公开(公告)号：CN118590027A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410218913.4

申请日：2024-02-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小林琢郎 ,  山田明法 ,  山崎隆 ,  川内修

IPC: H03H9/215 ,  H03H9/13 ,  H03H3/02

Abstract: 提供振动元件和振动器件，振动元件和振动器件的CI值小且是小型的。振动元件包含基部和振动臂，振动臂包含臂部和宽度比臂部宽的宽幅部，臂部在第1面侧形成有第1槽，在第2面侧形成有第2槽，在设臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，臂部的第1面与第2面之间的厚度(T)满足110μm≥T≥150μm，在设第1槽的深度为t1、第2槽的深度为t2时，满足0.884≥(t1+t2)/T≥0.990，在设夹着第1槽排列的第1面的宽度和夹着第2槽排列的第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥Wb/T≥0.0326，振动臂的长度(L1)满足L1≥1000μm。

公开(公告)号：CN109067379B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201810861640.X

申请日：2014-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/215

Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件(2)包含：基部(4)；以及1对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体设置，在X轴方向上排列，从基部(4)朝Y轴方向延伸，振动臂(5、6)分别包含：臂部(51、61)；以及位于臂部(51、61)的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部(51、61)长的宽锤头(59、69)，在设振动臂(5、6)的Y轴方向的长度为L、锤头(59、69)的Y轴方向的长度为H时，满足1.2％＜H/L＜30.0％的关系，在设臂部的X轴方向的长度为W1、锤头的X轴方向的长度为W2时，满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。

公开(公告)号：CN109067379A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201810861640.X

申请日：2014-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/215

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/215

Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件(2)包含：基部(4)；以及1对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体设置，在X轴方向上排列，从基部(4)朝Y轴方向延伸，振动臂(5、6)分别包含：臂部(51、61)；以及位于臂部(51、61)的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部(51、61)长的宽锤头(59、69)，在设振动臂(5、6)的Y轴方向的长度为L、锤头(59、69)的Y轴方向的长度为H时，满足1.2％＜H/L＜30.0％的关系，在设臂部的X轴方向的长度为W1、锤头的X轴方向的长度为W2时，满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。

公开(公告)号：CN104079263B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201410116475.7

申请日：2014-03-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/125 ,  H03B5/32 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/215

Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（2）具有石英基板（3），该石英基板（3）具有：基部（4）；从基部（4）起延伸的一对振动臂（5、6）；以及支承臂（71），其在振动臂（5、6）之间，在与振动臂（5、6）相同的一侧从基部（4）起延伸。并且，振动臂（5）具有臂部（51）和设置在臂部（51）前端的锤头（59）。臂部（51）具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。

公开(公告)号：CN103401526B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201310337047.2

申请日：2011-02-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

IPC: H03H9/215 ,  H03H3/02

CPC classification number: H01L41/02 ,  A63F13/08 ,  A63F2300/204 ,  G04F5/06 ,  G06F1/1616 ,  H03B28/00 ,  H03H3/02 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215 ,  H03H2003/026 ,  H03H2003/0492

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，本发明的振动片是通过蚀刻加工而得到的振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其具有沿着第1方向延伸的缺口；以及振动臂，其沿着与上述第1方向交叉的第2方向从上述基部突出，在平面视中，上述缺口与通过上述振动臂的与上述第2方向正交的方向上的宽度的中心并且沿着上述第2方向的假想直线交叉，且具有多个被上述基部的主面的外缘夹着划定的上述第2方向上的宽度。

公开(公告)号：CN104660210A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201410655231.6

申请日：2014-11-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/215

Abstract: 振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供能够提高设置时的稳定性的振动片，此外，提供具有该振动片且具有优异的可靠性的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动片(200)具有：基部(220)；1对振动臂(230、240)，它们从基部(220)延伸；以及保持臂(250)，其从基部(220)起在1对振动臂(230、240)之间延伸，振动臂(230、240)具有：从基部(220)延伸的臂部(237、247)；以及设置在臂部(237、247)的末端部的锤头(260、270)，在设各振动臂(230、240)的质量为M1、保持臂(250)的质量为M2时，满足M1＞M2的关系。

公开(公告)号：CN104518750A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410493424.6

申请日：2014-09-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

CPC classification number: H02N1/006 ,  H03H9/24

Abstract: 本发明提供振子、振荡器、电子设备及移动体，所述振子可靠性品质高、振动特性稳定、且具有高Q值。MEMS振子(100)具备：基部(21)、从基部(21)延伸出的多个振动片(22)、从基部(21)的振动的波节部延伸出的支承部(25)、与支承部(25)连接的固定部(23)、以及将固定部(23)配置到主面上的基板(1)，多个振动片(22)与基板(1)相离。

公开(公告)号：CN104506160A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410645694.4

申请日：2011-04-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/215

CPC classification number: H03H9/15 ,  H03H9/17 ,  H03H9/21 ,  H03H9/215

Abstract: 振动片、振子以及传感器，能够降低热弹性损失，具有高的Q值。振动片(10)具有：进行弯曲振动的振动臂(30)；结合振动臂(30)的端部的基部(20)；锥形部(25)，其关于振动臂(30)的振动中心对称，随着从锥形部(25)与振动臂(30)的结合部靠近锥形部(25)与基部(20)的结合部，锥形部(25)的宽度变宽，当用L表示振动臂(30)的长度、用W表示振动臂(30)的宽度、用Lt表示锥形部(25)的长度、用Wt表示锥形部(25)的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定锥形部(25)的形状。通过这样地规定锥形部(25)的形状，能够降低随振动产生的热弹性损失而提高Q值，实现稳定的振动特性。

公开(公告)号：CN102035498B

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201010501423.3

申请日：2010-10-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/00

CPC classification number: H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/21

Abstract: 提供一种降低了CI值且抑制了不必要振动的小型的振动片、振子、振荡器以及电子仪器。压电振动片(81)具备：一对振动臂(83)，其从基部(22)一端侧起分成两叉而互相平行地延伸；锤部(85)，被设置在各个振动臂(83)的前端一侧；具有底部的第1槽部(87)，其沿着各个振动臂(83)的长度方向设置。在从第1槽部(87)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第1激励电极(89)；在从振动臂(83)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第2激励电极(90)。在比从各个振动臂(83)与基部(22)相连接部分的基端到前端(锤部(85)的前端)的长度L的一半L/2更靠前端一侧的第1槽部(87)上，形成有用于集中质量的槽内突出部(95)。

公开(公告)号：CN104242860A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410286254.4

申请日：2014-06-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0542 ,  H03H2003/028 ,  H03H2003/0407

Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。