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公开(公告)号：CN104321710A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380021770.8
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/524
CPC classification number: G05D7/0647 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/52491 , Y10T137/87917
Abstract: 可变流孔型压力控制式流量控制器具备压力控制部和可变流孔部，使流通于可变流孔部的流孔的流体的流量为QP1=KP1(但是，P1是流孔上游侧压力，K是常数)而运算，并且，使前述流孔为由直接碰触型金属隔膜阀的阀座与隔膜之间的环状的间隙构成的流孔，通过向前述压力控制部的流量运算控制部的设定流量信号(QS)和向可变流孔部的流孔开度运算控制部的流孔开度设定信号(Qz)的变更而进行流量控制范围的切换以及该流量控制范围中的流量控制，其中，由流孔开度运算控制部、通过来自流孔开度运算控制部的流孔控制信号而驱动的步进电动机、通过步进电动机而转动的偏芯凸轮、通过偏芯凸轮而经由隔膜压件来控制阀开度的直接碰触型金属隔膜阀构成前述可变流孔部。
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公开(公告)号：CN103403425B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201180055091.3
申请日：2011-11-14
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0016 , F16K37/0041 , Y10T137/8275
Abstract: 本发明提供一种能够确保长期的检测可靠性且流体通路的开度的检测精度高的手动阀用开度检测装置。把手(13)为中空状。位移传感器(4)固定在把手(13)的内面上。标杆(5)具有配置在从把手(13)内的阀杆离开规定距离的位置上的标杆主体(22)、在标杆主体(22)的与位移传感器(4)相对的面上形成的检测用倾斜面(23)、和从标杆主体(22)向下方突出的下方突出部(25)。在把手(13)的底壁(14a)上设有使标杆(5)的下方突出部(25)能够上下移动地穿插的贯穿孔(30)。标杆(5)通过使其下方突出部(25)下表面被阀主体(11b)支承，从而虽然与把手(13)一同旋转，但不会相对于阀主体(11b)上下移动。
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公开(公告)号：CN103718275A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280038133.7
申请日：2012-06-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4485 , C23C16/4482
Abstract: 本发明通过能够将加热固体原料或液体原料而生成的原料蒸汽一边使用压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室稳定地供给，实现原料的气化供给装置的小型化和半导体产品的品质提高，并且能够容易地进行原料的剩余量管理。本发明的原料气化供给装置由以下部分构成：原料箱，储存原料；原料蒸汽供给路，从原料箱的内部空间部将原料蒸汽向处理腔室供给；压力式流量控制装置，夹设在该供给路中，控制向处理腔室供给的原料蒸汽流量；和恒温加热部，将上述原料箱、供给路和压力式流量控制装置加热到设定温度；将在原料箱的内部空间部中生成的原料蒸汽一边通过压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室供给。
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公开(公告)号：CN103403425A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201180055091.3
申请日：2011-11-14
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0016 , F16K37/0041 , Y10T137/8275
Abstract: 本发明提供一种能够确保长期的检测可靠性且流体通路的开度的检测精度高的手动阀用开度检测装置。把手(13)为中空状。位移传感器(4)固定在把手(13)的内面上。标杆(5)具有配置在从把手(13)内的阀杆离开规定距离的位置上的标杆主体(22)、在标杆主体(22)的与位移传感器(4)相对的面上形成的检测用倾斜面(23)、和从标杆主体(22)向下方突出的下方突出部(25)。在把手(13)的底壁(14a)上设有使标杆(5)的下方突出部(25)能够上下移动地穿插的贯穿孔(30)。标杆(5)通过使其下方突出部(25)下表面被阀主体(11b)支承，从而虽然与把手(13)一同旋转，但不会相对于阀主体(11b)上下移动。
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公开(公告)号：CN102934202A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201080064420.6
申请日：2010-10-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC classification number: B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
Abstract: 在半导体制造装置用的混合气体供给装置中，防止其他气体种类向过程气体供给线的逆扩散，实现混合气体供给装置的歧管及过程腔室的气体置换的高速化。本发明是一种混合气体供给装置，将由流量控制装置和出口侧切换阀（VO）构成的多个气体供给线以并列状配设、将各出口侧切换阀（VO）的气体出口向歧管（1）连接、并且将距歧管（1）的混合气体出口较近的位置的气体供给线作为小流量用气体的供给用，其中，经由上述流量控制装置的出口侧连结配件（22）及具有气体通路（19a）的安装台（19）将流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的入口侧气密地连结，在上述出口侧连结配件（22）的流路（24）的一部分及或将上述出口侧切换阀（VO）与歧管（1）的混合气体流通孔（20）连通的流路（25）中设置小孔部（26），能够实现其他气体向出口侧切换阀（VO）的上游侧或流量控制装置的上游侧的逆扩散的防止和连结在歧管（1）的混合气体出口（2）上的过程腔室（6）的高速气体置换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101994870B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010226949.5
申请日：2006-11-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种常开型压电元件驱动式金属隔膜型控制阀。在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制，并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成：形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7；设置在阀室7a′内，可落入或离开阀座7c的金属隔膜8；固定在阀体7侧的致动器壳体10；设置在致动器壳体10内，因电压的施加而向下方伸长，通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13；在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长，并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14；在压电元件13上常时施加向上的压力，并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。
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公开(公告)号：CN102341760A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200980157836.X
申请日：2009-11-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
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公开(公告)号：CN101994870A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010226949.5
申请日：2006-11-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种压电元件驱动式金属隔膜型控制阀。在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制，并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成：形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7；设置在阀室7a′内，可落入或离开阀座7c的金属隔膜8；固定在阀体7侧的致动器壳体10；设置在致动器壳体10内，因电压的施加而向下方伸长，通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13；在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长，并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14；在压电元件13上常时施加向上的压力，并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。
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公开(公告)号：CN101484859B
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200780025188.3
申请日：2007-06-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022
Abstract: 在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
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公开(公告)号：CN101983418A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200980111910.4
申请日：2009-02-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/31 , B01J4/00 , H01L21/205
CPC classification number: B01J4/02 , B01B1/005 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B01J2219/00191 , B01J2219/00198 , B01J2219/00213 , B01J2219/00231 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , F02D19/023 , F02D19/027 , F02M21/0239 , F02M21/06 , Y02T10/32 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606
Abstract: 本发明提供具备气化器的气体供给装置，该气体供给装置由下列部件构成：液体收纳罐；使液体气化的气化器；对气化气体的流量进行调节的高温型压力式流量控制装置；以及加热装置，该加热装置对气化器、高温型压力式流量控制装置以及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的配管路径的期望部分进行加热，由此实现节能和小型化，并且不需要严格的气化器侧的温度控制，就能够稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。
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