一种离子源
    51.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215008131U

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN202121598251.6

    申请日:2021-07-14

    Inventor: 张继朋 魏国军

    Abstract: 本实用新型提供一种离子源,在放电室内可拆卸设置第二栅网,通过第二栅网上规律分布的开孔改变气体密度,从而调节电离后产生的离子数量,无需加工与所需离子分布相应的多层栅网,只需单独加工和更换第二栅网即可实现。

    一种等离子枪阳极冷却结构

    公开(公告)号:CN214797319U

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN202120438941.9

    申请日:2021-03-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种等离子枪阳极冷却结构,涉及等离子枪技术领域,其技术方案要点包括至少一个位于等离子枪阳极一端的冷却介质进口和冷却介质出口,所述等离子枪阳极的外周侧壁上设置有间隔排列的冷却介质进入通道和冷却介质排出通道,所述等离子枪阳极的另一端设置有循环回流腔,所述循环回流腔与冷却介质进入通道和冷却介质排出通道连通,所述冷却介质进口和所述冷却介质进入通道连通,所述冷却介质出口和所述冷却介质排出通道连通。本申请通过令冷却介质通过冷却介质进口进入到冷却介质进入通道,再通过冷却介质排出通道与冷却介质出口流出,形成闭合回路的冷却结构,使得该等离子枪阳极冷却结构具有冷却结构紧凑以及换热效率高的效果。

    钛钢齿状低温等离子正极发射片

    公开(公告)号:CN214753629U

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN202120483395.0

    申请日:2021-03-05

    Inventor: 常贵新

    Abstract: 本实用新型涉及等离子体技术领域,具体为钛钢齿状低温等离子正极发射片,包括安装架,安装架上连接有多个固定板,多个固定板上卡设有多个齿状发射片,齿状发射片上连接有多个滑块,滑块与固定板滑动连接,固定板上安装有多个触点,滑块上安装有触板,滑块上连接有固定机构,固定机构包括U型板,U型板与滑块连接,U型板上通过弹簧连接有连接板,连接板上安装有连接杆,连接杆的底端贯穿U型板固定连接有定位柱,固定板上开设有多个与定位柱相匹配的定位槽,定位柱伸至定位槽的内部,定位槽的数量为触点的数量的两倍,其与其他介质的接触面积较大,发射的效率较高,实用性较高,并且其便于进行安装,使用局限性较低。

    一种射频线圈位置可调整的射频离子源

    公开(公告)号:CN210223933U

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201921361128.5

    申请日:2019-08-21

    Inventor: 陈晓东

    Abstract: 本实用新型涉及一种射频线圈位置可调整的射频离子源,具有绝缘底座、上盖以及保护壳,保护壳上端固定在上盖上,保护壳下端固定在绝缘底座上,绝缘底座上设有进气通道,上盖上设有栅极组件,保护壳内安装有电离腔,电离腔外周套设有射频线圈,射频线圈上固定有高度调节装置,用来调整射频线圈在电离腔外的位置,高度调节装置包括固定组件、支撑柱以及固定螺母,固定组件通过支撑柱,穿过绝缘底座,最后与固定螺母旋紧固定。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷,提供一种射频线圈位置可调整的射频离子源。

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