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公开(公告)号：CN110504614A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910767918.1
申请日：2016-04-01
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 宫本浩孝
Abstract: 本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；以及第2扩束光学系统，其包含被配置在所述腔室与所述第1扩束光学系统之间的多个光学元件，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向和所述第1方向双方垂直的第2方向上扩展，所述激光装置构成为，通过一体地支撑所述多个光学元件的支撑部，能够在所述腔室与所述第1扩束光学系统之间安装和卸下所述第2扩束光学系统。
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公开(公告)号：CN110471261A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910767894.X
申请日：2016-04-01
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 宫本浩孝
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；以及第2扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向和所述第1方向双方垂直的第2方向上扩展，使从所述第2扩束光学系统到所述光栅的所述光束的光路轴相对于从所述腔室到所述第2扩束光学系统的所述光束的光路轴在所述第2方向上偏移。
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公开(公告)号：CN109891688A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201680090114.7
申请日：2016-12-08
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/10
Abstract: 激光装置具备：A、固态激光装置，其输出包括多个脉冲的突发种子脉冲光；B、准分子放大器，其在放电空间中，利用一次放电对突发种子脉冲光进行放大，作为放大突发脉冲光输出；C、能量传感器，其计测放大突发脉冲光的能量；以及D、激光控制部，其基于从所述固态激光装置输出突发种子脉冲光的时机与在放电空间中产生放电的时机之差和能量的计测值之间的关系，校正使固态激光装置输出突发种子脉冲光的时机。
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公开(公告)号：CN109792132A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201680089816.3
申请日：2016-11-29
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 激光加工系统具备：波长可变激光装置，其输出氧吸收光的波长的吸收线和氧的吸光量比吸收线少的波长的非吸收线各自的激光；光学系统，其向被加工物照射激光；以及激光控制部，其控制波长可变激光装置的激光控制部，在包含氧的气体中对被加工物的表面进行激光加工时，将波长可变激光装置输出的激光的波长设定为非吸收线，而且在包含氧的气体中对被加工物的表面进行臭氧洗涤时，将波长可变激光装置输出的激光的波长设定为吸收线。
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公开(公告)号：CN109314366A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086414.8
申请日：2016-07-22
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 守屋正人
Abstract: 窄带化KrF准分子激光装置包括激光腔、窄带化光学系统、致动器、输出耦合镜、波长检测器以及波长控制部。致动器构成为能够变更由窄带化光学系统选择的光的波长。波长检测器包括低压水银灯、标准具及光分布传感器，低压水银灯在内部收纳有水银、对水银的至少一部分进行吸附的吸气材料以及对水银的至少一部分进行激励的热阴极；标准具配置在从低压水银灯射出的基准光和从输出耦合镜射出的被检测光所入射的位置；光分布传感器检测基准光的干涉条纹的波形和被检测光的干涉条纹的波形。波长控制部对基准光的干涉条纹的波形进行累计而计算累计波形，根据累计波形和被检测光的干涉条纹的波形计算被检测光的波长，并根据被检测光的波长计算结果控制致动器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109073463A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201680084506.2
申请日：2016-05-19
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 守屋正人
Abstract: 一种波长检测装置，其使用至少一个标准具而检测从激光谐振器输出的紫外线激光的波长，波长检测装置包括：第1壳体，其对容纳标准具的内部空间进行封闭；输入窗口，其安装在形成于第1壳体的第1开口，将紫外线激光导入第1壳体内；第1密封部件，其对输入窗口的端缘部与第1开口的内周部之间的间隙进行密封；遮光膜，其配置在输入窗口的端缘部与密封部件之间，对从输入窗口朝向第1密封部件的紫外线激光进行遮挡；和扩散元件，其配置在第1壳体的外侧，在输入窗口的前级使紫外线激光扩散。
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公开(公告)号：CN108604540A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201680081317.X
申请日：2016-03-24
Applicant: 国立大学法人九州大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: H01L21/228
CPC classification number: H01L21/228
Abstract: 激光掺杂装置具有：溶液供给系统，其对掺杂区域供给包含掺杂剂的溶液；脉冲激光系统，其输出透过溶液且包含多个脉冲的脉冲激光；第一控制部，其控制对掺杂区域照射的脉冲激光的脉冲数和掺杂区域中的脉冲激光的注量；以及第二控制部，其控制溶液的流速，以使得每次照射脉冲时在溶液内所产生的气泡从掺杂区域移开。
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公开(公告)号：CN108028506A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201580082992.X
申请日：2015-10-19
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开提供一种激光装置管理系统，其可以具备：服务器，以存储第一信息、第二信息和第三信息的方式构成，第一信息以通过第一访问权限可以进行访问的方式受到访问限制，第二信息以通过第二访问权限可以进行访问的方式受到访问限制，第三信息以通过第一访问权限和第二访问权限的双方可以进行访问的方式受到访问限制；以及激光装置，包括激光输出部和控制部，激光输出部向进行晶片曝光的曝光装置输出脉冲激光束，控制部进行将第一信息、第二信息和第三信息保存在服务器中的控制。第二信息包括互相建立对应的曝光装置的晶片曝光关联信息与激光装置的激光控制关联信息。
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公开(公告)号：CN107534266A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680022711.6
申请日：2016-04-01
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 宫本浩孝
IPC: H01S3/1055
Abstract: 激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其配置在腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在腔室与光栅之间，以使从腔室输出的光束至少在第1方向上扩展，该第1方向与一对放电电极之间的放电方向垂直；以及第2扩束光学系统，其包含配置在腔室与光栅之间的多个棱镜，以使从腔室输出的光束至少在第2方向上扩展，该第2方向与一对放电电极之间的放电方向平行。
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公开(公告)号：CN107210577A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580075739.1
申请日：2015-03-25
Applicant: 极光先进雷射株式会社
CPC classification number: H01S3/2308 , H01S3/005 , H01S3/034 , H01S3/038 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2316
Abstract: 该激光装置可以具有：振荡器，其包括第1激光腔室、光谐振器和配置在第1激光腔室中的第1放电电极对，该振荡器输出激光；第1放大器，其包括配置在从振荡器输出的激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于第2激光腔室中的第2放电电极对，该第1放大器对激光进行放大并输出；以及第1光束调节光学系统，其配置在振荡器和第1放大器之间的光路上，调节从振荡器输出的激光，以使得入射到第1放大器的激光沿第2放电电极对的放电方向上的光束宽度与第2放电电极对的第1间隙间隔大致相同。
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