红外线检测装置
    60.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104823030A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201380061498.6

    申请日:2013-11-01

    CPC classification number: G01J5/023 G01J5/024 G01J5/046 G01J5/34 H01L37/02

    Abstract: 红外线检测装置具备基板和热型光检测元件。基板具有凹部、和位于凹部的周围的框部。热型光检测元件具有脚部和检测部,脚部连接在框部上以使检测部位于凹部上。此外,热型光检测元件具有:设置在基板上的第1电极层、设置在第1电极层上的检测层、和设置在检测层上的第2电极层。第1电极层的线性热膨胀系数大于基板的线性热膨胀系数,基板的线性热膨胀系数大于检测层的线性热膨胀系数。

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