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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1700404B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200510074943.X
申请日：2001-03-23
Applicant: 中慧科技公司(美商)
Inventor： K-C·R·赵
CPC classification number: H01J37/32541 , B01J19/088 , B01J2219/0813 , B01J2219/083 , B01J2219/0833 , B01J2219/0835 , B01J2219/0841 , B01J2219/0847 , B01J2219/0869 , B01J2219/0898 , H01J37/32009 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H05H1/46
Abstract: 说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。
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公开(公告)号：CN1700403A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510074942.5
申请日：2001-03-23
Applicant: 中慧科技公司(美商)
Inventor： K-C·R·赵
CPC classification number: H01J37/32541 , B01J19/088 , B01J2219/0813 , B01J2219/083 , B01J2219/0833 , B01J2219/0835 , B01J2219/0841 , B01J2219/0847 , B01J2219/0869 , B01J2219/0898 , H01J37/32009 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H05H1/46
Abstract: 说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。
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公开(公告)号：CN100437885C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510074942.5
申请日：2001-03-23
Applicant: 中慧科技公司(美商)
Inventor： K-C·R·赵
CPC classification number: H01J37/32541 , B01J19/088 , B01J2219/0813 , B01J2219/083 , B01J2219/0833 , B01J2219/0835 , B01J2219/0841 , B01J2219/0847 , B01J2219/0869 , B01J2219/0898 , H01J37/32009 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H05H1/46
Abstract: 说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。
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公开(公告)号：CN100337301C
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN01811073.8
申请日：2001-03-23
Applicant: 中慧科技公司(美商)
Inventor： K-C·R·赵
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32541 , B01J19/088 , B01J2219/0813 , B01J2219/083 , B01J2219/0833 , B01J2219/0835 , B01J2219/0841 , B01J2219/0847 , B01J2219/0869 , B01J2219/0898 , H01J37/32009 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H05H1/46
Abstract: 说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。
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公开(公告)号：CN1700404A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510074943.X
申请日：2001-03-23
Applicant: 中慧科技公司(美商)
Inventor： K-C·R·赵
CPC classification number: H01J37/32541 , B01J19/088 , B01J2219/0813 , B01J2219/083 , B01J2219/0833 , B01J2219/0835 , B01J2219/0841 , B01J2219/0847 , B01J2219/0869 , B01J2219/0898 , H01J37/32009 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H05H1/46
Abstract: 说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。
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