极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统

    公开(公告)号:CN102680120A

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201210164154.5

    申请日:2012-05-24

    Inventor: 赵永蓬 徐强 王骐

    Abstract: 极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统,它涉及极紫外光刻光源离子状态的检测系统,本发明是为了解决极紫外光刻机在正常工作条件下进行极紫外光刻光源离子状态检测时,由于相机对光刻光源的光路的遮挡难以实现极紫外光刻光源离子状态实时检测的问题。它包括极紫外收集镜、反射镜、滤光片、光电二极管和示波器;毛细管输出端面的中心点与反射镜上端部连线与毛细管输出端的中心点与反射镜下端部连线的夹角为9~11°。此夹角范围内输出的极紫外光入射光电二极管,转变为电信号传递给示波器,示波器又将电信号转变为光信号形成的波形来动态显示极紫外光刻光源的离子状态。本发明可应用于极紫外光刻光源离子状态的动态检测技术领域。

    内壁为圆弧形的放电等离子体EUV光源用毛细管

    公开(公告)号:CN102497718A

    公开(公告)日:2012-06-13

    申请号:CN201110371858.5

    申请日:2011-11-21

    Inventor: 王骐 赵永蓬 徐强

    Abstract: 内壁为圆弧形的放电等离子体EUV光源用毛细管,涉及一种放电等离子体EUV光源用毛细管。它是为了解决现有毛细管的内壁为圆柱形导致光学收集系统收集效率降低的问题。它的毛细管为轴对称结构,毛细管的侧壁截面为圆弧形,毛细管的内侧壁最窄处的直径为2mm至5mm。毛细管的材质为三氧化二铝。本发明适用于放电等离子体EUV光源中。

    用于飞行器激光制导仪器的激光器冷却装置

    公开(公告)号:CN101667714B

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN200910307020.2

    申请日:2009-09-15

    Abstract: 用于飞行器激光制导仪器的激光器冷却装置,属于激光器制冷领域,本发明是为了解决现有的通风冷却、水冷却、电制冷冷却以及制冷机组无法满足给飞行器激光制导仪器的激光器进行冷却的问题。本发明包括液态氨蒸发冷却器、液态氨瓶、循环水泵和电磁阀,液态氨蒸发冷却器为管壳式结构,液态氨蒸发冷却器由外壳和冷却水盘管组成,冷却水盘管设置在外壳内部,冷却水盘管的进水口和出水口露在外壳外部,液态氨瓶内充有液态氨,液态氨瓶与外壳的氨入口之间设置一个电磁阀,冷却水盘管的出水口与循环水泵连接。本发明用于飞行器激光制导仪器的激光器冷却。

    太赫兹二维面阵扫描成像方法及实现该方法的成像系统

    公开(公告)号:CN101806748A

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN201010132060.0

    申请日:2010-03-25

    Abstract: 太赫兹二维面阵扫描成像方法及实现该方法的成像系统,涉及一种太赫兹扫描成像方法及系统。解决了现有技术的逐点扫描成像只能处理单个数据点造成的成像时间过长的问题,和现有技术的面阵扫描成像只能对小物体快速成像的问题,本发明利用太赫兹激光器、光学系统、面阵探测器、二维平移台、步进电机控制器、数据采集卡和计算机进行二维面阵扫描成像,在成像光源固定的情况下,移动二维平移台到达合适的初始位置,并在成像过程中完成对目标的完整扫描,每次对成像目标的某一区域进行成像,最后将各个子图拼接起来,要获得成像目标的图像,需要对二维平移台和数据采集卡进行控制,并对数据进行处理和存储。适用于大尺寸、高速的目标成像。

    受激布里渊散射相位共轭参量振荡器

    公开(公告)号:CN1216874A

    公开(公告)日:1999-05-19

    申请号:CN97115992.0

    申请日:1997-11-04

    Abstract: 本发明提出一种受激布里渊散射相位共轭参量振荡器,具体的说是用受激布里渊散射介质盒代替参量振荡器的谐振腔的一端,并代替参量振荡器输出窗。受激布里渊散射介质盒是用普通玻璃管制成,两端有通光窗口,内装二硫化碳,酒精等散射介质,盒长15-30毫米,盒两端装有望远镜共焦透镜组。本发明可极大提高可调谐激光的光束质量,束散角变小,空间分布变得均匀,同时这种输出窗无频率限制,大范围变频时可不需更换窗片,使操作大为简化,而且结构简单,价格低廉,适用性强。

