一种飞秒激光加工喷嘴切向孔的装置和方法

    公开(公告)号:CN113492270A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110644477.3

    申请日:2021-06-09

    Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光加工喷嘴切向孔的装置和方法,涉及激光精密加工领域,装置包括飞秒激光器、波片、光阑、扩束镜、空间光整形器、扫描振镜、计算机、数控三轴运动平台、吸尘装置、工装夹具、过滤系统、密封管、压力表和抽真空泵;该技术方案原理是采用圆偏振态、平顶光分布的飞秒激光进行喷嘴切向孔的均匀精密加工,通过所述工装夹具中的防护挡块实现切向孔出口处的背伤保护,抽真空泵产生的负压既能监测孔的击穿情况,又能避免产生的等离子体对激光的屏蔽。本发明可以有效提高目前喷嘴切向孔的加工精度,避免重铸层和热影响的缺陷,又为背伤保护提出了解决办法,有助于提高喷嘴产品的液流性能。

    一种大幅激光加工用光机电协同控制方法

    公开(公告)号:CN113448287A

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202110774943.X

    申请日:2021-07-08

    Abstract: 本发明公开了一种大幅激光加工用光机电协同控制方法,适用于利用振镜和进给轴进行大幅面激光加工的数控机床。该方法将激光光斑待加工的大幅面轨迹进行规划,并将规划好的位置点的命令进行分配,按照点位分配的约束机理将轨迹分配给底部的进给系统和振镜系统;再利用振镜和进给轴的联动控制,实现无限视野下的光机电协同控制激光加工。将激光、振镜和进给轴等加工单元结合在一起,能够实现全面协同控制,状态同步;而且这种方法下将激光加工路径自动分配给进给轴和扫描振镜,激光也被同步控制触发,能够实现快速而高精度的大幅面加工。

    一种飞秒激光旋转加工光纤微结构的装置及方法

    公开(公告)号:CN113427135A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110714907.4

    申请日:2021-06-25

    Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光旋转加工光纤微结构的装置及方法,该装置包括飞秒激光器和计算机,在飞秒激光器的激光光路上通过光学固定支架依次放置有扩束镜、孔径光阑、第一反射镜、第二反射镜和扫描振镜,在扫描振镜正下方安装有数控三维运动平台,数控三维运动平台上放置有用于夹持光纤的工装夹具,开启飞秒激光器,将指示光斑置于光纤的正上方,移动数控三维运动平台,观察运动时光斑在光纤上的位置,调整工装夹具方向使数控三维运动平台移动时指示光斑始终保持在光纤的正上方,将工装夹具的可调速交流伺服电机与配套的调速器相连接,通过计算机控制飞秒激光器、数控三维运动平台及工装夹具。该方法实现了光纤微结构的加工。

    一种加工二维纳米结构的装置及方法

    公开(公告)号:CN113176424A

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202110352626.9

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本发明公开了一种加工二维纳米结构的装置及方法,属于近场光学和纳米光刻领域。为解决现有技术存在的不足,采用光纤连续激光复合AFM探针诱导近场增强技术,通过调节激光波长,诱导可控增强近场制造二维纳米结构可控形态,激光波长的改变会导致AFM探针增强电磁场出现崔健磊,纳米结构形态变化根据增强近场与样品表面结构变化所需能量的相对大小而定。本发明无需更换和损坏探针,以非接触式方式快速、准确的制造不同形态的纳米结构,写图形时间为微秒级,可满足器件制造的需要。

    一种分区块式强化沸腾换热微结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN110595241B

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201910854200.6

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种分区块式强化沸腾换热微结构及其制造方法,包括散热板,散热板上设置有若干圆形的区块单元,每个区块单元由若干圈微柱组成,所述区块单元呈阵列分布在散热板上。一方面,本发明可限制高热流密度时气柱的间距及气柱的半径,阻碍气柱间合并,显著地强化了高热流密度区的沸腾换热性能,大大地提高芯片沸腾换热的临界热流密度。另一方面本发明的每个区块单元呈同心圆布置的圆形微柱,从内圈到外圈微柱间的间距依次增大,可以减小流体从光滑区域定向输送至微结构区域的流动阻力,在高热流密度下将新鲜液体及时供给到汽泡中心底部,从而维持汽泡蒸发,从而进一步提高临界热流密度。

    一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法

    公开(公告)号:CN111843386A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010709509.9

    申请日:2020-07-22

    Abstract: 一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法,先通过磁控溅射仪在硅片基底表面溅射一层银薄膜,然后搭建激光复合SNOM探针加工平台,实现SNOM探针的精准位置控制以及激光与SNOM探针针尖小孔的精确复合加工,最后设置激光参数并在样品表面进行纳米结构加工;本发明同时利用SNOM探针针尖的高精度,以及激光在针尖产生的高瞬时能量等特点对银薄膜表面进行纳米结构加工,工艺简单,加工效率高,可大规模使用,加工产生的结构尺寸满足纳米结构的要求。

    一种超声辅助激光抛光陶瓷基复合材料的方法

    公开(公告)号:CN111716005A

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN202010567580.8

    申请日:2020-06-19

    Abstract: 一种超声辅助激光抛光陶瓷基复合材料的方法,先将SiC陶瓷基复合材料的加工样片表面研磨抛光,超声清洗;再将加工样片固定在超声辅助激光抛光加工装置上,移动平台使激光聚焦到起始加工位置;设置激光参数、振镜扫描参数、超声振动参数和XYZ高精密移动平台的运动参数,打开飞秒激光器和超声发生器,用调好的参数进行加工样片的超声辅助激光抛光加工;抛光完成后,对加工样片再次进行超声清洗;本发明将激光与超声两种加工方法相结合,充分利用了超声波的声流、空化等效应,解决了激光抛光过程中因等离子效应和颗粒粘附效应产生的重铸层、表面裂纹等缺陷的问题,优化了激光加工的进程,提高了材料去除率和抛光表面质量。

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