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公开(公告)号：CN104079262A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410112799.3
申请日：2014-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/215 , H03B5/32 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够使X同相模式的谐振频率与主模式的谐振频率充分隔开，且防止一对导电性粘接剂彼此的短路，小型且发挥优异的振动特性，而且具有高可靠性。本发明的振子（100）包含：振动元件（200），其包含基部（220）、从基部（220）起延伸的振动臂（230、240）和设置于振动臂（230、240）之间的支承臂（250）；支承有振动元件（200）的封装（400）；以及将支承臂（250）固定到封装（400）的导电性粘接剂（451、452），支承臂（250）具有末端部（251）、和宽度比末端部（251）的宽度小的宽度减小部（252），导电性粘接剂（452）在俯视时与宽度减小部（252）的至少一部分接触。
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公开(公告)号：CN103973251A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410171614.6
申请日：2011-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备：多个棒状的振动臂(15a、15b)；基部(12)，其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接；锤部(20a、20b)，其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b)；槽部(17a、17b)，其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且，具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30～36)，在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。
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公开(公告)号：CN103731118A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201410012335.5
申请日：2010-11-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/21 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H03B5/32 , H03H9/02 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备。振动片具有：基部，在其一端与另一端之间设置有切入部；一对振动臂，在俯视时从基部的一端起沿着第1方向延伸；支撑部，在俯视时与基部的另一端侧连接，振动臂的机械谐振频率f比振动臂的热缓和频率f0大，当设在俯视时切入部的外缘与一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最短距离为基部弯曲宽度Wb，设假想振动臂的臂宽为有效臂宽We时，满足Wb＞We的关系，其中，假想振动臂沿着包含与第1方向交叉的第2方向和振动臂的厚度方向的面的截面形状为矩形，假想振动臂的机械谐振频率与振动臂的机械谐振频率f相等，热弹性损失与振动臂的热弹性损失等价，厚度与振动臂的厚度相同。
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公开(公告)号：CN103684338A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310409523.7
申请日：2013-09-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/2489
Abstract: 本发明提供一种振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，即使小型化，也能够防止由导电性粘接剂的泄漏扩展引起的导电盘侧的短路。该振动片具有：基部；至少2个振动臂，其从所述基部朝相同侧突出，排列设置在预定方向上；支承臂，其从所述基部朝与所述2个振动臂相同侧突出，位于所述2个振动臂之间，而且在一个主面具有凹部；以及第1导电盘和第2导电盘，在俯视所述一个主面时，该第1导电盘和第2导电盘隔着所述凹部而排列设置。
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公开(公告)号：CN101847978B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201010148319.0
申请日：2010-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/215
Abstract: 本发明提供抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。在由基部(52)和从基部(52)一端侧延伸出的一对振动臂(53、54)构成的音叉型石英振动片(50)中，在包括各振动臂(53、54)的与基部(52)相连的根部附近区域形成激励电极(36A、37A)。振动臂(53、54)沿图中箭头(G)的方向弯曲振动时压缩或拉伸应力作用的第1区域(110、112)和第2区域(111、113)热连接。振动臂(53、54)各自的热传导路径的条数设为m、热传导路径的热阻率设为ρth、振动臂(53、54)热阻率设为ρV、与振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tv、热传导路径的振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tth时，满足tth≥(1/m)×tv×(ρth/ρv)的关系。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102487267A
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201110393650.3
申请日：2011-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备：多个棒状的振动臂(15a、15b)；基部(12)，其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接；锤部(20a、20b)，其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b)；槽部(17a、17b)，其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且，具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30～36)，在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。
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公开(公告)号：CN102170275A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110045508.X
申请日：2011-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/02 , A63F13/08 , A63F2300/204 , G04F5/06 , G06F1/1616 , H03B28/00 , H03H3/02 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，它们能够提高抗冲击特性。石英振动片(1)是对相对于石英晶轴以规定角度切出的Z板进行蚀刻成形而成的振动片，其具备：基部(10)；从基部起在Y轴方向上延伸的一对振动臂(11)；以及在X轴方向上切入基部而成的X轴正向缺口部(12)和X轴负向缺口部(13)，X轴正向缺口部形成为从X轴负侧向正侧切入基部、并且该X轴正向缺口部的宽度随着接近外周(10b)而变宽。
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公开(公告)号：CN108183698B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201810116361.0
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)具有石英基板(3)，该石英基板(3)具有：基部(4)；从基部(4)起延伸的一对振动臂(5、6)；以及支承臂(71)，其在振动臂(5、6)之间，在与振动臂(5、6)相同的一侧从基部(4)起延伸。并且，振动臂(5)具有臂部(51)和设置在臂部(51)前端的锤头(59)。臂部(51)具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。
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公开(公告)号：CN112207014A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010644246.8
申请日：2020-07-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: B06B1/12
Abstract: 振动元件、振子、电子设备以及移动体，该振动元件的Q值较高。振动元件(100)具有：基部(130)；第1振动臂(110)和第2振动臂(120)，它们从基部沿着第1轴延伸且沿着第2轴排列，第1振动臂具有从基部延伸的第1臂(111)和与第1臂的末端连接的第1施重部(112)，第2振动臂具有从基部延伸的第2臂(121)和与第2臂的末端连接的第2施重部(122)，当相对于通过第1臂的宽度中心的第1假想中心线，将第1施重部的第2振动臂侧的质量设为M1、第1施重部的与第2振动臂相反侧的质量设为M2，相对于通过第2臂的宽度中心的第2假想中心线，将第2施重部的第1振动臂侧的质量设为M1、第2施重部的与第1振动臂相反侧的质量设为M2时，满足0.952＜M2/M1＜1.000。
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公开(公告)号：CN104660207B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201410646261.0
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)包含振动片(3)，振动片(3)具有：基部(31)、振动臂(32)、连接部(34)以及连结基部(31)与连接部(34)的连结部(35)，在设振动片(3)的厚度为T、基部31的宽度为W1、连结部35的宽度为W2时，满足50μm≤T≤210μm、0.067≤W2/W1≤0.335的关系，在设振动臂(32)的臂部(321)的宽度为W3、锤头(322)的宽度为W4时，满足W4≥2.8W3的关系。
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