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公开(公告)号：CN102757011A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201110104209.9
申请日：2011-04-25
Applicant: 中北大学 , 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种微机械热电堆红外探测器及其制作方法，在衬底表面形成具有自停止腐蚀作用的封闭凹槽；淀积形成介质支撑膜；淀积多晶硅，然后通过2次离子注入加光刻腐蚀分别形成P型和N型多晶硅热偶条，两热偶条之间淀积隔离层；光刻腐蚀隔离层，将热电堆之间的区域暴露出介质支撑膜形成吸收区；溅射一层金属形成金属连接；在吸收区表面淀积一层多晶硅或非晶硅层，然后经过Cl2、HBr干法不完全刻蚀形成表面为锥状森林结构的吸收层；光刻出腐蚀孔，通入XeF2气体进行干法刻蚀释放正面结构。本发明使用多晶硅作为吸收层材料，提高了传统SiNx吸收层的吸收率，且工艺简便。使用P/N型多晶硅作为热电偶，避免金属热偶与CMOS兼容性差的问题，有效提高了热电堆的塞贝克系数。
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公开(公告)号：CN102539824A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110433663.9
申请日：2011-12-22
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种微纳测风矢量传感器，解决了现有测风仪器存在检测不准、维护不便等缺点。本发明包括上盖、中间支撑体和底座，上盖的底面上设有条形卡棱，条形卡棱与中间支撑体上表面形成风道；中间支撑体内部设有内部支撑体，内部支撑体顶部安置二维敏感转换微结构，二维敏感转换微结构的微型柱状体穿过中间支撑体上表面后置于条形卡棱所形成的风道中，底座内设有与二维敏感转换微结构连接的PCB电路板。检测时，当风进入风道后，二维敏感转换微结构就可以检测到从风道进来的风。本发明开创性的采用二维敏感转换微结构对风进行测量，可实现对风速和风压的同步测量，检测灵敏度和准度都得到了较大的提高，而且还能准确的测出风的瞬时变化值。
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公开(公告)号：CN102506990A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110350625.7
申请日：2011-11-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种二维同振柱形仿生矢量水听器，该矢量水听器的灵敏度、指向性等各性能指标得到了进一步的提高。该矢量水听器包括圆柱体透声外壳、灌封于透声外壳内部的支撑体以及设于支撑体上的二维四梁纤毛式微敏感体和声压水听器，二维四梁纤毛式微敏感体安装在支撑体的圆盘上表面的中心处，在二维四梁纤毛式微敏感体的外部罩有半球形封闭的透声帽，且在透声帽内充有密度与水密度相同或相近的绝缘液体，声压水听器连接在支撑体的中空管的底部端口，该矢量水听器的各个输出为并联连接；透声外壳在其上、下端分别灌封有带挂钩的吊环。本发明矢量水听器结构简单，灵敏度高，指向性好，工作频带范围宽，上限可达3KHz，应用范围广阔。
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公开(公告)号：CN101949833B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201010298973.X
申请日：2010-09-30
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/31
Abstract: 本发明涉及红外气体传感器，具体是一种用以高精度确定目标气体浓度的红外气体传感器浓度信号处理方法。解决了目前红外气体传感器所用气体浓度确定方法检测精度不高的问题，红外气体传感器浓度信号处理方法就如下因素进行修正：1、在目标气体不存在的情况下红外气体传感器零位输出比对检测结果的影响；2、入射检测通道的红外光波长范围内非吸收波段对检测结果的影响；并实施两次温度补偿：1、引入温度补偿参数，实现实时温度补偿；2、对理想气体定律中温度的影响实现二次补偿；最终获得高检测精度的目标气体浓度。方法合理、有效，能很大程度地提高红外气体传感器的检测精度，满足对于检测精度要求高的场合的实际使用需要。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102324371A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110252650.1
