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公开(公告)号:CN103245292B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201310167658.7
申请日:2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域;该装置设置有类型和空间周期相同,在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅,设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置;该方法利用调制声光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制,并在调制光进入光强探测器前通过解调声光栅进行解调,得到扫描点瞬时光强信号,最后进行信号处理,得到扫描点光强;本发明无需引入移动部件,即可提高共焦系统空间截止频率,甚至可以使隐矢波成分参与成像,拓宽空间频域带宽,从而显著改善系统横向分辨力,尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号:CN1329766C
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN200510076827.1
申请日:2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法,该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅,实现回转轴与直写光轴的对准,所述方法包括以下步骤:把测量范围划分成精确测量区和定位测量区,并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围;借助差动像散离焦检测装置的检焦功能,使光斑处于准焦状态;产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号;根据对准偏离量测量信号,使直写光轴进入所述定位测量区;测量对准偏离量,借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区;再次测量对准偏离量,并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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公开(公告)号:CN1731084A
公开(公告)日:2006-02-08
申请号:CN200510102478.6
申请日:2005-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B5/201 , G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括:瞄准及发讯装置,用以产生瞄准信号,并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置,用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置,用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制;其特征在于:所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元;在双光纤耦合单元中,一根光纤作为入射光纤,另一根作为出射光纤,两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。
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公开(公告)号:CN1687816A
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:CN200510076827.1
申请日:2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法,该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅,实现回转轴与直写光轴的对准,所述方法包括以下步骤:把测量范围划分成精确测量区和定位测量区,并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围;借助差动像散离焦检测装置的检焦功能,使光斑处于准焦状态;产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号;根据对准偏离量测量信号,使直写光轴进入所述定位测量区;测量对准偏离量,借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区;再次测量对准偏离量,并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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公开(公告)号:CN1584495A
公开(公告)日:2005-02-23
申请号:CN200410062208.2
申请日:2004-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置,属于表面形状测量技术领域,特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体,以激光光束作为物理基准,依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律,提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置,克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。
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公开(公告)号:CN119267482A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202411528385.9
申请日:2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大型精密隔微振自适应主被动复合空间电磁阵列阻尼调控装置属于隔振技术领域,采用4n(n≥1,n∈N+)层等截面磁环,沿轴向阵列排布且相邻层间垂直磁化,形成同轴嵌套的内、外永磁阵列,从而在导体板周围构建高磁密励磁磁场,导体板相对于该磁场运动产生强阻尼效应。当外部激励频率变化时,通过速度反馈精确调控导体板外侧同轴嵌套线圈中的电流,动态调整阻尼力。在低频微振动时展现出高阻尼特性,有效降低振动传递率;而在高频微振动时,则呈现低阻尼特性,实现振动干扰的高效衰减。此主被动复合阻尼调控策略增强了大型精密隔微振的适应性、稳定性及其在复杂振动环境下的隔振性能。
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公开(公告)号:CN119267481A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202411528381.0
申请日:2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于多组垂直磁化空间永磁阵列的大型精密隔微振阻尼器属于精密隔振技术领域,内磁阵列与外磁阵列利用四列由多层阵列排布、相邻层间垂直磁化的等横截面立方永磁体在导体板周围形成了高磁密励磁磁场,当导体板相对内磁阵列、外磁阵列运动时,激发出强涡流效应从而产生高阻尼特性。垂直磁化空间永磁阵列的设计增强了磁通变化量与涡流密度,大幅提升了阻尼力,加速了振动能量的衰减效率,为大型超精密制造、尖端科研实验等领域提供了强有力的技术支持,确保了高端装备的稳定性。
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公开(公告)号:CN117635429A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311650129.2
申请日:2023-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T3/4053 , G01N21/64 , G01N21/01 , G01N15/01 , G01N15/1433 , G06T5/70
Abstract: 一种基于时域去噪的空间谱估计超分辨显微装置与方法属于超分辨荧光显微技术领域,是针对基于空间谱估计的超分辨荧光显微成像技术中,成像分辨率随着重构所使用低分辨图像数量减小而降低,高空间分辨率与成像速度难以兼顾,不适用于活细胞成像的问题所提出。包括激光光源、准直扩束镜、可旋转散射片、准直透镜、中继透镜、管镜、二向色镜、物镜、荧光样品、滤光片、集光透镜和相机。利用奇异值分解得到低分辨图像序列所组成测量数据矩阵的时间基向量,进而对低分辨率图像进行去噪,通过提高低分辨率图像信噪比,减小重构所需低分辨率图像,兼顾成像分辨率与成像速度。
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公开(公告)号:CN117607051A
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202311668095.X
申请日:2023-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种空间谱估计散斑照明超分辨显微装置与方法,属于超分辨荧光显微技术领域,是针对空间谱估计宽场成像技术中,因宽场照明条件下成像分辨率依赖于荧光波动,而特殊荧光染料标记具有较强的化学毒性和光毒性的问题所提出。包括激光光源,准直扩束镜,可旋转散射片,准直透镜,中继透镜,管镜,二向色镜,物镜,荧光样品,滤光片,集光透镜和相机。利用散斑照明主动控制荧光闪烁,无需特殊荧光标记,不依赖于荧光开关,照明强度低,可以有效避免因特殊荧光染料标记引起的化学毒性和依赖于漂白过程荧光波动所引起的光毒性,提高空间谱估计超分辨显微成像技术的适用性。
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公开(公告)号:CN117607049A
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202311656754.8
申请日:2023-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种空间谱估计双光子超分辨显微装置与方法属于超分辨荧光显微技术领域,是针对现有双光子荧光显微成像技术存在成像分辨率低的问题所提出。包括飞秒激光器,准直扩束镜,微透镜阵列(MLA),准直透镜,扫描振镜,扫描透镜,管镜,二向色镜,物镜,荧光样品,滤光片,集光透镜和相机。将空间谱估计与双光子荧光显微成像技术结合,利用飞秒激光器发出的短脉冲激光,使荧光物质同时吸收两个光子,发射一个荧光光子,由于对光子密度的要求较高,只有在焦点附近很小区域内被激发,最大限度减少焦外激发;利用MLA产生多焦点照明,提高成像效率;再根据特征值大小将特征向量分为信号特征向量和噪声特征向量,利用两个子空间的正交特性构造出“针状”空间谱峰,最后通过谱峰搜索重构出超分辨图像。可以实现快速高分辨率三维成像,具有更好的光学切片性能和更高的空间和时间分辨率。
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