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公开(公告)号：CN103790647A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052144.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电感传感的液压抓卡式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103790646A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052102.8
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光电编码器测角的航空发动机转子电驱动磁浮装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103776368A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410051700.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度优化的气磁复合支撑式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103776365A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410051756.9
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于径向与轴向基准的航空发动机多轴转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103047360B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201210578282.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102495531B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110377988.X
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由回转换台电机定子、回转换台电机动子以及旋转连接件构成的回转换台装置，工件台均设置有自旋装置，该自旋装置包括自旋电机定子、自旋电机动子、自旋电机动子转接件，回转换台装置与自旋电机动子转接件对接带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换；本装置解决了现有回转换台存在的工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，具有转动惯量小、在相同转矩条件下换台时间短、工件台的运行效率高和光刻机产率高的特点。
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公开(公告)号：CN102330782B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201010564362.5
申请日：2010-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气-液阻尼耦合作用的空气弹簧隔振器属于超精密测量及加工领域。所述隔振器的多层筒形阻尼片配装在内筒底部，径向通孔设置在多层筒形阻尼片上端，外筒内侧底部与内筒底部之间注入阻尼油，齿轮齿条传动的节流孔面积调节装置配装在外筒内壁上的节流孔下方。利用空气节流阻尼和节流孔面积调节装置，合理调节节流孔总面积的大小，在垂直方向存在强振和冲击载荷时能提供最佳大小的阻尼；利用液体粘滞阻尼和多层筒形阻尼片相对于外筒的往复运动，为隔振器提供阻尼，通过选用不同粘度的阻尼油获得不同的粘滞阻尼，在垂直方向存在强振、微振和冲击载荷时能提供最佳大小的阻尼。
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公开(公告)号：CN103062584B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210571982.0
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN102734379B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201210201284.1
申请日：2012-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/03 , F16F15/023
CPC classification number: F16F15/023 , F16F15/022 , F16F15/0232 , F16F15/03
Abstract: 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式；本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的调节实现自动化，且对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动有抑制作用。
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公开(公告)号：CN102393608B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377824.7
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术领域，该装置包含一个回转换台装置，其机械结构包括设置于基台之下的旋转电机定子、贯穿基台的旋转电机动子、嵌入基台内的轴套以及硅片台转接装置，该回转换台装置实现光刻机硅片台位置交换，具有结构简单、换台节拍少、转动惯量小、双台切换时间短等优点；该装置在硅片台内部设置有硅片台自旋机构，其结构包括硅片台旋转轴以及硅片台自旋电机，在基台的测量位设置有可升降的轴接装置，硅片台自旋机构和轴接装置可以实现硅片台自旋，解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
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