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公开(公告)号：CN110394908A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910623743.7
申请日：2019-07-11
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种翻转式半导体解理装置，具有一个置于底板上的支撑架，所述支撑架中间凹槽内放置晶圆翻转机构，两端分别装有晶圆裂片机构和晶圆划刻机构，且晶圆裂片机构和晶圆划刻机构分别可沿支撑架两侧的导轨移动，位于晶圆裂片机构一端的支撑架上放置裂片盘，位于晶圆划刻机构一端的支撑架上定位连接晶圆吸附盘，所述晶圆吸附盘上放置晶圆片，由晶圆划刻机构将晶圆划刻出多组等间距的划痕，通过晶圆翻转机构把划刻好的晶圆片连同晶圆吸附盘翻转至支撑架另一侧与裂片盘相贴合，由晶圆裂片机构采用背压方式让划刻好的晶圆片解理断裂，进而实现了半导体晶圆解理的自动化加工方式。
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公开(公告)号：CN110265316A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910573847.1
申请日：2019-06-28
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种半导体材料解理过程中偏移裂片载荷的获取方法,包括：使用刀片在晶圆上进行刻划产生划痕，根据晶圆上的划痕测量出划痕长度L、晶圆厚度H以及划片深度a，根据划痕底部的中心点O作为原点建立二维坐标系得到O1和O2，进而根据解离断裂应力公式判断出晶圆断裂需要的最小偏移裂片载荷。
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公开(公告)号：CN109551310A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811504521.5
申请日：2018-12-10
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明属于抛光技术领域，公开了一种电磁铁式磁性复合流体抛光装置，包括：机箱，机箱中安装有电机和传动机构；电磁铁，电磁铁通过传动机构与电机转动连接，电磁铁上缠绕有通电线圈；储液箱，储液箱固定安装在机箱上，其中，储液箱中容纳有磁性复合流体；磁性复合流体通过储液箱流入待处理孔洞中；电刷，电刷安装在储液箱上且外接电源，其中，电刷还与通电线圈电连接；以及外壳，安装在电磁铁的外表面，外壳与电机转动连接；在通电状态下，磁性复合流体在电磁铁产生的磁场作用下，在外壳的表面形成抛光头以对待处理孔洞进行抛光。本发明具有装配简单，操作方便，使用可靠，稳定性好，抛光效率高，抛光效果优且无需清洗等优势。
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公开(公告)号：CN108942646A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810763281.4
申请日：2018-07-12
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B41/00
Abstract: 本发明涉及一种行星齿轮式磁性复合流体抛光装置，机箱下端固定连接轴承座，所述轴承座下端通过限位板转动连接外壳；所述机箱内通过安装板固定连接电机，电机的主轴通过联轴器固定连接转轴；转轴上部通过轴承安装在轴承座内，下部通过U型轴承与轴承座的底板连接；所述U型轴承固定连接位于外壳内的针杆，针杆上部固定连接主行星轮，主行星轮啮合连接副行星轮，副行星轮啮合连接外壳上部的内齿轮，且副行星轮通过连接轴与针杆转动连接；所述针杆下部固定连接多个磁铁环，且磁铁环置于外壳内，由电机驱动针杆带动主行星轮和连接轴转动，使副行星轮围绕主行星轮转动，副行星轮使内齿轮与主行星轮反向转动，从而使外壳与磁铁环的转向相反。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108340214A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810022437.3
申请日：2018-01-10
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种超声振动辅助磨削的材料亚表面裂纹深度预测方法，首先在平行于振动方向上连接压痕轮廓两端点作为长度a，在垂直于振动方向上连接压痕轮廓两端点作为宽度b，计算长宽比系数μ=a/b；然后根据长宽比系数对压痕区域内垂直于振动方向的压痕宽度d进行采样测量；进而根据压痕宽度d计算等效特征半径r，并测量压痕区域的侧向裂纹lc，然后计算等效断裂韧性KIC；最后根据亚表面裂纹深度与表面粗糙度、表面粗糙度与进给量、进给量与垂直载荷之间的关系，利用等效断裂韧性预测亚表面裂纹深度。该方法可以对超声振动磨削过程中材料亚表面裂纹深度进行预测，推动超声振动辅助磨削加工技术的去除机理研究。
