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公开(公告)号：CN106949852A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN103713102B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310744567.5
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动，用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上，X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上；步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动，Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上；Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中，Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接，Y轴导轨托盘另一端为气浮端，气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。
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公开(公告)号：CN102935525B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201210486506.9
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床，涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统；纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上；卧式电主轴系统左设置在左立柱上，卧式电主轴系统右设置在右立柱上，纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间，真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置，真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号：CN102975299A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210486509.2
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双刀盘式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统、空气隔振支撑系统；横向直线导轨系统与纵向直线导轨系统垂直布置在大理石T型床身上，横向直线导轨系统位于纵向直线导轨系统的两端，双刀盘主轴系统位于纵上溜板上，两个真空吸盘和双刀盘主轴系统形成相对运动。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号：CN102935525A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201210486506.9
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床，涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统；纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上；卧式电主轴系统左设置在左立柱上，卧式电主轴系统右设置在右立柱上，纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间，真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置，真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101876393B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010195838.2
申请日：2010-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超精密平台调平装置，它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块，第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置；第一斜垫设置在第一底座上，第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接，平面垫块设置在第一斜垫上，第一球头调整垫块与平台固接；第二斜垫设置在第二底座上，第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接，第二球头调整垫块装在凹槽内，第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。
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公开(公告)号：CN102151853A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110109006.9
申请日：2011-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 一种立式超精密液体静压电主轴系统，它涉及一种静压电主轴系统。本发明为了解决现有的超精密加工机床中，其主轴系统刚度低，电机和主轴间的动力驱动效果差的问题。本发明的轴套上开设环形凹槽，轴套上开设多个轴向回路和多个径向回路，多个轴向回路和多个径向回路相连通，且多个轴向回路和多个径向回路相交于环形凹槽的槽底拐角处，两个第一半环相对套装在轴套上且位于环形凹槽内，油室套与轴套之间形成储油腔，轴套固定安装在轴系支架上，且轴套位于轴系支架内，主轴设置在轴套内，且轴套与主轴之间留有间隙，主轴的上端通过止推板与直流电机系统的输出轴固定连接，主轴的下端与刀盘固定连接。本发明用于立式超精密机床中。
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公开(公告)号：CN101642880A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910072732.0
申请日：2009-08-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q3/06
Abstract: 用于夹持薄壁平面工件的真空吸附夹紧装置，它涉及一种夹紧装置。本发明解决了常规的夹紧装置在夹持薄壁平面类工件时工件出现夹紧变形以及无法满足不同口径零件的装夹问题。本发明的上吸盘的下端面固装在下吸盘的上端面上，所述吸盘阀体设置在下吸盘的一侧端面上，上吸盘上开有呈矩阵分布的若干个阶梯通孔，下吸盘的上端面的中部开有矩形凹槽，在所述下吸盘的上端面上沿矩形凹槽的四周由内向外开有多个回字形凹槽，多个回字形凹槽与相对应位置处的阶梯通孔相连通。本发明结构简单、工作可靠、可根据需要灵活设计真空吸盘的大小；可以吸附夹紧不同尺寸的薄壁类平面零件，只需调节吸盘阀体上的开关阀即可。
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公开(公告)号：CN101229590A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810064030.3
申请日：2008-02-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密气体静压电主轴系统，它涉及一种电主轴系统。本发明解决了现有的超精密加工装备中的主轴系统存在着回转精度差、无法实现直接驱动、电机和主轴动力的传递效果不好的问题。直流无刷驱动电机(15)上的电机轴(14)与上止推板(3)的上端面固接，主轴(4)和轴套(5)均位于上止推板(3)和下止推板(6)之间，轴套(5)套装在主轴(4)上，上止推板(3)的下端面与主轴(4)的上端面固接，主轴(4)的下端面与下止推板(6)上端面固接，所述电机轴(14)与主轴(4)同轴，所述轴套(5)上开有若干个径向节流小孔(8－1)和若干个轴向节流小孔(8－2)。本发明采用了气体静压轴承做轴向和径向支撑，保证主轴的回转精度，由于气体静压轴承具有均化轴和轴套本身几何精度的效应，可以使轴系具有很高的回转精度。
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公开(公告)号：CN101157181A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710144617.0
申请日：2007-11-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密驱动机构，它涉及一种驱动机构。本发明的目的是为解决现有直线运动的超精密工作台的缺点是静、动态刚度较低，抵抗外界干扰的能力较差的问题。本发明中间推动板的上部设置在前推动板和后推动板之间，中间推动板的下端与气浮转换块的上端相连接，前推动板内设有第一节流小孔，后推动板内设有第二节流小孔，中间推动板与前推动板之间形成第一气体静压气膜腔，中间推动板与后推动板之间形成第二气体静压气膜腔，气浮转换块内设有静压节流小孔。本发明的优点是：结构简单、工作可靠，彻底消除了丝杠驱动方向之外的两个方向的力干扰。精度高，大行程超精密工作台的直线度达到了0.17μm/600mm。承载能力高，应用范围广，可应用于多种形式的超精密工作台的驱动。
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