调制器
    63.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101075099A

    公开(公告)日:2007-11-21

    申请号:CN200710112121.5

    申请日:2003-07-02

    Abstract: 一种曝光装置,特征在于包括照明光学系统和投影光学系统,该照明光学系统具有:把分开的多个光源以一维或二维排列的光源阵列;使从该光源阵列的各光源射出的光聚光的聚光光学系统;在空间上分解由该聚光光学系统聚光的光来生成多个疑似二次光源的、由棒状透镜的排列构成且各棒状透镜的垂直于光轴的剖面形状的纵横比r1与上述被照明区域的纵横比r0之比r1/r0为大于或等于0.8且小于或等于1.2的光学积分器;以及使来自利用该光学积分器生成的多个疑似二次光源的光叠加在一起来照明具有应该曝光的图形的被照明区域的聚光透镜;该投影光学系统把透射或反射了由该照明光学系统照明的应该曝光的图形的光投影、曝光到被曝光物上的被曝光区上。

    激光多路传输设备
    66.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1521963A

    公开(公告)日:2004-08-18

    申请号:CN200410028309.8

    申请日:2004-01-30

    CPC classification number: G02B19/0057 G02B19/0028 G02B27/0905

    Abstract: 在一种激光多路传输设备中,准直光学系统准直从半导体激光器中发射出的光束,使这些光束的慢轴共面,并使它们的光轴彼此平行;光束重排光学系统由分别对应光束排列的棱镜构成,以光沿束传播方向在不同位置上改变快轴方向并使快轴共面的方式重排光束;会聚光学系统在其快轴和慢轴方向上会聚一束被光束重排光学系统重排的光束,并使该束会聚光束进入光纤。

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