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公开(公告)号：CN101985936A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010565610.8
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
Abstract: 本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种非对称爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在主轴一侧的从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，相互啮合的两个爪型转子节圆半径不相等，因此接触点的两爪的转子线速度不同，产生表面滑移气流，能及时将转子表面的杂物刮去，使干泵保持良好的工作状态。
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公开(公告)号：CN100516530C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710012104.4
申请日：2007-07-13
Applicant: 东北大学 , 沈阳华润三洋压缩机有限公司
CPC classification number: F05C2201/0442
Abstract: 一种设有耐磨层的制冷压缩机零件及其耐磨层的制备方法，该零件包括叶片、滚套和曲轴，零件金属基体依次涂有过渡层和耐磨层，过渡层和耐磨层至少涂在一个滑动表面上，过渡层是纯钛或纯铬层，表面耐磨层为氮化钛或氮化铬薄膜。制备耐磨层采用真空电弧离子镀方法，在阴极弧源靶与工件之间设置有由“Z”形金属折板依次排列而构成的过滤栅，该过滤栅的结构特点是由多个金属折板并列设置而成，该板折有上平面、斜面和下平面，似“Z”形，决定相邻两个金属折板之间最大距离的条件是上金属折板上平面起点与下部相邻金属折板下平面终点之间的连线与上金属折板下平面折点和下部相邻金属折板上平面折点相交。本发明具有耐磨性、耐剥离性和使用寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN101457758A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200810228430.3
申请日：2008-10-31
Applicant: 东北大学 , 成都南光机器有限公司
IPC: F04D19/04
Abstract: 本发明涉及一种增强排气型复合分子泵，涉及真空技术领域，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。
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公开(公告)号：CN101170865A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710158581.1
申请日：2007-11-28
Applicant: 东北大学
IPC: H05H1/00 , G01R1/067 , G01R31/00 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种用于测量等离子体悬浮电位的参考探针，由电极(1)、低通滤波器(2)、高阻(3)、I－V变换器(4)、数据采集卡(5)、工业控制计算机(6)组成。电极(1)插入等离子体内，另一端接低通滤波器(2)；低通滤波器(2)与高阻(3)连接，高阻(3)另一端连接I－V变换器(4)；I－V变换器将收集信号转换成电压信号并输出；数据采集卡(5)接收I－V变换器(4)的输出信号并将其传给工业控制计算机(6)，工业控制计算机(6)对信号进行处理并显示。探针在等离子体中处于悬浮状态，高阻两端的电位差即为等离子体悬浮电位，采用这种结构可以对各种低温等离子体中悬浮电位实时测量。
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公开(公告)号：CN100370281C
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200610045736.6
申请日：2006-01-24
Applicant: 东北大学
IPC: G02B1/10 , C23C16/513 , C23C16/52 , C23C16/26
Abstract: 一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法，采用等离子体化学气相沉积方法在树脂镜片上沉积碳膜，利用高频电场所提供的高能量等离子体与通入的烃类气体产生裂解及淀积反应，在镜片表面形成碳膜，工艺过程为：用超声波清洗机对树脂基片进行清洗；再进行等离子清洗工艺，以Ar离子对基片清洗5min；通烃类碳源气体和氢气，进行碳膜的沉积，射频能量取值15～400W；烃类碳源气体、H2气体浓度比为1∶(0～3)，沉积时真空度10～50Pa ；沉积时间为10s～30min。所制备的碳膜均匀、致密，没有大颗粒的附着，没有开裂的现象，膜基结合良好，镜片表面硬度及抗划擦性能显著增强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101092959A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710012104.4
申请日：2007-07-13
Applicant: 东北大学 , 沈阳华润三洋压缩机有限公司
CPC classification number: F05C2201/0442
Abstract: 一种设有耐磨层的制冷压缩机零件及其耐磨层的制备方法，该零件包括叶片、滚套和曲轴，零件金属基体依次涂有过渡层和耐磨层，过渡层和耐磨层至少涂在一个滑动表面上，过渡层是纯钛或纯铬层，表面耐磨层为氮化钛或氮化铬薄膜。制备耐磨层采用真空电弧离子镀方法，在阴极弧源靶与工件之间设置有由“Z”形金属折板依次排列而构成的过滤栅，该过滤栅的结构特点是由多个金属折板并列设置而成，该折板有上平面、斜面和下平面，似“Z”形，相邻两个金属折板之间的最大距离是一个金属折板上平面起点与下部相邻金属折板下平面终点之间的连线与两板的折点相切。本发明具有耐磨性、耐剥离性和使用寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN101003896A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710010132.2
申请日：2007-01-23
Applicant: 锦州市三特真空冶金技术工业有限公司 , 东北大学
IPC: C23C16/52
Abstract: 一种真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置属于自动控制领域。本发明装置包括上位机、协议转换器、温度控制器、DA转换模块、真空计、质量流量控制器和可编程控制器，当可编程控制器的个数大于1时还包括适配器。上位机分别与可编程控制器、协议转换器相连，当可编程控制器的个数大于1时通过适配器与上位机相连，协议转换器分别与温度控制器、DA转换器相连，DA转换器与真空计、质量流量控制器相连。上位机嵌入了系统登录模块、控制系统界面模块、串口通信模块、温度控制模块、流量控制模块、真空度采集模块和数据存储模块。本发明通讯、数据处理能力强；控制系统的结构易于调整、升级，抗干扰能力强；通用性强。
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公开(公告)号：CN1827845A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200510047679.0
申请日：2005-11-11
Applicant: 东北大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/513
Abstract: 本发明提供了一种射频等离子体增强化学气相沉积方法，先在基底上沉积一层金属层，依次在金属层上沉积其氮化物层或者碳化物层，再在氮化物或者碳化物层上沉积类金刚石碳膜。本发明还提出了一种用该方法制造的带复合型包覆层的部件，部件的基材可以是金属、陶瓷、玻璃和有机树脂材料。本发明相应地提出了一种实施射频等离子体增强化学气相沉积方法的装置，该装置安装有至少一个金属溅射源，并把真空室分为等离子体生成室和等离子体处理室两个相连通的空间。在等离子体处理室内安有一对大面积的电极板，以确保镀层的均匀性和各向同性。通过调节电压、电流和真空室内Ar、N2和含碳气体组分，可沉积高附着力的类金刚石碳膜。
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公开(公告)号：CN114607603B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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公开(公告)号：CN112670595B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202011566892.3
申请日：2020-12-25
Applicant: 东北大学
IPC: H01M10/0585 , H01M10/0562
Abstract: 本发明一种固态电池的制备方法，包括正极片、负极片和固态电解质层的制造，通过依次叠片、压制、封装而成固态电池。其中：固态电解质层由固态电解质材料进行干燥、压片、切片处理得到；所述固态电解质材料采用真空快淬方法制备：先对固态电解质材料的原料进行真空感应熔炼，然后通过高速旋转的快淬辊装置对熔融状态的熔液急速冷却实施快淬，即得。本发明提供的制备方法由于固态电解质材料通过真空快淬方法制得，获得的固态电解质材料粒度分布更集中，最终制得的固态电池具有更大能量密度，而且整个制备时间大大缩短，能极大提高固态电解质材料的生产效率从而提高固态电池的生产效率，实现固态电池的高效、大批量工业化生产。
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