感光性树脂组合物及感光性树脂膜的制造方法

    公开(公告)号:CN102549497B

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201080040527.7

    申请日:2010-09-07

    CPC classification number: G03F7/0233 G03F7/0048 G03F7/037

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物能够抑制随着减压干燥产生气泡、形成干燥后的膜厚均匀性优异的感光性树脂膜。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,含有:(a)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺的前体、及聚苯并噁唑的前体中的至少1种以上的树脂、(b)感光剂、(c)大气压下的沸点为100℃以上130℃以下的有机溶剂及(d)大气压下的沸点为150℃以上、20℃下的粘度大于1.1mPa·s、小于1.5mPa·s的有机溶剂,且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为40重量%以上90重量%以下,(d)成分的含量相对于有机溶剂总量为10重量%以上60重量%以下。

    感光性树脂母体组合物
    56.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1971418A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200610114895.7

    申请日:2000-05-30

    Abstract: 本发明提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物,其特征在于,含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物,且满足条件(b)相对于100重量份的聚合物,含有通式(8)所示的酚化合物1~50重量份与萘醌二叠氮基磺酸酯1~50重量份。

    感光性树脂母体组合物
    57.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1275094C

    公开(公告)日:2006-09-13

    申请号:CN00800643.1

    申请日:2000-05-30

    Abstract: 提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物,其特征在于,含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物,且满足下述条件(a)和/或(b)。(a)含有偶极矩在0.1德拜以上、1.6德拜以下的通式(6)或(7)所示的酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸的酯1~50重量份。(b)含有通式(8)所示的酚化合物的萘醌二叠氮基磺酸酯相对于100重量份的聚合物,萘醌二叠氮基磺酸酯的添加量为1-50重量份。

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