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公开(公告)号：CN111468046A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010076593.5
申请日：2020-01-23
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor： R·J·格尔特森
IPC: B01J8/10 , C01B33/027 , C01B33/029 , C01B33/03 , C01B33/031
Abstract: 一种通过在搅拌或混合颗粒床中分解前体气体来生产颗粒或涂覆材料的颗粒的设备，包括反应器容器；致动器组件，该致动器组件包括至少部分设置在反应器容器中的轴；以及联接到轴并且能够与轴一起旋转的致动器元件。该设备还包括与致动器组件流体连通的前体气体供应装置。致动器组件被构造成当种子颗粒被接收在反应器容器内时，利用致动器元件使种子颗粒床的种子颗粒在反应器容器中循环，并且将来自气体供应装置的前体气体引入到种子颗粒床。
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公开(公告)号：CN109414728A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780027662.X
申请日：2017-04-19
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor： 罗伯特·J·格尔特森
Abstract: 通过使吹扫气体穿过含有作为粗颗粒材料和细颗粒材料的混合物的引入材料的旋转转鼓的室，从粗颗粒材料和细颗粒材料的混合物中分离细颗粒材料。具体地，可以将多晶硅粉末与粒状多晶硅分离。在所述设备的气体运送部件相对于彼此移动的位置处，存在密封件，以阻挡吹扫气体逸出到设备周围的大气中。下游密封件在静止的排气管道和与转鼓一起旋转的排气管之间延伸。所述密封件由输送到排气管道和排气管之间的间隙的清洁的冲洗气体流保护。集尘组件接收分离的细颗粒材料。从转鼓中收集滚动过的颗粒材料，所述滚动过的颗粒材料与引入的多晶硅材料相比具有降低的细颗粒材料的重量百分比。
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公开(公告)号：CN107406976A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580071050.1
申请日：2015-06-25
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor： 迈克尔·V·斯潘格勒 , 马修·J·米勒 , 杰弗里·A·汉森
IPC: C23C16/24 , C01B33/035 , C23C16/442 , B01J8/18 , F27B15/06
Abstract: 本发明公开了用于制造高纯度硅包覆粒子的流化床反应器系统。容器具有外壳、所述外壳内向的绝缘层、所述外壳内向的同心内壳、和定位在所述内壳的内向并限定反应器室的同心衬里。所述内壳和衬里在它们的底部由O形环密封布置密封在一起，以防止所述反应器室中的气体进入所述内壳和所述衬里之间的空间。中央入口喷嘴在所述反应器室中产生竖直的气体羽流。
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公开(公告)号：CN105460938A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201410460636.4
申请日：2014-09-11
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor： 迈克尔·V·斯潘格勒 , 马修·J·米勒
IPC: C01B33/027 , B01J8/24
CPC classification number: C23C16/24 , C01B33/027 , C23C16/4417 , C23C16/442
Abstract: 本发明公开了用于流化床反应器的阻挡元件，特别地，公开了一种阻挡元件及其在流化床反应器中的使用方法的实施方式。所述阻挡元件包含多个接纳元件和多个连接所述接纳元件的连接元件，每个接纳元件包含定义了通路的管状壁，所述通路的大小适于接纳内部反应器部件，其中所述阻挡元件占据所述流化床反应器的反应仓室的水平截面的15-60％。
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公开(公告)号：CN104718159A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201480000475.9
申请日：2014-04-04
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor： 罗伯特·J·格尔特森
IPC: C01B33/02
CPC classification number: C01B33/027 , Y10T137/0318
Abstract: 本发明公开一种用于减少或减轻多晶硅金属污染的方法和系统。本发明公开包含内表面至少部分地涂有包含弹性体微孔聚氨酯的内层的挠性合成树脂管的传送装置，用于与超纯粒状多晶硅的制造和产物处理程序相关联的流化床反应器操作中。使用管道实现多晶硅通过减轻了来自典型地存在于此类制造单元中的别的来源的外来金属接触污染。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102084038B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN200980118732.8
