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公开(公告)号：CN109406831A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201710806553.X
申请日：2017-09-08
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明提供了一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的矩形微悬臂梁探针设计及加工方法，首先建立具有普适性的摩擦系数测量理论模型；再结合矩形微悬臂梁探针的结构特性，建立适用于矩形微悬臂梁探针的摩擦系数测量理论模型；在此基础上，结合摩擦系数分辨率、可加载的最大正压力或可测量的最小摩擦力以及原子力显微镜特性等约束条件，设计满足测量要求的矩形微悬臂梁探针；最后依据设计尺寸加工矩形微悬臂梁探针。采用本发明提出的方法设计、加工出的探针能够显著提高摩擦系数测量分辨率，实现0.0001及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量，保证超滑过程定量分析的真实性和可靠性，为深入系统研究超滑理论和技术提供一种重要的测量手段。
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公开(公告)号：CN109406386A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201711033488.8
申请日：2017-10-30
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01N19/02
Abstract: 本发明提供了一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的异形横截面微悬臂梁探针设计及加工方法，其设计方法是首先建立具有普适性的摩擦系数测量理论模型；再结合异形横截面微悬臂梁探针的结构特性，建立适用于异形横截面微悬臂梁探针的摩擦系数测量理论模型；在此基础上，结合摩擦系数分辨率、可加载的最大正压力或可测量的最小摩擦力以及原子力显微镜特性等约束条件，设计满足测量要求的异形横截面微悬臂梁探针。采用本发明提出的方法设计、加工出的探针，能够显著提高摩擦系数测量分辨率，实现10-6及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量，保证超滑过程定量分析的真实性和可靠性，为深入系统研究超滑理论和技术提供了一种重要的测量手段。
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公开(公告)号：CN109179314A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811244735.3
申请日：2018-10-24
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法，包括以下步骤：S1、在大于单晶硅屈服极限的接触压力下利用金刚石探针在单晶硅样品表面进行刻划，对刻划后的单晶硅样品进行清洗以去除表面的磨屑和杂质；S2、将清洗后的单晶硅样品浸入到体积比为1：5～1：100范围内的氢氟酸/硝酸混合溶液中进行刻蚀，刻蚀时间为1～60s，刻蚀完成后取出单晶硅样品，并对其表面再次进行清洗，获得所需单晶硅表面纳米结构。本发明通过巧妙地将摩擦诱导纳米加工工艺整合到基于HF/HNO3溶液的刻蚀体系中，成功地将HF/HNO3这种传统的各向同性刻蚀剂在单晶硅表面进行各向异性刻蚀加工，该项技术方案突破了多年来HF/HNO3在微电子领域一直无法直接刻蚀出纳米结构限制。
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公开(公告)号：CN109100249A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201811241083.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种成品刀具涂层耐磨性能测试装置，包括进给动作机构、转动机构、测力仪以及固定安装于测力仪上的板簧力加载机构；进给动作机构包括竖直进给组件和水平进给组件，测力仪安装于水平进给组件上，板簧力加载机构包括相互固定连接的板簧组件和角度可调夹具，待测刀具夹持于角度可调夹具上，转动机构与竖直进给组件固定连接，其包括转动组件以及安装于转动组件上的摩擦盘，摩擦盘的圆柱面与待测刀具相接触形成线-面接触摩擦副。该装置能适应成品涂层刀具涂层耐磨性能测试需求和特点，同时具有划擦速度调整范围宽、加载力可调范围大、操作简便的优点，具有很强的实用性，值得在业内推广。
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公开(公告)号：CN209673843U
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201920397817.5
申请日：2019-03-27
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本实用新型公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，同时能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间，并且对探针切换机构进行改造，能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209102551U
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201821726164.2
申请日：2018-10-24
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本实用新型公开了一种成品刀具涂层耐磨性能测试装置，包括进给动作机构、转动机构、测力仪以及固定安装于测力仪上的板簧力加载机构；进给动作机构包括竖直进给组件和水平进给组件，测力仪安装于水平进给组件上，板簧力加载机构包括相互固定连接的板簧组件和角度可调夹具，待测刀具夹持于角度可调夹具上，转动机构与竖直进给组件固定连接，其包括转动组件以及安装于转动组件上的摩擦盘，摩擦盘的圆柱面与待测刀具相接触形成线-面接触摩擦副。该装置能适应成品涂层刀具涂层耐磨性能测试需求和特点，同时具有划擦速度调整范围宽、加载力可调范围大、操作简便的优点，具有很强的实用性，值得在业内推广。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211760249U
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201921917195.0
申请日：2019-11-08
Abstract: 一种面向复杂曲面加工的三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置，包括工作电极模块、对电极模块、参比电极模块、电化学工作站、力流变抛光机、抛光液池和力流变抛光液，工作电极模块固定安装在力流变抛光机上，抛光工件作为工作电极与抛光液池内的力流变抛光液接触，与电化学工作站连接；对电极模块固定安装在力流变抛光机上，对电极与力流变抛光液接触，与电化学工作站相连；参比电极模块固定安装在力流变抛光机上，参比电极与力流变抛光液接触，与电化学工作站相连。本实用新型通过优化电化学反应和力流变机械力的协同作用，实现复杂曲面高表面完整性加工。同时，力流变抛光液是水基溶液，比热容大，可以有效抑制热的影响。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209902961U
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201920397405.1
申请日：2019-03-27
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本实用新型公开了一种模块化设计的自供紫外光源的抛光头装置，包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块，其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈，该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关；装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片；晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本装置采用模块化的设计，方便了单个模块互换以及模块间装配；本装置将紫外光源装置与抛光头装置高度集成，提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能；本装置中的机械结构采用铝合金，减少了抛光头装置质量，降低了电机损耗。本实用新型的高集成和轻质量特性有效实现了绿色节能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208367033U
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201820951304.X
申请日：2018-06-20
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01Q70/00
Abstract: 本实用新型公开了一种基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置，包括腔体上盖和探针切换结构。所述腔体上盖设置有非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构。本实用新型具有如下突出优点：1)非规则类矩形凸台、内凹槽、矩形光窗结构以及密封法兰结构设计显著增加了腔体内部工作空间并且有效提高了空间利用率；2)内凹槽、L型过渡板连接结构以及探针托架与探针载动块非对称配合设计有效保证了激光垂直聚焦高度和聚焦位置；3)能够在真空、气氛、液体等不同工作环境中通过程序控制实现多达8根不同功能探针的高效、精确切换，进而在同一工作环境中原位实现表面形貌扫描、拉曼光谱分析、微观摩擦磨损和摩擦系数测量等功能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208179277U
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201820471015.X
申请日：2018-03-30
Applicant: 西南交通大学
IPC: B24B41/00
Abstract: 本实用新型公开了一种高加载均匀性和高通用性的抛光头，包括连接圆盘、至少三个弹簧钢片和中间圆盘，中间圆盘的盘体边缘设置有向上凸起的边缘环脊，边缘环脊使中间圆盘形成一个开口向上的空腔；各弹簧钢片的内侧段与连接圆盘间隔均匀的固连；各弹簧钢片的外侧端与中间圆盘的边缘环脊间隔均匀的固连；连接圆盘用于与上圆盘连接，以连接抛光机旋转轴；中间圆盘用于与底圆盘和保持环连接，以夹持晶圆。本实用新型明显改善了晶圆背侧的受力均匀性，保障了晶圆的平坦化过程。通过保持环和底圆盘拆换结构，可以方便快捷地夹持不同直径的晶圆以及异形样品；通过更换不同的装卡头，可以适用于不同型号的抛光机，提高了本实用新型抛光头的通用性。
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