申请日：2011-08-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室，基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室由两片完全相同的电极板重叠放置组成，基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室的厚度为两片电极板厚度之和，电极板包括三个焊盘，三个焊盘上分别设有第一过孔、第二过孔、第三过孔，两片电极板的反面相接触，两片电极板通过分别在第一过孔、第二过孔、第三过孔内放置一个插针进行机械固定和电气连接，一个插针接偏置电极，一个插针接收集电极，另外一个插针接地。本发明保证了体积的足够小，又确保了足够的光路长度，使进入电离室内的气体被充分电离。
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公开(公告)号：CN102288355A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110198949.3
申请日：2011-07-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明具体为一种高温压力传感器，解决了现有压力传感器由于结构不合理导致其在高温环境隔离失效无法正常工作的问题。包括上端开口的柱状壳体，壳体上端设有带中心孔的上端盖，上端盖下底面设有上部穿入其中心孔的阶梯状上绝热环，上绝热环下表面设有与壳体内侧壁留有间隙且中心开有通孔的热沉体，热沉体上端固定有与其通孔相通且穿过上绝热环的引压管，热沉体与壳体下端内壁之间设有与两者相接触的下绝热环，壳体下端内壁开有凹槽，凹槽内放置有与热沉体通孔相通的压力传感器主体。本发明具有结构合理可靠的优点，满足压力传感器在高温环境下能够进行压力测量的同时也能够长时间工作。
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公开(公告)号：CN102279167A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110197893.X
申请日：2011-07-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明涉及一种传感器，具体地说是一种微型红外气体传感器。它由气室以及由窄带光源、红外敏感部分、窄带光学滤光片、气体干燥装置等部件组成，窄带光源安装在光源区域，光源区域上部有光源部分滤光片，红外敏感部分采用双元敏感件串接而成，其中一元件用作相应气体检测，安装在气体敏感元件区域；另一元件用作参考检测，安装在参考测量敏感元件区域，两元件前端分别加装窄带滤光片，各区域之间有绝热隔板，敏感元件与光源都集成封装在一微小的镀金管壳气室内。本发明结构紧凑，集成度高，抗干扰能力强，灵敏度高，功耗低、体积极小、重量轻，解决了以往光源高功耗、分离装置问题，能满足低功耗、便携式场合。
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公开(公告)号：CN101701971B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200910075807.0
申请日：2009-10-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01R1/20
Abstract: 本发明涉及电子测试领域，具体是一种高精度多通道模拟信号源。满足了当前电子测试领域对模拟信号源的需要。所述模拟信号源包括逻辑控制单元、存储器、波形输出电路，波形输出电路包含D/A转换电路、信号调理电路、多通道切换开关、若干路模拟信号输出模块；波形输出电路输出端与逻辑控制单元之间设有回采测试电路。本发明能独立输出直流量、矩形波等波形模拟信号，能为被测设备的性能测试提供多种波形的高精度模拟信号，直流量信号输出精度可以达到±0.05％FS，矩形波上升沿建立时间小于200ns，满足对航空航天遥测设备-遥测采编器等高端电子产品进行通道带宽测试时的需要，且结构简单、合理，性能稳定，信号有效性和可靠性极高。
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公开(公告)号：CN102175242A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110025476.7
申请日：2011-01-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明涉及惯性导航测量技术，具体是一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构。本发明解决了传统惯性导航系统不适用于高转速飞行体姿态测量的问题。一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构包括轴向负荷承载区、径向负荷承载区、惯性测量组合及解算电路区、质量偏置区、以及外框架；轴向负荷承载区包括第一半球和第二半球；径向负荷承载区包括第一球轴承和第二球轴承；惯性测量组合及解算电路区包括前轴、内筒、以及后轴。本发明实现了微惯性测量组合在旋转方向与载体不捷联，其它两个方向与载体捷联，从而有效解决了传统惯性导航系统不适用于高转速飞行体姿态测量的问题，适用于高转速飞行体的姿态测量。
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