具有图案的基板的分割方法

    公开(公告)号:CN103846560A

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201310433562.0

    申请日:2013-09-16

    Abstract: 本发明是有关于一种能够对具有作为反射膜的金属膜的具有图案的基板良好地进行分割的方法。对由在与单位元件图案的形成面为相反侧的主面反复交互地积层相异的2个氧化膜而成的多层膜、与金属膜所积层而成的具有图案的基板进行分割的方法,具备:金属膜去除步骤,是在使前端具备刀前端的工具的前端位于多层膜与金属膜的界面的高度的状态下,使工具对该具有图案的基板相对地移动,借此在具有图案的基板沿着预先决定的加工预定线仅去除金属膜而形成加工沟槽;龟裂伸展加工步骤,是沿着加工预定线,借由各个单位脉冲光以在具有图案的基板形成的加工痕离散地位于加工沟槽的方式照射激光,使龟裂从各个加工痕伸展;以及裂断步骤,是对龟裂伸展后的具有图案的基板,沿着加工预定线进行裂断。

    一种雕刻机恒光路传送装置

    公开(公告)号:CN103737174A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201410007580.7

    申请日:2014-01-08

    CPC classification number: B23K26/06 B23K26/0643 B23K26/36

    Abstract: 一种雕刻机恒光路传送装置,所述减速齿轮组包括一设在底座上的两端分别穿出底座顶部和底部的竖直设置的转轴,在穿出底座顶部的转轴上设有第一齿轮,在穿出底座底部的转轴上设有第二齿轮;沿横梁长度方向在底座上方设有一环形传动带,环形传动带套装在横梁两端的两同步齿轮及底座顶部的第一齿轮上,且与两同步齿轮及第一齿轮均啮合连接,与第一齿轮相对的一侧的环形传动带与激光头总成固连;沿横梁长度方向在底座下方设有一直线传动带,直线传动带的两端分别固定在横梁上,直线传动带内侧与第二齿轮啮合连接。它实现了激光雕刻机全幅面光路的传输距离一致,可对高精度要求的工件进行全幅面加工,保证了产品质量,节省了原材料,降低了生产成本。

    基板的加工设备及其加工方法

    公开(公告)号:CN103658990A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201210338025.3

    申请日:2012-09-13

    Inventor: 施俊良 施国彰

    CPC classification number: B23K26/0821 B23K26/36

    Abstract: 本发明提出一种基板的加工设备及其加工方法,该基板的加工设备包含工作平台、雷射装置以及光源路径控制装置。光源路径控制装置配置在雷射装置的一侧,光源路径控制装置包含第一控制模块以及第二控制模块。第一控制模块具有第一镜片以及调整第一镜片的第一角度的第一驱动模块,第二控制模块具有第二镜片以及调整第二镜片的第二角度的第二驱动模块;其中,雷射装置所发射出的雷射光行经第一镜片与第二镜片后,雷射光在工作平台上的基板加工出透光图形。本发明提出一种基板的加工设备及其加工方法,可改变雷射光的光源路径使雷射光可被投射在工作平台上的基板的任意一位置,以助于直接在基板的不同位置上加工出透光图形。

    层积有钝化膜的基板的烧蚀加工方法

    公开(公告)号:CN103028844A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210365826.9

    申请日:2012-09-27

    Inventor: 北原信康

    Abstract: 本发明涉及层积有钝化膜的基板的烧蚀加工方法,其目的在于提供可抑制能量的扩散和激光光束的反射的层积有钝化膜的基板的烧蚀加工方法。本发明的层积有钝化膜的基板的烧蚀加工方法为对层积有由氮化物形成的钝化膜的基板照射激光光束来施以烧蚀加工的层积有钝化膜的基板的烧蚀加工方法,该方法的特征在于,其具备保护膜形成工序与激光加工工序,在保护膜形成工序中,将混入了对于激光光束的波长具有吸收性的氧化物微粉末的液态树脂涂布至基板的至少要进行烧蚀加工的区域,来形成掺入有该微粉末的保护膜;在激光加工工序中,在实施了该保护膜形成工序之后,对基板的形成了该保护膜的区域照射激光光束来施以烧蚀加工。

    层叠基板的构图装置
    70.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102254984A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110074240.2

    申请日:2011-03-25

    Abstract: 本发明提供层叠基板的构图装置。其课题在于,能够高速且高精度地对太阳能电气基板等层叠基板进行构图加工而不会导致成本上升。作为解决手段,该构图装置具有:隔开规定间隔配置的一对支承部(1)、导杆(2)、加工头(3)、辊作业台(4)以及搬送机构(5)。导杆(2)配置于一对支承部(1)之间,并且,该导杆的两端分别支承于一对支承部(1),层叠基板能够通过其下方。加工头(3)安装于导杆(2)上,用于对薄膜层进行构图。辊作业台(4)在一对支承部(1)之间与加工头(3)相对配置,并且,旋转自如地支承于一对支承部(1),在该辊作业台的外周面载置层叠基板。搬送机构(5)搬送载置于辊作业台(4)上的层叠基板。

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