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公开(公告)号：CN115371554A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001794.4
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机属于精密测量仪器；本机由主机座、支柱底座、立向支撑柱构成机架；在主机座上可纵、横向移动配装带有V型工作台的横向气浮轴套；纵向激光干涉仪、第一激光干涉仪、第二激光干涉仪发射的测距激光光线正交汇聚至探针测球处，通过结构设计，消除了一阶测量误差；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。
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公开(公告)号：CN115371553A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001793.X
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域；包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有移动机构，样品固配座跟随移动机构运动，在样品固配座的上侧面竖直设置有相互垂直的激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴，立轴的下端安装有吊挂架，吊挂架下端设置有探针及激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115371551A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001788.9
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪属于精密测量仪器；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架；在主机座上可纵向移动配装带有纵向激光反射镜、横向激光反射镜、立向激光反射镜的样品固配座；立轴通过立向运动座、横向运动座配装在横向导轨上，可通过立轴在横向和立向上移动横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪、立向激光干涉仪及探针；本发明通过楔形气浮结构提高了纵向滑动件底面充裕的空间，于纵向滑动件底面设置立向激光反射镜和立向激光干涉仪，使得本发明具有微纳米级测量精度的同时，兼具大测量范围，可以实现对大尺寸微纳米级精度零件的高精度测量。
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公开(公告)号：CN112303175B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202011189248.9
申请日：2020-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/03 , F16F15/067
Abstract: 基于主动电磁负刚度结构的六自由度隔微振器属于精密隔振技术领域，包括上板、基板以及连接上板和基板的六套主动电磁负刚度结构。主动电磁负刚度结构利用同轴嵌套双磁环结构在垂向实现刚度不可调整的负刚度特性，并利用与双磁环负刚度结构同轴嵌套的通电线圈产生精密可控的励磁磁通，改变动磁环周围的偏置磁场，进而实现负刚度值的调整，适应隔振负载质量及激励频率的变化。磁环间隙与正刚度隔振器的起落运动方向垂直，不限制隔振负载的振动幅值；偏置磁场由定磁环提供，线圈中只需较小的电流产生励磁磁通对偏置磁场进行调节，而无需持续的高能量输入，系统能耗低。
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公开(公告)号：CN111734775B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010605236.3
申请日：2020-06-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于负刚度磁弹簧的大承载超低频空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域，包括双腔室空气弹簧隔振器和负刚度磁弹簧，负刚度磁弹簧同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内，主气室的底部设置环形橡胶垫，主气室与附加气室之间均匀设置2～10个节流孔；负刚度磁弹簧由沿径向磁化的定磁环、关于定磁环的轴向高度中心对称布置的上动磁环与下动磁环同轴嵌套构成，上动磁环与下动磁环沿轴向反向磁化；本发明固有频率低，阻尼系数大，集成度高，能够实现精密仪器设备的低频/超低频隔振效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112378475A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011283047.5
申请日：2020-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种大长径比立式罐容积连续激光扫描内测装置及测量方法，属于激光扫描技术领域，其技术方案包括激光扫描器、沿立式罐轴线方向设置的导轨，在导轨上设置有带动激光扫描器沿导轨长度方向滑动的传动组件；立式罐内且位于靠近立式罐的入口端和底端分别设置有拼接靶标；立式罐外侧设置有数据处理器，数据处理器连接所述激光扫描器。本方案对罐体圆柱面部分点云数据测量时采用激光扫描器沿圆截面二维扫描加沿导轨竖直等距移动的方式，在罐体两端部分数据测量时，通过合理设站，在有效扫描范围内合理设置数据拼接靶标的位置，保证端顶部分测量数据及拼接后的点云数据具有同样的测量精度，实现对大长径比立式罐体的容积快速高精度的测量。
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公开(公告)号：CN112378474A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011282217.8
申请日：2020-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种大长径比卧式罐容积多站三维激光扫描内测装置及方法，属于激光扫描技术领域，其技术方案包括激光扫描器、沿卧式罐轴线方向设置的导轨、拼接靶标和处理器，所述导轨上设置有带动激光扫描器沿导轨长度方向滑动的传动组件，激光扫描器在传动组件带动下设置有多个测量站点，所述拼接靶标设置于相邻两测量站点之间，且位于相邻两测量站点的公共扫描范围内，所述处理器放置于卧式罐外，接收激光扫描器测量数据，并对数据进行拼接处理后计算容积值。将激光扫描器沿罐体轴线方向伸入罐体内部进行测量，通过对多站测量的点云数据拼接的方式获得高精度且精度相等的测量数据，解决了现有技术不能够针对大长径比卧式罐体容积测量的问题。
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公开(公告)号：CN109187640B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201810907221.5
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 接触或非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN111734779A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010606305.2
申请日：2020-06-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于径向磁化磁环负刚度结构的超低频空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域，包括双腔室空气弹簧隔振器和负刚度磁弹簧，负刚度磁弹簧同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内，主气室的底部设置环形橡胶垫，主气室与附加气室之间均匀设置2～10个节流孔；负刚度磁弹簧包括沿径向磁化、轴向高度中心处于同一水平线上的内定磁环、动磁环和外定磁环同轴嵌套，内定磁环与外定磁环的磁化方向相同，与动磁环的磁化方向相反；本发明固有频率低，阻尼系数大，集成度及稳定性高、可以避免冲击扰动激励导致动磁环与主气室底部产生刚性碰撞，实现精密仪器设备的低频/超低频隔振效果。
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公开(公告)号：CN111677798A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010605233.X
申请日：2020-06-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于磁引力正负刚度并联的水平二自由度电磁隔振装置属于精密隔振技术领域，X向磁弹簧与Y向磁弹簧垂直布置、并联连接，实现水平二自由度的正负刚度结构并联；X向磁弹簧由第一定磁铁、第一动磁铁、第二动磁铁和第二定磁铁沿水平X轴依次阵列构成，Y向磁弹簧由第三定磁铁、第三动磁铁、第四动磁铁和第四定磁铁沿水平Y轴依次阵列构成；本发明结构设计简单灵活、固有频率低、磁材料利用率高，能实现精密仪器设备的水平二自由度低频/超低频隔振效果。
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