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公开(公告)号：CN103752878A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410051817.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B31/107 , B23B31/30
Abstract: 外卡式液压抓卡装置属于工夹器具，在筒身的上、下端面上分别固装上、下板，楔形块固装在上板上，活塞总成插装在楔形块中心孔内，且位于筒身的密闭腔室内，在活塞总成的活塞部位外圆表面上配装密封圈，叠簧套装在活塞总成上，其上、下端面分别与上板和活塞总成接触配合，在筒身上设置排气孔，筒身下腔室经管道与油箱固接，液压泵接入管道内，弹性铰链块套装在楔形块外部上，限位圈嵌套在弹性铰链块外部上，通过预紧螺钉将转接板安装在活塞总成上端部上，转接板与弹性铰链块固接；本装置结构简单，作业质量好，可靠性高，适应能力强。
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公开(公告)号：CN102495527B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377822.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子与第一工件台固联，Y向第四直线电机与第二工件台固联；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和避免了工件台的抓卡机构，具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN102495527A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110377822.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子与第一工件台固联，Y向第四直线电机与第二工件台固联；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和避免了工件台的抓卡机构，具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN102393612A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110378061.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且两个井型驱动单元之间设置有两个Y向过渡直线运动单元；通过Y向直线运动单元与Y向过渡直线运动单元的对接完成双工件台换台。本发明中两个工件台在预对准和曝光工位中均为双边质心驱动，可增加系统角刚度，且两个工件台在预对准工位和曝光工位之间交换时仅需三个节拍，可提高光刻效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN101403629A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810137531.X
申请日：2008-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法与装置属于精密仪器与测量技术领域；是在气浮导套的外部相邻两侧面处沿X向和Y向分别构建与主工作气膜支承方向相反的两个辅助气膜，并与主工作气膜共同作用于导向气浮板两侧；导向气浮板工作面与内侧主气浮导轨和外侧辅助导轨工作面分别形成正向和负向工作气膜，两气膜工作压力分别为P内和P外，且P内＞P外；导向气浮板在双向工作气膜的复合作用下工作；其装置是在气浮导套的外部设有辅助导轨A和辅助导轨B，且在气浮导套上还设有同时面向主气浮导轨、辅助导轨A和辅助导轨B的节流结构；本发明建立了一种刚度高、抗扰动能力强、工作稳定性好等优势兼顾的立式直线基准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101373146A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064747.8
申请日：2008-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨属于精密仪器与测量技术领域，是针对气浮导轨驱动力小而惯性大的特点，根据导轨位置闭环控制系统的阶跃响应与冲击响应特性，在系统中引入双向粘滞阻尼器构成速度反馈环节，弥补PID控制器中微分参数阻尼作用的不足，达到提高系统阻尼比、减小其运动超调、消除随机扰动引起的固有振动的目的；本导轨是在气浮套两端对称布置两套具有相同参数的粘滞阻尼器构成双向粘滞阻尼器，阻尼力大小与气浮套运动速度成正比，方向与气浮套运动方向在同一条直线上，阻尼系数精确可调，可有效减小导轨的运动超调和定位后在运动方向上的固有振动，使导轨的定位精度和静态稳定性提高约一个数量级。
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公开(公告)号：CN1312421C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200510009630.6
申请日：2005-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16K11/07
Abstract: 一种开度无级调节的非接触式气体换向阀，由阀芯、阀体组成，本发明的特点是：在阀芯和阀体两端带有相互配合的导向段，在阀体导向段上开有多个静压气浮供气口，供气口与气源相通。阀体导向段和阀芯的两端相互配合，构成静压气浮工作面，由于气体的粘度约为液体的千分之一，在大多数场合可以忽略，所以摩擦十分微小，极大的延长了换向阀的使用寿命。阀芯和阀体被气体所隔离，完全没有接触，因而不产生显著的摩擦热，降低了气体换向阀的功耗。由于阀芯和阀套之间消除了摩擦力，不存在对控制单元的影响，因而极大的提高了气体换向阀的工作精度。温度变化对气体的粘度影响很小，气膜的负载能力几乎不随环境温度而变化，因而保证气体换向阀可应用于很宽的工作范围，特别适合于恶劣环境下工作。
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公开(公告)号：CN1282829C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200510009639.7
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承，在圆柱轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30%以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15%以上。
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公开(公告)号：CN1760636A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510117263.1
申请日：2005-11-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种漂移量靶标反馈的长距离高精度二维偏振光电自准直装置和方法。二维光电自准直光管采用偏振激光光源、偏振分光镜和λ/4波片组合，利用激光的偏振特性避免测量光束回馈激光光源进而避免测量光束进一步的角漂移量；分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的激光光源固有的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对其角漂移量进行实时监测，计算机根据其监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制和消除在测量光束传播途径中耦合在测量光束中的角漂移量。
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公开(公告)号：CN1719054A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510009739.X
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“无漩流动压气浮圆柱轴承”涉及一种高速超精密螺旋槽动压气浮圆柱轴承，圆柱轴承工作表面开有螺旋状动压沟槽，沟槽横截面采用斜面过渡，消除了矩形沟槽截面产生的漩流，提高了动压效率，提高了承载能力和刚度；过渡因子(斜面投影长度与槽宽之比)，存在最佳值，当过度因子为0.6时承载能力提高6％。
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