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公开(公告)号：CN101985935B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201010565609.5
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有罗茨转子，所述的从动轴有两根，平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点，能实现较大的抽气速率。
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公开(公告)号：CN102072160A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201110029659.6
申请日：2011-01-27
Applicant: 东北大学 , 沈阳华润三洋压缩机有限公司
IPC: F04C29/12
Abstract: 一种滚动转子式压缩机泵体排气装置，主要包括设有圆形孔道的气缸、带折弯的阀片、带台阶的升程限制器、带有阶梯型排气孔的气缸端盖、垫片。阀片、垫片、升程限制器安装在气缸的孔道内；压缩机装配完成后，气缸上端盖、下端盖及压缩机外壳封闭了气缸上的孔道，形成以阀片开启时为入口，气缸端盖上的阶梯排气孔为出口的排气空间。该排气装置具有排气损失小，排气噪声低，且易于加工装配的优点。
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公开(公告)号：CN101985938A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010565676.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
Abstract: 本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴通过轴端的齿轮啮合带动从动轴，两根从动轴平行且对称的装配在主轴两侧。主轴和两侧从动轴上均装配有螺杆转子和罗茨转子，每根轴上的螺杆转子和罗茨转子通过隔板隔开。本发明能在较宽的压力范围内有较大的抽速，而且较之于两轴的复合干泵抽速提高近一倍，同时具有良好的动平衡特性，可靠性和使用寿命都得到较大的提高。
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公开(公告)号：CN101392751A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810228433.7
申请日：2008-10-31
Applicant: 东北大学 , 成都南光机器有限公司
Abstract: 本发明提供一种大抽速的高真空干式真空泵，涉及真空技术领域，包括壳体、底座、转子和定子，转子固定在主轴上，转子由涡轮级转子和转子体组成，涡轮级转子设置在转子体上部，涡轮级转子由叶轮组成，转子体包括牵引分子级转子和旋涡级转子，旋涡级转子位于牵引分子级转子的外圆周上，涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，牵引分子级转子之间设有牵引分子级定子，旋涡级转子外侧设有旋涡级定子。本发明汇集了拖动气体分子运动，涡轮分子和旋涡加速的原理，达到具有大抽速、高真空能力和直排大气的干式真空泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。
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公开(公告)号：CN119508184A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411671795.9
申请日：2024-11-21
Applicant: 东北大学
IPC: F04B37/14 , F04B39/00 , F04B39/10 , F04B39/12 , F16L55/052 , F16L55/055
Abstract: 本发明涉及真空机组技术领域，具体涉及一种用于真空机组的排气压力脉动调节装置及其真空机组，包括外壳体和调节机构。调节机构包括筒状结构件和调节缓冲主体。筒状结构件的进气端、内腔和连通孔之间形成的第二气流通道。调节缓冲主体设置于筒状结构件的内腔中，调节缓冲主体将筒状结构件分成缓冲区和气动缓冲区两部分。在排气过程中，根据缓冲区和气动缓冲区之间的压差情况自适应地利用调节缓冲主体进行气流通道的分离，对管路的冲击和作用力较小。当排气压力过大时，调节缓冲主体还能够进行减震缓冲，可达到调节排气压力脉动的目的。排气压力脉动调节装置装置排气压力脉动调节装置具有空间体积小、密封性好、结构简单等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119144935A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202310706359.X
申请日：2023-06-14
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明公开一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法，使柔性基膜经过真空卷绕镀膜设备的多个工作区，分别在正、反面上进行真空镀膜过程，制备导电膜层；真空镀膜过程包括通过磁控溅射镀膜在柔性基膜上制备致密的种子膜层，以及通过蒸发镀膜在柔性基膜上的种子膜层上制备增厚膜层，从而在柔性基膜上形成导电膜层。磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊内均通有冷却介质，在磁控溅射镀膜和蒸发镀膜时对柔性基膜进行冷却。通过施加偏压使柔性基膜在绕经磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊时与磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的表面紧密贴合，以获得更好的冷却效果。在柔性基膜绕经磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的下游侧区域分别设置有辅助电场，辅助电场对柔性基膜起辅助脱辊作用。
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公开(公告)号：CN116598511A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310518955.5
申请日：2023-05-10
Applicant: 东北大学
IPC: H01M4/66 , H01M4/80 , H01M4/13 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开一种复合集流体薄膜的制备方法。复合集流体薄膜包括：聚合物基底，包括正面和反面，且沿正面至反面方向设有通孔；和，分别位于正面、反面的金属镀层；其中，通孔被金属镀层材料填充，使位于正面和反面的金属镀层连通。制备方法包括：将聚合物基底展平固定；沿聚合物基底的法向进行激光打孔，获得具有通孔的聚合物基底；其中，通孔的孔径为0.5μm‑5μm；对通孔的内壁进行表面改性处理，使通孔的内壁具有梯度疏水性；分别采用金属镀层材料在具有梯度疏水性通孔的聚合物基底的正面和反面制备金属镀层，并使金属镀层材料填充通孔，金属镀层材料在通孔中的填充度为99.7％以上；将极耳焊接于金属镀层中的任一层。
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公开(公告)号：CN114607598B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202011445831.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
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公开(公告)号：CN114607600B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202011447705.X
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。
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公开(公告)号：CN114607599A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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