堆叠式MEMS传感器封装体、芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN106477510B

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201611072013.5

    申请日:2016-11-29

    Inventor: 赵照

    Abstract: 本发明公开了一种堆叠式MEMS传感器封装体、芯片及其制作方法,包括盖板,用于封装;一片或多片采集晶圆,其上形成有采集电路和MEMS结构;一片或多片处理晶圆,其上形成有处理电路;所述一片或多片处理晶圆、一片或多片采集晶圆以及盖板是采用晶圆级键合工艺自下而上键合而成,所有晶圆片之间通过导电桥墩实现电性互联。本发明将采集电路和处理电路分层设计,采用晶圆级键合工艺进行键合并封装,形成垂直的多层堆叠式结构,能够显著降低芯片面积,实现采集电路和处理电路的完全隔离,降低模拟电路和数字电路之间的干扰和电路噪声,提高传感器性能指标,采集电路和处理电路可以分别选择适宜的工艺制程,降低传感器工艺成本,适用于高性能、小体积、低成本的终端设备。

    一种铁电氧化钒复合薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN105112870B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201510578544.0

    申请日:2015-09-14

    Inventor: 赵照

    Abstract: 本发明涉及光电传感器技术领域,特别涉及一种用于红外热成像传感器以及THz图像传感器的铁电氧化钒复合薄膜F_VOx及其制备方法,该铁电氧化钒复合薄膜是由氧化钒薄膜和金属铌或者铌基铁电材料薄膜复合而成的铌基铁电‑氧化钒双层复合薄膜。本发明首次利用金属铌和铌基铁电薄膜材料优异的热传导、热吸收性能,提升氧化钒薄膜的热量吸收率,使铁电氧化钒复合薄膜F_VOx的温度电阻系数提高到3.8~4.2%/K,有效解决了小面阵高TCR的问题且避免了传统掺杂工艺对氧化钒薄膜产生的负面影响,将其应用于传感器可全面提升红外热成像、太赫兹图像传感器的性能。

    基于错位增像的蜂巢形像元阵列、图像传感器及采集方法

    公开(公告)号:CN107295277A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201610226172.X

    申请日:2016-04-13

    Inventor: 赵照

    Abstract: 本发明涉及图像传感器技术领域,具体涉及基于错位增像的蜂巢形像元阵列、图像传感器及采集方法,其中,像元阵列采用多个蜂巢形像元在二维平面上重复错位排列组成;图像传感器包括蜂巢形像元阵列、扫描驱动电路、读取电路、模拟数字转换电路(ADC)、图像信号处理器(ISP)以及用于整个芯片电源供电的电源电路和用于整个芯片智能控制的控制电路;本发明通过独有的错位蜂巢形像元阵列,在具有相同或接近像元数量的条件下,可以大幅提高图像分辨率,同时减小整机设备的光学系统焦距,从而使整机设备的体积、重量、成本降低,本发明整体具备提高分辨率、信噪比(S/N)、隔离度,降低成本、体积、重量等功能。

    一种全差分红外焦平面阵列读出电路

    公开(公告)号:CN107271054A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710629927.5

    申请日:2017-07-28

    Inventor: 赵照

    CPC classification number: G01J5/10 G01J5/24 G01J2005/202

    Abstract: 本发明公开一种全差分红外焦平面阵列读出电路,包括:像元阵列,用于采集红外光信号、光电转换并逐行输出;全差分相关双采样电路,连接像元阵列,用于对像元阵列电路采集到的信号进行积分、双采样并输出实际差分信号;输出缓冲电路,连接全差分相关双采样电路,用于将实际差分信号逐列缓冲输出;及行列逻辑控制信号产生电路,分别为像元阵列和输出缓冲电路提供行选控制信号和列选控制信号。本发明使用开关电容全差分配置的CDS电路,能够实现积分和双采样功能并且输出实际差分信号,不需要额外配置差分转换电路,能够显著减小电路面积,增加填充因子;同时,在电路中引入补偿电容可以提供偏移补偿,消除运算放大器偏置电压对采样结果造成的影响。

    一种活体指纹识别装置
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107194382A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710552243.X

    申请日:2017-07-07

    Inventor: 赵照

    CPC classification number: G06K9/0004 G06K9/0012

    Abstract: 本发明公开一种活体指纹识别装置,包括微控制器和与微控制器连接的相控阵生物识别模块、检测模块、存储器和电源模块;微控制器用于处理实时相控阵生物识别模块和检测模块的信息,相控阵生物识别模块用于指纹识别,检测模块用于采集用户的生理特征信息,存储器用于存储用户的指纹信息和生理特征信息,电源模块用于对微控制器、相控阵生物识别模块、检测模块和存储器供电。本发明将相控阵原理应用到指纹传感器上,提高了指纹传感器的识别率和准确性,通过增加检测模块,降低指纹识别装置被仿造的假指纹欺骗通过的风险,提高了指纹识别装置的安全性。