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公开(公告)号：CN106181771B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610724244.3
申请日：2016-08-25
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B49/02
Abstract: 本发明涉及一种外圆切入式磨削工件圆度误差实时计算方法，首先，采集磨削全过程中的声发射信号，并对该信号进行滤波处理；接着通过傅里叶变换提取所获得信号的谐波频率及对应的振幅；然后通过工件最终轮廓是砂轮对工件每圈叠加加工效果的总和，并结合谐波频率及振幅建立工件轮廓水平展开后的轮廓轨迹方程；最后应用经过变形处理的最小二乘法来计算工件圆度误差。该计算方法对外圆切入磨削过程中工件圆度误差进行实时计算，克服了现有外圆磨削对圆度仪的依赖，提高磨削加工效率，节约生产成本。
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公开(公告)号：CN106181762B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610534389.7
申请日：2016-07-08
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种磁性复合流体集群式抛光头，包括连接支架、磁铁转轴、载液盘转轴、载液盘转轴底部端盖、带轮机构、V带、载液盘、驱动电机，所述连接支架内装有三个磁铁转轴，每个磁铁转轴设有可调磁铁以及可调磁铁自转的偏心距机构，并连接一个驱动电机，所述连接支架下端通过载液盘转轴底部端盖连接用于携带磁性抛光液旋转的载液盘转轴，载液盘转轴通过V带连接带轮机构，带轮机构连接驱动电机。通过调整三个磁体转轴的转速、调整磁铁转轴携带的磁铁磁性大小、改变磁铁自转的偏心距可以对抛光过程材料的去除率实施有效控制。本发明具有结构紧凑，体积小和质量轻的优点。
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公开(公告)号：CN106985013A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710363460.4
申请日：2017-05-22
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种群集式磁流变抛光头，线圈支架沿抛光头支架周向均布，每个线圈支架中间的曲形横梁上缠绕线圈，线圈并与外界电源相连，形成所需的磁场，每两个线圈支架间设有一个磁流变液固转换通道，所述抛光头支架中间装有磁流变抛光头，磁流变抛光头上设有磁流变液喷头，磁流变液喷头与磁流变液通道连接，所述磁流变液通过磁流变液通道流入磁流变液喷头，由磁流变液喷头将磁流变液喷向磁流变液固液转换通道，在线圈通电形成所需的磁场作用下变为固体形成抛光平面，用于抛光光学元件。本发明结构简单，通过改变通电周期使两组磁流变液固液转换通道交替形成抛光平面，从而实现不间断抛光，增加抛光区域的接触面积，以提高抛光效率。
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公开(公告)号：CN106863023A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710131712.0
申请日：2017-03-07
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B1/00
CPC classification number: B24B1/005
Abstract: 本发明涉及一种可调式磁性复合流体抛光头机构，该机构包括磁铁旋转机构、载液板旋转机构，所述磁铁旋转机构中的永久磁铁偏心固定在磁铁盘下方，磁铁盘通过主轴连接电机一，由电机一驱动主轴带动永久磁铁转动，产生高速旋转的磁场；所述载液板旋转机构中的连接支架为圆形套筒，安装于所述磁铁旋转机构的外侧；载液板作为连接支架的端盖，安装在永久磁铁下方；V型带套接在V型带轮和连接支架上，电机二通过联轴器连接V型带轮，由电机二通过V型带轮驱动连接支架及其上的载液板旋转，使载液板上的磁性复合流体旋转，从而实现对工件抛光去除。本发明结构简单，材料去除效率高，适用的磁性簇尺寸范围广等特点。
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