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公开(公告)号:CN101183016B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200710186975.8
申请日:2007-11-15
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01D5/34792
Abstract: 本发明涉及一种光学式编码器,该光学式编码器(100)包括发光元件(30)和受光部(40),该发光元件(30)包括具有射出红色光的红色LED(31A)的主信号用发光元件(31)、和具有射出红外光的红外LED(32A)的原点用发光元件(32);该受光部(40)包括接受红色光而生成规定信号的主信号用受光元件(41)、和接受红外光而生成规定信号的原点用受光元件(42)。由此,即使红外光和红色光射入不对应的受光元件而成为入射光,由这些光也不会造成信号的发生,从而,能够良好地防止串扰,使光学式编码器(100)的测定精度高精度化。
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公开(公告)号:CN101140161B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200710149067.1
申请日:2007-09-07
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明的表面形状测定装置包括:动作估计部分(600),基于从仿形矢量指令部分(220)发出的仿形矢量指令,估计驱动机构的动作状态,计算估计动作状态量;校正运算部分(700),按照在动作估计部分(600)计算的估计动作状态量,对驱动传感器的检测值进行校正运算。动作估计部分(600)包括被设定了标准模型的标准模型设定部分(311),校正运算部分(700)包括:校正量计算部分(720),基于估计动作状态量,计算对驱动中的驱动机构变形而产生的测定误差进行校正的校正量;以及测定数据合成部分(430),合成驱动传感器以及检测传感器的检测值和校正量计算部分(720)计算的校正量作为测定数据。
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公开(公告)号:CN101358845B
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200810144381.5
申请日:2008-08-04
Applicant: 三丰株式会社
Inventor: 清谷进吾
Abstract: 一种表面形状测定装置,具备:动作推定部(300),其根据仿形矢量指令部(220)发出的仿形矢量指令来推定驱动机构的动作状态并计算推定动作状态量;校正运算部(400),其根据动作推定部(300)计算的推定动作状态量来校正运算驱动传感器的检测值。动作推定部(300)具有标称模型设定部(311),其设定从仿形矢量指令被发出到反映仿形探测器的移动位置之前的信号传递特性即标称模型,校正运算部(400)包括:校正量计算部(420),其根据推定动作状态量来计算对由驱动中驱动机构变形产生的测定误差进行校正的校正量;测定数据合成部(430),其把驱动传感器和检测传感器的检测值与由校正量计算部(420)计算的校正量进行合成并作为测定数据。
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公开(公告)号:CN1912549B
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:CN200610110768.X
申请日:2006-08-11
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01D5/245
CPC classification number: H03M1/207 , G01D5/24404 , H03M1/303
Abstract: 内插电路将从编码器(40)输出的二相正弦波信号(QA、QB)通过采样保持(S/H)电路(11a、11b)和A/D变换(ADC)电路(12a、12b)进行内插处理,并在用于根据来自外部的数据请求信号RQ输出数据D的编码器输出的内插时,将方向辨别增减计数器(52)配置在二相方波均匀脉冲发生电路(6)附近,同时通过使前述数据请求信号RQ延迟的信号RQ2,锁存并输出数据D。由此,通过降低来自外部的数据请求信号和内插数据的同步误差,使动态精度提高。
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公开(公告)号:CN101021425B
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:CN200710005925.5
申请日:2007-02-15
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01D5/2454 , G01D5/24476 , G01D5/34715 , G01D5/34746
Abstract: 本发明涉及一种光电式编码器(增量编码器或绝对编码器),其具有相对于形成规定图形(增量图形或模拟随机图形)的标尺、可相对变位的检出器,其中,其具有多个感光系统,其用于将所述图形的应该同时检出的检出范围至少在检出方向上分割,而分别在每个检出区域检出。这样,能够使用简单的小型光学系统及感光系统对宽的检出范围进行测定。
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公开(公告)号:CN101113891B
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN200710138135.4
申请日:2007-07-26
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01B11/002 , G01B21/045
Abstract: 本发明的光学式测量装置包括:具有基准线的屏幕;可移动的载物台;使被放置在该载物台上的测量对象物的光学图像成像在前述屏幕上的光学系统;以及在前述屏幕上的任意位置中检测前述光学图像的测量边缘部的通过的边缘检测传感器(112),该光学式测量装置还包括:偏移值存储单元(143),将从前述基准线到前述边缘检测传感器(112)的距离作为偏移值进行存储;以及校正数据计算单元(144),对于利用前述基准线和前述边缘检测传感器(112)测量的测量数据,利用前述偏移值进行校正。
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公开(公告)号:CN1979096B
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN200610164042.4
申请日:2006-12-06
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01D5/34746
Abstract: 本发明涉及一种光电式编码器,其为具有形成在标尺上的第二格栅和配设在检测部侧的第一、第三格栅的三格栅型的光电式编码器,其至少将第一格栅的一部分在测定轴方向上移动P/(2n)(P:格栅节距,n:要除去的高次谐波的次数),而除去第n次高次谐波。由此,不提高制造成本,而除去高次谐波,实现高精度化。
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公开(公告)号:CN1800778B
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200610051308.4
申请日:2006-01-05
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01B21/04
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法。提供在要被估计的测量机中的测量值以估计测量值中的误差。根据估计的测量值中的误差导出测量值的协方差矩阵或相关矩阵。然后对协方差矩阵或相关矩阵进行特征值分解以导出特征值和特征向量。产生期望值为0、方差等于对应于特征向量的特征值的正态随机数作为耦合各特征向量的系数,并线性耦合所有特征向量以产生测量机的伪测量值。对产生的伪测量值进行统计处理以估计测量机的不确定性。
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公开(公告)号:CN101713645A
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200910254203.2
申请日:2006-01-05
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法,包括:基于估计的测量机的精度描述估计长度测量的不确定性;从估计的不确定性计算方差,并且通过一定的函数来近似协方差,以导出协方差矩阵或相关矩阵;从对上一步骤中导出的协方差矩阵的特征值分解中导出特征值和特征向量;通过产生正态随机数作为耦合在上一步骤中导出的各特征向量的系数来产生测量机的伪测量值并综合所有特征向量,该正态随机数具有期望值0并且方差等于对应于特征向量的特征值;以及通过对在前面步骤中获得的伪测量值进行统计处理来估计测量机的不确定性。
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公开(公告)号:CN1769844B
公开(公告)日:2010-05-05
申请号:CN200510124979.4
申请日:2005-10-13
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01D5/2448 , G01D5/24452 , G01D5/2449 , G01D5/24495
Abstract: 使用相对简单的数字计算消除包含在两相正弦信号中的偏移误差、幅度误差、相位误差和第三谐波分量。检测并校正包含在从编码器输出的带有相差的两相正弦信号中的偏移误差。然后,检测并校正包含在校正过偏移的两相正弦信号中的幅度误差。接下来,检测并校正包含在校正过幅度的两相正弦信号中的相位误差。进一步地,检测并校正包含在校正过相位的两相正弦信号中的第三谐波失真。每个校正步骤包括检测来自包含在该校正过的两相正弦信号中的理想Lissajous波形的误差。并将检测到的误差加到累积相加的最后值中,以产生新的校正系数,由此动态更新该校正系数。
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