一种载具及自动光学检测设备

    公开(公告)号:CN114518219B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202210167152.5

    申请日:2022-02-23

    Inventor: 赖华惠 邹卫文

    Abstract: 本发明实施例涉及自动光学检测技术领域,公开了一种载具及自动光学检测设备,载具包括支撑架、第一驱动模块、转盘、承载模块、弹性模块和第二驱动模块,第一驱动模块用于驱动转盘转动,承载模块包括载具盘和第一齿轮,第一齿轮固定于载具盘,载具盘转动设置于转盘,弹性模块安装于支撑架,第二驱动模块包括旋转单元和第二齿轮,旋转单元与弹性模块连接,旋转单元用于驱动第二齿轮转动,转盘旋转至第一预设位置时,第一齿轮和第二齿轮啮合,转盘旋转至第二预设位置时,第一齿轮和第二齿轮分离。通过上述方式,本发明实施例能在转盘切换工位时,第二驱动模块无需跟随转盘运动。

    一种带除尘功能的镜片检测设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118130505A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410530643.0

    申请日:2024-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种带除尘功能的镜片检测设备,通过静电除尘风刀在镜片的上方来回移动以对镜片反复除尘,提高除尘效果;镜片翻面组件在除尘工位上对镜片进行翻面,即完成镜片的一表面除尘后,无需再移动镜片,在同工位上翻面,缩短了镜片的两个表面的除尘周期。此外,镜片检测机构的第一检测组和第二检测组件分别位于XY移栽组件的上方与下方,使得检测镜片时无需对镜片翻面,缩短了镜片的两个表面的检测周期。本发明专利提供的镜片检测设备,通过第一控制模块调节控制镜片的除尘周期,使得镜片的除尘周期与镜片检测周期相等,解决了现有的镜片除尘检测设备因除尘工序与检测工序的作业时间差异大而需分机台作业的技术问题,提高了镜片检测效率。

    一种载具及自动光学检测设备

    公开(公告)号:CN114518219A

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202210167152.5

    申请日:2022-02-23

    Inventor: 赖华惠 邹卫文

    Abstract: 本发明实施例涉及自动光学检测技术领域,公开了一种载具及自动光学检测设备,载具包括支撑架、第一驱动模块、转盘、承载模块、弹性模块和第二驱动模块,第一驱动模块用于驱动转盘转动,承载模块包括载具盘和第一齿轮,第一齿轮固定于载具盘,载具盘转动设置于转盘,弹性模块安装于支撑架,第二驱动模块包括旋转单元和第二齿轮,旋转单元与弹性模块连接,旋转单元用于驱动第二齿轮转动,转盘旋转至第一预设位置时,第一齿轮和第二齿轮啮合,转盘旋转至第二预设位置时,第一齿轮和第二齿轮分离。通过上述方式,本发明实施例能在转盘切换工位时,第二驱动模块无需跟随转盘运动。

    一种同步加紧治具装置
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221792432U

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202420127471.8

    申请日:2024-01-17

    Inventor: 杨威 邹卫文

    Abstract: 本实用新型属于同步加紧治具装置技术领域,公开了一种同步加紧治具装置,其中,包括包括底座、夹紧机构和驱动组件,夹紧机构包括夹紧块和弹性夹紧组件,在驱动组件的作用下弹性夹紧组件使得夹紧块相向移动,从而实现对产品的夹紧和固定;在实际应用中,当需要切换产品型号时,操作人员无需拆卸或更换任何零件,即可实现夹紧冶具装置对新产品的适配,这样的设计大大提高了生产线的灵活性和生产效率,同时也降低了夹具的成本和维护成本。

    一种镜片检测装置

    公开(公告)号:CN222212635U

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202420734934.7

    申请日:2024-04-10

    Inventor: 袁文超 邹卫文

    Abstract: 本实用新型公开了一种镜片检测装置,该装置利用安装座上的贯穿式通孔和安装座上的安装架,将光学检测机构分为下端部的第一检测机和上端部的第二检测机,且移载平台能够将镜片移动至第一检测机的上方和第二检测机的下方,在不翻转料盘的情况下,完成镜片的上下面的检测。与现有的镜片检测装置相比,本实用新型公开的镜片检测装置缩减了翻转镜片的工序,缩减了其他待测镜片的等待时间,进而提高了镜片检测效率;同时,无需翻转装有镜片的料盘,解决镜片存在脱离料盘的风险的技术问题。

    一种镜片除尘装置
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN222112868U

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202420665967.0

    申请日:2024-04-02

    Inventor: 袁文超 邹卫文

    Abstract: 本实用新型公开了一种镜片除尘装置,包括底板、设置在底板上的移载机构、除尘机构和翻转机构。移载机构用于输送镜片,除尘机构包括设置于移载机构上方且能相对于镜片移动的静电除尘风刀,当清除镜片的一表面上的灰尘后,通过翻转机构使得镜片的另一面对准静电除尘风刀,再由静电除尘风刀清除镜片另一面上的灰尘。本实用新型公开的镜片除尘装置,能够在一个除尘工位上完成清洁镜片的两面的灰尘,且该除尘工位的大小为镜片的大小,大大减少了镜片移动轨道长的缺陷,能有效减少除尘装置的长度,进而减少除尘装置的体积,提高空间利用率。

    一种晶圆快速检测用转运装置及晶圆检测装置

    公开(公告)号:CN221508131U

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202420094466.1

    申请日:2024-01-15

    Inventor: 杨威 邹卫文

    Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆快速检测用转运装置及晶圆检测装置,晶圆快速检测用转运装置及包括转运底座,转运底座形成有转运口,转运口内设置有升降底座,升降底座能于转运口中升降;升降底座转动连接有摆臂单元,摆臂单元的一端部延伸至转运口外并安装有取片单元;沿水平方向,转运底座于转运口外安装有升降装置,升降装置的升降端部延伸至转运口中,并与升降底座固定连接;沿竖直方向,转运底座于转运口外安装有旋转装置,旋转装置的旋转端部延伸至转运口中,并与摆臂单元固定连接。通过升降装置调节升降底座和摆臂单元的高度,通过旋转装置调节摆臂单元的旋转角度,从而实现取片单元的位置改变,具备高速取放晶圆的优点。

    一种检测工件平面度与平行度的装置

    公开(公告)号:CN221425585U

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202420071640.0

    申请日:2024-01-11

    Inventor: 甘海林 邹卫文

    Abstract: 本实用新型涉及一种检测工件平面度与平行度的装置,包括:底座、伺服电缸、滑动组件和测量组件;所述伺服电缸至少设置三个,所述伺服电缸的下端与所述底座固定,所述伺服电缸的上端用于承放待测工件;所述滑动组件包括滑块、滑轨和支撑件,所述滑块与所述滑轨滑动连接,所述滑轨通过所述支撑件与所述底座固定,且所述滑轨平行于水平面设置;所述测量组件与所述滑块连接,所述测量组件包括用于与待测工件表面接触的测量端。本实用新型公开的检测工件平面度与平行度的装置可以实现对工件待测表面的快速调平,提高检测效率,同时避免了现有技术中容易导致平台的基准面损伤,进而影响后续的测量精度的问题。

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