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公开(公告)号：CN109682469B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201811543754.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 电子光子集成电路股份有限公司 , 何诚中 , 黄莹彦
Abstract: 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅(CCG)及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪(CCGS)或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器(WMDM)模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小(分辨率对比尺寸)RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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公开(公告)号：CN109682469A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811543754.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 电子光子集成电路股份有限公司 , 何诚中 , 黄莹彦
Abstract: 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅(CCG)及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪(CCGS)或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器(WMDM)模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小(分辨率对比尺寸)RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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公开(公告)号：CN107148561B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201580059914.8
申请日：2015-09-10
Applicant: 电子光子集成电路股份有限公司 , 何诚中 , 黄莹彦
Abstract: 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅（CCG）及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪（CCGS）或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器（WMDM）模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小（分辨率对比尺寸）RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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