    一种无创光电血糖测量仪
    76.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107184218A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710551963.4

    申请日:2017-07-07

    Inventor: 赵照

    CPC classification number: A61B5/1455 A61B5/1172 A61B5/14532 A61B5/7225

    Abstract: 本发明公开了一种无创光电血糖测量仪,属于医疗器械领域,包括腕带和由上壳体和下壳体组成的壳体,上壳体与下壳体的末端铰接,腕带设置在下壳体上,上壳体和下壳体的内侧设置手指测定腔,上壳体的表面设置显示屏和指纹开关,壳体内设置检测电路板,指纹开关与检测电路板连接;检测电路板包括电源模块、芯片、光源、光源驱动模块、传感器、放大器模块、模数转换模块、显示模块、存储器和远程控制模块;电源模块分别与芯片和指纹开关连接,芯片与光源驱动模块连接,传感器与放大器模块的输入端连接,放大器模块的输出端与模数转换模块连接,显示模块、存储其和远程控制模块均与芯片连接。本发明体积小,便于携带和随时检测,检测结构准确。

    一种吸气剂电加热激活装置

    公开(公告)号:CN105692545B

    公开(公告)日:2017-08-25

    申请号:CN201610207890.2

    申请日:2016-04-06

    Inventor: 赵照

    Abstract: 本发明提供一种吸气剂电加热激活装置,包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面,所述支撑桥面通过导电桥墩搭建起来,在支撑桥面上设置有吸气材料层,所述吸气材料层通过电加热金属丝进行加热激活,所述电加热金属丝与导电桥墩电连接,形成供电通路。本发明使用时,在高真空环境下将电加热金属丝通电加热,利用其“热电阻效应”间歇性检测电阻值,实现闭环检测温度,保障其准确的温度控制,充分激活吸气材料,提高吸气效率,保障相关真空器件的性能和寿命。

    一种立体结构的杂质吸收器件

    公开(公告)号:CN105689131B

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201610201657.3

    申请日:2016-04-05

    Inventor: 赵照

    Abstract: 本发明提供一种立体结构的杂质吸收器件,包括多个支撑桥面,所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔,在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层,所述功能吸附腔中还具有用于吸附固体杂质的静电吸附装置,所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。本发明不仅可以显著提高吸气效果,还能够进一步吸附固体杂质,同时,由于桥墩的反锁机构作用可以防止固体杂质溢出,满足智能传感器对杂质吸收器件提出的高性能需求,进一步延长智能传感器使用寿命。

    相控阵生物识别信息采集装置及采集方法

    公开(公告)号:CN106778715A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710178047.0

    申请日:2017-03-23

    Inventor: 赵照

    CPC classification number: G06K9/00013

    Abstract: 本发明提供一种相控阵生物识别信息采集装置及采集方法,包括相控阵生物识别信息采集模组,用于采集生物识别信息;红外热成像检测组件,用于检测在相控阵生物识别信息采集模组预设距离内是否出现待检测部位,并将检测结果发送至处理组件;处理组件,用于当确定在相控阵生物识别信息采集模组预设距离内出现待检测部位时,控制启动所述相控阵生物识别信息采集模组对待检测部位进行生物识别信息的采集操作。本发明能够在预定距离内准确识别出用户的使用需求,从而启动相控阵生物识别信息采集模组,在降低生物识别信息采集功耗的同时还能够缩短采集模组的响应时间,可以应用于夜间或者其他无灯光环境,适用范围广泛。

    一体化多功能陶瓷封装管壳

    公开(公告)号:CN105731355B

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201610276064.3

    申请日:2016-04-29

    Inventor: 赵照

    Abstract: 本发明提供一种一体化多功能陶瓷封装管壳,包括陶瓷封装管壳、吸气剂模块、测温模块、控温模块,所述吸气剂模块、测温模块和控温模块与陶瓷封装管壳为一体化设计。本发明可实现陶瓷封装管壳自带吸气、控温和测温功能,简化后续封装步骤,提高生产效率,降低因各个模块安装环节导致器件失效的风险;另外,将吸气剂模块、控温模块和测温模块集成在陶瓷封装管壳中,可以提高陶瓷封装管壳集成度,有利于封装器件体积的缩小。

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