申请日：2009-05-20
Applicant: 瑞科硅公司
CPC classification number: C30B29/06 , C01B33/027 , C30B11/04
Abstract: 本发明提供一种制造固体多晶硅锭或晶片的方法，所述方法包括：将含硅气体引入至反应室内，其中所述反应室包含反应室壁和产物出口，所述反应室壁具有(i)面对反应空间的内表面和(ii)相反的外表面；在所述反应器空间内产生等离子体；通过使所述含硅气体经受足够的温度来热分解所述含硅气体，从而制造液体硅；在使所述含硅气体发生热分解的同时，将所述反应室壁的内表面保持硅熔点温度以下的平衡温度下；以及将所述液体硅从所述产物出口直接引入至模块中以将所述液体硅铸造成固体多晶硅锭或固体多晶硅晶片。
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公开(公告)号：CN102713001A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080052371.4
申请日：2010-11-17
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor： E·韦恩·奥斯本 , 迈克尔·V·斯潘格勒 , 莱维·C·艾伦 , 罗伯特·J·格尔特森 , 保尔·E·埃格 , 沃尔特·J·施图平 , 杰拉尔德·蔡因格尔
IPC: C23C16/442 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/442 , C23C16/24 , C23C16/4404 , C23C16/4417 , C23C16/45576 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , Y10S118/05
Abstract: 公开了一种用于产生高纯度涂硅颗粒的流化床反应器系统。容器具有：外壁、在该外壁内侧的绝热层、至少一个位于该绝热层内侧的加热器、在该加热器内侧的可拆卸同心衬里、中央进口喷嘴、多个流态化喷嘴、至少一个冷却气体喷嘴、以及至少一个产品出口。该系统可以包括在所述衬里内侧的可拆卸同心套筒。在特定系统中，所述中央进口喷嘴被构造成用以在反应器腔室的中央产生一次气体竖直柱以最小化反应器表面上的硅沉积。
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公开(公告)号：CN102084038A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980118732.8
申请日：2009-05-20
Applicant: 瑞科硅公司
CPC classification number: C30B29/06 , C01B33/027 , C30B11/04
Abstract: 本发明提供一种制造固体多晶硅锭或晶片的方法，所述方法包括：将含硅气体引入至反应室内，其中所述反应室包含反应室壁和产物出口，所述反应室壁具有(i)面对反应空间的内表面和(ii)相反的外表面；在所述反应器空间内产生等离子体；通过使所述含硅气体经受足够的温度来热分解所述含硅气体，从而制造液体硅；在使所述含硅气体发生热分解的同时，将所述反应室壁的内表面保持硅熔点温度以下的平衡温度下；以及将所述液体硅从所述产物出口直接引入至模块中以将所述液体硅铸造成固体多晶硅锭或固体多晶硅晶片。
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公开(公告)号：CN101316651A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680026513.3
申请日：2006-07-19
Applicant: 瑞科硅公司
CPC classification number: C01B33/027 , B01J8/1818 , B01J8/1827 , B01J8/1854 , B01J8/1863 , B01J8/245 , B01J8/26 , B01J19/26 , B01J2208/00407 , B01J2208/00415 , B01J2219/00038 , B01J2219/00119 , B01J2219/185 , B01J2219/1923
Abstract: 通过含硅气体的高温分解和硅沉积到流化的硅粒子上而形成多晶硅。公开了多淹没式喷动流化床反应器(10)和具有二级孔(20)的反应器。
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公开(公告)号：CN101218175A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200680020688.3
申请日：2006-04-06
Applicant: 瑞科硅公司
IPC: C01B33/035
CPC classification number: C01B33/035
Abstract: 将多晶硅沉积到管状体或其它中空体上。所述中空体代替常规西门子型反应器的细长棒，并且可通过简单的电阻元件被内部加热。选择中空体的直径，以提供比硅细长棒大得多的表面积。选择中空体材料，使得在冷却后，由于收缩率不同，沉积的多晶硅易于与中空体分离并落入收集器中。
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