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公开(公告)号：CN108780332A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780004964.5
申请日：2017-02-23
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明所涉及的流量控制装置具有：控制阀；设置于所述控制阀的下游侧的第一流路；第二流路；和设置于所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。
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公开(公告)号：CN105659177B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201480049536.0
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
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公开(公告)号：CN107532298A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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公开(公告)号：CN106687728A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201580039826.1
申请日：2015-08-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K7/14 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。
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公开(公告)号：CN105659177A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480049536.0
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105556411A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480049537.5
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
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公开(公告)号：CN104246642A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021682.8
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/87772
Abstract: 本发明的半导体制造装置的气体分流供给装置具备：控制阀（3），构成与处理气体入口（11）连接的压力式流量控制部（1a）；气体供给主管（8），与控制阀（3）的下游侧连通；多个分支管路（9a、9n），在气体供给主管（8）的下游侧以并列状连接；分支管路开闭阀（10a、10n），夹设于各分支管路（9a、9n）；节流孔（6a、6n），设置于分支管路开闭阀（10a、10n）的下游侧；温度传感器（4），设置在上述控制阀（3）与节流孔（6a、6n）之间的处理气体通路附近；压力传感器（5），设置在上述控制阀（3）与节流孔（6a、6n）之间的处理气体通路；分流气体出口（11a、11n），设置在上述节流孔（6a、6n）的出口侧；以及由压力式流量运算控制部（7a）构成的运算控制部（7），所述压力式流量运算控制部（7a）被输入来自上述压力传感器（5）的压力信号以及来自温度传感器（4）的温度信号，运算在上述节流孔（6a、6n）中流通的处理气体的总流量（Q），并且将控制信号（Pd）向阀驱动部（3a）输出，所述控制信号（Pd）使上述控制阀（3）向运算出的流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作；由压力式流量控制部（1a）进行流量控制。
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公开(公告)号：CN104081304A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201280068410.9
申请日：2012-10-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544
Abstract: 一种半导体制造装置的气体分流供给装置，具备：操纵阀(3)，其形成压力式流量控制部(1a)；气体供给主管(8)，其连通于操纵阀(3)的下游侧；节流孔(6)，其设于操纵阀(3)下游侧的气体供给主管(8)；多个分支管路(9a、9n)，其并列状地连接于气体供给主管(8)的下游侧；分支管路开闭阀(10a、10n)，其间置于各分支管路(9a、9n)；压力传感器(5)；分流气体出口(11a、11n)，其设于各分支管路(9a、9n)的出口侧；以及运算控制部(7)，其中，对阀驱动部(3a)输出使所述操纵阀(3)朝运算流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作的控制信号Pd，并且对分支管路开闭阀(10a、10n)输出使各分支管路开闭阀(10a、10n)各自依次打开一定时间之后使其封闭的开闭控制信号(Od1、Odn)，利用压力式流量控制部(1a)进行流通过节流孔(6)的过程气体的流量控制，并且通过分支管路开闭阀(10a、10n)的开闭来分流供给过程气体。
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公开(公告)号：CN102057340B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN200980121364.2
申请日：2009-04-06
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7761
Abstract: 在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P2)和控制压的设定值(Pst)，利用比例控制方式而向压力调整阀(15)的压电元件驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，通过使积分动作无效，将控制器的所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的控制。
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公开(公告)号：CN103518165A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201280022338.6
申请日：2012-04-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。
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