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公开(公告)号：CN2325390Y
公开(公告)日：1999-06-23
申请号：CN98214049.5
申请日：1998-05-15
Applicant: 吉林大学
IPC: C04B41/00
Abstract: 本实用新型属沉积大面积金刚石膜用的灯丝排布固定装置。由支腿(3)和横在两支腿上的灯丝固定器(2)构成支架,支架内是空心连通的,直热灯丝(1)排布成栅状,绕过灯丝固定器(2)下底面联接弹簧(9)再挂在灯丝挂板(4)上。钨杆调节块(6)和调节螺钉(7)可使钨杆(8)在钨杆调节块的长孔内前后移动,本实用新型具有灯丝平整热场均匀、电接触良好、铜制的支架不粘附沉积物等特点,结构简单、使用方便、工作稳定、特别适合长时间使用制备大面积金刚石膜。
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