基于主动电磁负刚度结构的三自由度隔微振器

    公开(公告)号:CN112377561A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN202011185241.X

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 基于主动电磁负刚度结构的三自由度隔微振器属于精密隔振技术领域,包括上板、基板以及连接上板和基板的三套主动电磁负刚度结构。主动电磁负刚度结构利用同轴嵌套双磁环结构在垂向实现刚度不可调整的负刚度特性,并利用与双磁环负刚度结构同轴嵌套的通电线圈产生精密可控的励磁磁通,改变动磁环周围的偏置磁场,进而实现负刚度值的调整,适应隔振负载质量及激励频率的变化。偏置磁场由定磁环提供,线圈中只需较小的电流产生励磁磁通对偏置磁场进行调节,而无需持续的高能量输入,系统能耗低;采用双磁环负刚度结构与线圈并联的方式实现可调负刚度特性,系统兼具被动隔振系统的高稳定性以及主动隔振系统的高隔振性能。

    基于负刚度磁弹簧的大承载超低频空气弹簧隔振器

    公开(公告)号:CN111734775A

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN202010605236.3

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 基于负刚度磁弹簧的大承载超低频空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域,包括双腔室空气弹簧隔振器和负刚度磁弹簧,负刚度磁弹簧同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内,主气室的底部设置环形橡胶垫,主气室与附加气室之间均匀设置2~10个节流孔;负刚度磁弹簧由沿径向磁化的定磁环、关于定磁环的轴向高度中心对称布置的上动磁环与下动磁环同轴嵌套构成,上动磁环与下动磁环沿轴向反向磁化;本发明固有频率低,阻尼系数大,集成度高,能够实现精密仪器设备的低频/超低频隔振效果。

    基于电磁负刚度结构的空气弹簧隔振器

    公开(公告)号:CN111734767A

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN202010605223.6

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 基于电磁负刚度结构的空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域,包括双腔室空气弹簧隔振器和电磁负刚度结构,电磁负刚度结构同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内,主气室的底部设置环形橡胶垫,主气室与附加气室之间均匀设置2~10个节流孔;电磁负刚度结构由内定磁环、关于内定磁环的轴向高度中心对称布置的上动磁环与下动磁环、外定磁环同轴嵌套构成,上动磁环与下动磁环沿轴向反向磁化,内定磁环与外定磁环的轴向高度中心在同一水平线上,且沿径向反向磁化;本发明固有频率低,阻尼系数大,集成度及稳定性高。

    整体浮筑式抗扰动双级隔微振平台

    公开(公告)号:CN107700692B

    公开(公告)日:2019-07-30

    申请号:CN201710830078.X

    申请日:2017-09-15

    Abstract: 整体浮筑式抗扰动双级隔微振平台属于隔振技术领域,一级隔振器呈阵列式排列并以较低刚度支撑隔振台体,在隔振台体上方设置浮筑楼板、由建筑桩基础支撑,浮筑楼板与隔振台体不接触,被隔振仪器设备或通过配置在隔振台体上的二级隔振器支撑,被隔振仪器设备和二级隔振器均与浮筑楼板不接触,浮筑楼板采用混凝土楼板、钢结构楼板或由二者拼接构成;本发明可消除大型/超大型隔振中人员行走、实验操作以及辅助设备运行引入的系统内振源干扰,有效提高防微振实验室的隔振平台使用面积,有利于多台仪器设备协同工作和构建大型复杂实验系统。

    量子隧穿和球面散射场复合原理传感方法与装置

    公开(公告)号:CN109211079A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201810890252.4

    申请日:2018-08-07

    Abstract: 量子隧穿和球面散射场复合原理传感方法与装置属于精密传感与测量技术;本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感,首先调整复合原理测头和被测件的相对距离进入工作区间,然后采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果,据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间,然后通过三维量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号;本发明还提供了一种复合原理传感装置;本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性,可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。

    接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置

    公开(公告)号:CN109186435A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201810890253.9

    申请日:2018-08-07

    Abstract: 接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术;本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感,首先采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果,据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间,然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号;针对非导体被测物采用接触探测原理传感,微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号;本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置;本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性,同时也可针对非导体被测物进行测量,可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。

    基于速度预估相位解调的高速激光测振仪

    公开(公告)号:CN108801436A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810229477.5

    申请日:2018-03-14

    Abstract: 基于速度预估相位解调的高速激光测振仪属于激光测振技术领域;该测振仪包括干涉部分、探测部分和数据采集处理部分,数据采集处理部分由第一差分放大器、第二差分放大器和计算机组成,所采用的速度预估相位解调包括以下步骤:对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正,计算相位序列,计算初始位移,预估速度、位移、相位整数项和相位小数项,根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移;本发明为解决高速激光测振中存在的采样频率过高、数据量过大的问题提供了一种技术解决方案,可有效提高振动测量速度,降低硬件成本和扩大测振仪应用范围。

    多模复合双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115586802B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202211218937.7

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合,在二级钢板密封箱内安装冷却组件;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    多模复合与主动气浴超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115562388B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202211218943.2

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合与主动气浴超精密温控装置属于微环境温控设备技术领域,包括密封箱和设置于密封箱内侧的核心发热部件;在密封箱的内侧,且位于核心发热部件上侧设置有气浴组件,气浴组件对核心发热部件所在区域进行气浴;在密封箱内侧壁上设置有多组辐射对流双模复合控温机构,辐射对流双模复合控温机构对所述密封箱内侧的温度进行调控;密封箱内侧设置有对密封箱内侧环境进行监测的监测组件;在密封箱外侧设置有控制器,控制器获取所述监测组件的测量结果,并基于测量结果控制所述冷却组件、气浴组件、辐射对流双模复合控温机构对密封箱内侧的温度进行调节。通过气浴组件、辐射对流双模复合控温机构、冷却组件实现对密封箱内侧环境温度的复合控制。

    多模复合与主动气浴双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115509275B

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202211220596.7

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合与主动气浴双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在密封箱的内侧,且位于核心发热部件上侧设置有气浴组件,气浴组件对核心发热部件所在区域进行气浴;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装有除湿装置、过滤净化装置及传感器组合,在二级钢板密封箱内安装冷却组件;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度,本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

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