    一种基于振动方式的多模光纤激光散斑抑制方案的参数选择方法

    公开(公告)号:CN111965838B

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202010849983.1

    申请日:2020-08-21

    Abstract: 本发明涉及一种基于振动方式的多模光纤激光散斑抑制方案的参数选择方法。包括以下步骤:基于多模光纤耦合理论,在假定振动区域的模式耦合远大于非振动区域的模式耦合的情况下,获得各传输模式的输出功率模型,模型表明各模式的耦合功率与振动振幅的平方成正比,且在一个稳定的功率周围以2ω频率进行余弦变化;基于多模光纤振动输出功率的统计模型,获得Gm‑APD触发概率模型基于多模光纤模式耦合理论、Gm‑APD触发概率模型及多模光纤输出功率统计模型建立多模光纤耦合发射的多帧统计Gm‑APD探测模型。本发明对抑制多模光纤所产生散斑对成像结果影响的参数选择提供理论方法,建模型思路也可用于其它线性探测器。

    三通道光瞳耦合激光半主动目标模拟器

    公开(公告)号:CN110487509B

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201810455873.X

    申请日:2018-05-14

    Abstract: 三通道光瞳耦合激光半主动目标模拟器,属于激光技术应用领域,为解决现有激光半主动制导性能受到导弹面临环境的影响和制约的问题。包括光源模拟模块、三轴测试转台和测控模块;光源模拟模块通过准直物镜组以平行光形式为被测系统提供测试或仿真所需光源;三轴测试转台用于安装固定被测系统,转动所需测试角度,模拟被测系统测试或仿真使用的角位置信息;测控模块用于测试管控、测试参数反馈和记录。光源模拟模块将带有背景、目标、干扰目标的光信号以平行光方式投射到被测系统的出瞳处。被测系统通过转接工装安装在三轴测试转台的内环滚转环上,被测系统的入瞳位置位于三轴测试转台的转动中心。用于四象限激光探测测试、焦平面激光探测测试等。

    一种适用于偏振Gm-APD激光雷达的探测模型建立方法

    公开(公告)号:CN111220962A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN202010131135.7

    申请日:2020-02-28

    Abstract: 本发明公开了一种适用于偏振Gm-APD激光雷达的探测模型建立方法。步骤1:建立探测目标的偏振双向反射分布函数;步骤2:将步骤1的偏振双向反射分布函数座位目标反射特性的参数代入偏振激光雷达方程中;步骤3:经过步骤2的偏振激光雷达方程获得的回波能量结合Gm-APD触发特性方程得到偏振Gm-APD触发探测概率方程。本发明将回波的触发概率提高,并降低虚警率,并首次提出采用偏振探测技术实现Gm-APD激光雷达在白昼条件下实现有效探测,并建立完整的偏振探测模型。

    一种复制制造Wolter-I型反射镜的工艺

    公开(公告)号:CN107561609B

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201710724368.6

    申请日:2017-08-22

    Abstract: 本发明公开了一种复制制造Wolter‑I型反射镜的工艺,其工艺流程为:复制所用的精密芯轴制造→PVD工艺涂敷DLC膜层→PVD工艺涂敷金膜反射层→电铸镜壳→对镜壳表面修整→利用脱模装置在低温制冷室内将反射镜从芯轴上释放→清洗反射镜表面。本发明在复制金膜和芯轴表面之间涂敷DLC作为脱膜层,可以有效防止脱模过程中金膜的破损,有利于复制金膜从芯轴上顺利脱下;镀金膜时在芯轴回转表面和两个端面同时进行,防止电铸过程中电铸镍从芯轴端面金膜与芯轴表面之间渗入;延长电铸时间,可以提高镜壳的强度,防止变形,而且易于脱壳、运输和安装;在低温室内通过辅助脱壳装置使芯轴与镜壳分离,避免了反射镜制造成本增加和健康危害。

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