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公开(公告)号：CN116087912A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310114112.9
申请日：2023-02-14
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明涉及纳米声波操控技术领域，公开了一种氮化物微机械雷达锅设计及其制备方法，包括硅衬底层和设置于硅衬底层上部的氮化物层，所述氮化物层的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅能够通过声波频率来实现其摆扫方向的改变；在硅衬底层的外延片氮化物层上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备出一种悬空的微机械雷达锅。本发明的有益效果为：本发明的雷达锅在一定频率的声波下发生形变，进而可以控制其转变探测方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113418519A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110643418.4
申请日：2021-06-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种电泵浦光学陀螺及其制备方法，包括：探测器、外形波导和光学陀螺；外形波导包括从上至下依次设置的第一p型磷化铟层、第一量子阱层和n型磷化铟层，第一p型磷化铟层和第一量子阱层为渐变式结构；探测器包括探测器正电极和探测器负电极；光学陀螺包括从上至下依次设置的环形电极、第二量子阱层和第二p型磷化铟层。优点：本发明的外形波导采用了渐变设计，便于产生的激光在波导中的传输，降低了光学损耗。本发明采用了磷化铟外延片，并在刻蚀完成后，用饱和溴水对侧壁进行了光滑修饰，这样易于光学陀螺中产生更好的激光。
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公开(公告)号：CN112134140A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010929131.3
申请日：2020-09-07
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电调控的有源耦合腔激光器，包括硅衬底；所述硅衬底上设置有第一有源耦合腔、第二有源耦合腔和硅衬底电极；所述第一有源耦合腔和第二有源耦合腔均通过硅柱固定在硅衬底上；所述第一有源耦合腔、第二有源耦合腔的底部与硅柱之间均设置有氮化铝层；所述第二有源耦合腔的顶部设置有第一耦合腔电极和第二耦合腔电极；所述第一耦合腔电极和第二耦合腔电极均为半圆形结构且相对设置。本发明在光激发下通过三个电极的不同组合供电方式给有源腔提供横向和纵向电场，实现对发光模式的调控。
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公开(公告)号：CN110957406A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911232774.6
申请日：2019-12-05
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电驱动光栅波分复用器件及其制备方法，器件以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层的n型环形电极，两边刻至硅衬底层，等高等宽的光栅结构刻至p型氮化镓层中部。本发明是在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和EBL刻蚀工艺制备电驱动光栅波分复用器件。
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公开(公告)号：CN106785896A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611181765.5
申请日：2016-12-19
Applicant: 南京邮电大学
CPC classification number: H01S5/1042 , H01S5/0601 , H01S5/0657
Abstract: 本发明公开了一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和深硅刻蚀工艺制备悬空的带缺口的环形薄膜微腔，然后在微腔的缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在合适的光泵浦条件下，实现氮化物的锁模回音壁激光。
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公开(公告)号：CN104009394A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410179543.4
申请日：2014-04-30
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种单方向发射的光泵浦氮化镓微激光器及其制备方法，以硅基氮化物晶片为载体，包括硅衬底层、设置在硅衬底层上表面一侧边缘的氮化镓平台、与氮化镓平台连接的氮化镓悬臂梁、与氮化镓悬臂梁连接的非对称薄膜微腔结构，非对称薄膜微腔结构下方设置有贯穿硅衬底层的空腔，使得非对称薄膜微腔结构和氮化镓悬臂梁完全悬空。该方法首先利用在硅衬底上的氮化镓材料，利用电子束刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备悬臂梁支撑的非对称氮化镓悬空薄膜微腔，在合适的光泵浦条件下，获得单方向发射的回音壁模紫外激光。
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