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公开(公告)号：CN111465884A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201880075333.7
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里-帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里-帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
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公开(公告)号：CN111373521A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201880075402.4
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/673 , G01J3/26 , G02B26/00
Abstract: 一种搬运方法，是用于搬运包含多个法布里-帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将上述对象物收纳于收纳容器的第1工序；上述法布里-帕罗干涉滤波器具有基板、及设置于上述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在上述第1工序中，在上述多个法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将上述对象物收纳于上述收纳容器并支撑。
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公开(公告)号：CN110603430A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201880028870.6
申请日：2018-04-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光测量控制程序为在包含法布里-珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中，通过取得自光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序；上述法布里-珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部，且一对镜面部间的距离对应于一对镜面部间产生的电位差而变化；上述光检测器检测透过法布里-珀罗干涉滤光器的光；且该光测量控制程序使计算机作为以下两者发挥功能：电压控制部，其在开始电信号的取得前，将一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与测量对象的光的波长对应的设定电位差；及信号取得部，其在电压控制部在一对镜面部间产生设定电位差的状态下取得电信号。
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公开(公告)号：CN105683725B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201480058681.5
申请日：2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
Abstract: 分光传感器(1A)具备：法布里‑珀罗干涉滤波器(10)，设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a)；光检测器(3)，具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a)；配线基板(2)，安装有光检测器(3)；多个隔离物(4)，以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。
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公开(公告)号：CN109196405A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780032621.X
申请日：2017-05-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层；去除工序，其在形成工序之后，通过蚀刻自牺牲层同时去除二维状地排列的多个去除预定部；切断工序，其在去除工序后，沿着多条线的各个将晶圆切断成多个基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104520696B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201380042452.X
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2021/651
Abstract: 表面增强拉曼散射元件(SERS)2具备：基板21，其具有表面21a；细微结构部24，其形成于表面21a上并具有多个柱脚27；导电体层23，其形成于细微结构部24上并构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部20。导电体层23具有以沿着表面21a的形式形成的基底部28、在对应于各个柱脚27的位置上从基底部28突出的多个突出部29。基底部28的厚度大于柱脚27的高度。
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公开(公告)号：CN107532941A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680024252.5
申请日：2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/28 , G02B7/008 , G02B26/00
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括：法布里‑珀罗干涉滤光器(10)；光检测器(3)；间隔件(4)，其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面；及粘合构件(5)，其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式，位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部，且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号：CN105992964A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201580007963.7
申请日：2015-02-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种法布里‑珀罗干涉滤光器(10A)包括：固定镜(31)；和可动镜(41)，其经由空隙(S)与固定镜(31)相对而配置，通过静电力来调整光透过区域(11)中的与固定镜(31)的距离。在可动镜(41)中的包围光透过区域(11)的包围部(41a)形成有包围光透过区域(11)的多个第1环状槽(44)以及空隙(S)侧和在其相反侧开口的多个第1贯通孔(45)。
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公开(公告)号：CN105683725A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480058681.5
申请日：2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G01J3/45 , G01J5/04 , G01J5/20 , G02B26/001
Abstract: 分光传感器(1A)具备：法布里-珀罗干涉滤波器(10)，设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a)；光检测器(3)，具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a)；配线基板(2)，安装有光检测器(3)；多个隔离物(4)，以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。
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公开(公告)号：CN304296796S
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201630613287.5
申请日：2016-12-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：分光器。
2．本外观设计产品的用途：本产品是微型分光器，通过测量材料的反射光或者穿过材料的光的波长分布来分析材料的成分；该产品安装在各种光学仪器中，用于控制和修改打印机、监视器等的色调，以及用作连接于智能手机、图形输入板等移动通信设备的小型测量仪器，以便在食品、环境以及医疗等领域中，用于确定和识别材料以及诸如健康检查中的简单分析等。
3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图。
5．指定基本设计：设计1是基本设计。
6．透明情况：各设计表示部件名称的参考图中，用斜线表示的部分即入射窗是透明的。
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