所述蚀刻等离子体，并且将第二入射束(22)向着所述样本同一侧的第二区域(12)引导，所述第二区域免受蚀刻等离子体影响；以及光学重组装置(3)，其适于形成干涉测量束(30)，以确定腐蚀凹口的深度(d)。
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