基片的预对准方法
    51.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107908086A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711122043.7

    申请日:2017-11-14

    Abstract: 本发明涉及一种基片的预对准方法,该基片的预对准方法通过在基片上投影一幅特征图像和测距图像来确定边缘上边缘点的坐标,并根据边缘点坐标来计算基片的倾斜角度和基片中心坐标,最后通过移动工件台来使基片中心坐标和成像中心坐标对准,实现快速高效高精度的预对准工作。与现有技术相比该基片的预对准方法有着无需增加现有直写设备硬件成本、步骤简单、预对准精度高的优势。

    一种三维成型装置及方法
    52.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105619819B

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201610090876.9

    申请日:2016-02-18

    Abstract: 本发明提出一种基于基底层的三维成型装置,包括基底层以及基材成型机构、曝光机构、支撑机构及剥离机构,基材成型机构包括分离液喷射装置及用于盛放感光材料的容置槽,分离液喷射装置喷射分离液至基底层下方表面以形成分离型涂层,之后涂覆感光材料层,基底层、分离型涂层与感光材料层依次成型形成基材,基材被反复依次运送至基材成型机构、支撑机构及剥离机构,控制基材成型机构、曝光机构与剥离机构的对应位置,可以使得三维成型装置同时进行基材成型、曝光、剥离中的两个或三个步骤,基材成型、曝光与剥离动作同时反复进行,提升了工作效率,适用于三维实体的大幅面、高效率、高精度和低成本等制作要求。

    一种直写系统运动平台的正交性测定方法

    公开(公告)号:CN105629678B

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201610047977.8

    申请日:2016-01-25

    Abstract: 本发明公开了一种直写系统运动平台的正交性测定方法,包括以下步骤:步骤一,设计光刻文件,使其四个角具有定位标记点;步骤二,将基板固定于运动平台上;步骤三,根据光刻文件对基板进行直写曝光;步骤四,记录下基板各个侧边对应运动平台的XY方向,然后进行显影、清洗、烘干;步骤五,将基板旋转90°后固定于直写系统的运动平台上;步骤六,移动运动平台,分别使得四个定位标记点位于CCD的中心位置,并记录下相应的位置坐标;步骤七,将位置坐标连线形成平行四边形,计算运动平台的正交性。本发明相较于现有技术,无需借助第三方设备与工具,周期快,简单便捷,成本低,而且适用于大幅面平台的校正。

    基于微金属网格的电磁屏蔽罩及其制备方法

    公开(公告)号:CN104185410B

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201410464874.2

    申请日:2014-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于微金属网格的电磁屏蔽罩及其制备方法,该方法包括:通过微纳压印方法,在柔性衬底上形成微金属网格沟槽;将纳米导电浆料通过刮涂方式填充到微金属网格沟槽中,并烧结后形成微金属网格导电薄层;通过电铸沉积后在微金属网格沟槽中形成的微金属网格;将沉积后的微金属网格从柔性衬底的微金属网格沟槽中剥离出来,形成镂空的微金属网格;将镂空的微金属网格与相同尺寸的金属薄片复合,形成复合微金属网格;将复合微金属网格固定于凹形模具上,通过压延将复合微金属网格获得与凹形模具相同的形状;分离复合微金属网格,得到形状与凹形模具相同的电磁屏蔽罩。本发明电磁屏蔽罩制作效率高,成本低、并可实现大批量制备。

    一种宽视角波导镜片及制作方法和头戴式三维显示装置

    公开(公告)号:CN106526730A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201611040561.X

    申请日:2016-11-21

    Abstract: 本发明公开了一种宽视角波导镜片及制作方法和头戴式三维显示装置,利用具有能实现会聚光场视角放大功能即光栅透镜功能的纳米光栅结构,实现三维虚拟信息的视角放大,并在人眼前投射,通过宽视角波导镜片实现虚拟物体与现实景物的完美融合,由于视角得以放大,使得人眼观察虚拟物体和现实景物融合的场景时难以察觉这是融合景象,使得体验更加真实,同时基于全息原理,可以方便的将计算全息与纳米结构功能光场镜片相结合,从而实现无视觉疲劳的、高亮度的、头戴式3D增强现实显示方案和装置、也可方便的实现支持3D显示图像的动态聚焦。

    纳米转印方法及纳米功能器件

    公开(公告)号:CN105374467B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201510696751.6

    申请日:2015-10-23

    Abstract: 本发明公开了一种纳米转印方法及纳米功能器件,其中,纳米转印方法包括如下步骤:S1.在柔性金属基板上涂布光刻胶;S2.对所述涂布光刻胶的柔性金属基板进行光刻,形成沟槽图形;S3.第一次电铸处理,形成图形电极;S4.第二次电铸处理,形成转印层;S5.通过卷对平转印模式,控制所述柔性金属基板,在相应承接基板上转印形成纳米结构材料层。本发明可在同一基板上实现不同材质的纳米电极或纳米结构功能区的转印,或者在同一基板相同区域实现多层复合结构纳米电极和功能区的转印。其利用金属基底上的图形电极作为转移模具,通过电沉积工艺,在转印模具的电极上形成纳米级材料层,并将模具上纳米级材料层转移到相应的柔性基板表面。

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