公开(公告)号：CN202925094U

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201220457286.2

申请日：2012-09-07

Applicant: 清华大学

Inventor： 刘马林 ,  邵友林 ,  刘兵 ,  朱钧国 ,  张秉忠

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  G21C21/02 ,  G21C21/14

Abstract: 本实用新型涉及液体蒸发技术领域，特别涉及一种定量蒸发装置。该装置包括：液体罐、液体流量控制器、电热球、气源和气体流量计；所述液体罐内装有待蒸发的液体，液体罐下连有液体流量控制器；所述气源用来提供夹带气；所述液体流量控制器通过管路与电热球连接；所述电热球还与气体流量计相连，电热球用于加热流入其中的液体并使液体全部汽化；所述气体流量计位于气源和电热球之间，用来控制夹带气的流量。本实用新型提供的定量蒸发装置，通过采用液体流量控制器和气体流量计准确控制蒸发量，实现了液体蒸发的定量自动化控制，并且本装置结构和工艺简单，易于实施和操控，生产效率高，当蒸发量随工艺要求变化时，重新调整工艺参数也较为简单。