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公开(公告)号：CN111805318B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202010628560.7
申请日：2020-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及机械制造领域，公开了硬脆单晶微细圆柱外圆超声辅助磨床的分类与堆码机构，为了解决目前磨床不具备自动检测、分类以及堆垛功能，进而效率低下很难满足市场需求的问题，其结构包括控制柜、柔性接料机械手、辅助检测机械手、自动检测分类装置和自动堆码装置；已加工的工件落入柔性接料机械手，柔性接料机械手，辅助检测机械手将工件转移到自动检测分类装置上，自动检测分类装置分类后将工件放在自动堆码装置的不同收集区域内，较传统方法相比，本发明替代了人工检测，在保证工件合格率的同时提高了检测、分类和堆码的工作效率，具有良好的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN111805309B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010627443.9
申请日：2020-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于硬脆单晶圆柱外圆超声振动辅助磨削的全自动磨床，涉及机械设备技术领域。为解决现有的在对硬脆单晶圆柱外圆表面进行磨削时，采用的磨削液为碱性或者酸性，长期使用会腐蚀机床，导致对工件的装夹精度降低，加工出零件的表面精度降低，并且采用人工的方式进行上料，导致工作效率较低的问题。自动上料机构与自动分类及收纳机构呈相互平行分布，全自动磨床分别与自动上料机构和自动分类及收纳机构呈相互垂直分布，磨床基座的上表面一角处设有收纳机构基台，且收纳机构基台的上表面低于磨床基座的上表面，且用于放置自动分类及收纳机构。本发明适用于对硬脆单晶圆柱外圆面进行磨削加工。
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公开(公告)号：CN111805319A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010628564.5
申请日：2020-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 硬脆单晶微细圆柱外圆超声辅助磨床的全自动上料装置，它涉及机械设备领域。本发明解决了现有磨床在外圆磨削加工时存在自动化程度及批量生产的工作效率较低，且对于工件尺寸较小的YAG单晶微细圆柱外圆磨削时,存在准确定位装夹困难，容易导致加工工件破碎，难以获得这类硬脆材料较好的表面完整性的问题。本发明的料斗装置设置在振料盘的上方，料斗装置的出料口正对振料盘，振料盘安装在振料盘支架上，振料盘的出口与工件分离机构相连，第一光电传感器固定安装在工件分离机构左侧，上料机构设置在工件分离机构的右上方，超声椭圆振动辅助磨削装置设置在工件分离机构的正前方。本发明用于硬脆单晶微细圆柱外圆磨削的自动传动和自动装夹。
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公开(公告)号：CN107883964B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN109570135A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811435091.6
申请日：2018-11-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法，本发明涉及一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法。本发明的目的是为了解决目前原子力显微镜氮化硅探针的表面污染物难以有效去除的问题，方法为：将原子力显微镜氮化硅探针依次置于不同溶液中超声清洗，氮气吹干，再用空气等离子体清洗器进一步清洗，即得干净无损的探针。本发明能有效去除探针表面的颗粒和有机污染物，重复性好，且过程安全、无污染。本发明属于原子力显微镜探针的清洗领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109545894A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811386272.4
申请日：2018-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0236
Abstract: 一种倒八棱台形图形化硅衬底的制备方法，本发明涉及一种倒八棱台形图形化硅衬底的制备方法。本发明的目的是为了解决目前干法蚀刻无法制备棱锥、棱台形图形化硅衬底以及难以蚀刻制备具有高指数晶面图形化硅衬底的问题，方法为：周期性二氧化硅掩膜制备、湿法蚀刻和去除二氧化硅掩膜；本发明具有高指数晶面，高指数晶面的均方根粗糙度比低指数晶面粗糙度高约10倍，比(100)晶面的粗糙度高约4倍。而粗糙的表面可以对入射光进行多次反射并增加光程，进而降低表面对光的反射率，因此倒八棱台图形化硅衬底相比于仅有低指数晶面的倒金字塔结构具有更优的光捕获能力。本发明应用于图形化硅衬底的制备领域。
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公开(公告)号：CN105177718B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201510354323.5
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作六边角锥体的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得六边角锥体图形化蓝宝石。本发明的六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为六边角锥体图形化蓝宝石，且生成的六边角锥体图形化蓝宝石规则有序，重复性好。且采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。
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公开(公告)号：CN104802089A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510263137.0
申请日：2015-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B53/06
CPC classification number: B24B53/062 , B24B53/06
Abstract: 一种基于杯形工具球面包络的圆弧砂轮在线修整装置，它涉及一种圆弧砂轮在线修整装置，以解决现有的圆弧砂轮修整方法存在的适应范围小、装置功能单一、修整精度低，以及无法为圆弧砂轮修整提供在线修整的问题，它包括第一步进电机、第二步进电机、连接架、水平连接板、旋转机构、竖向移动机构和水平移动机构；旋转机构包括减速电机和连接组件，第一步进电机和水平移动机构安装在连接架上，竖向移动机构与连接组件连接，减速电机安装在连接组件上，减速电机的输出端安装杯形铜质电极或杯形砂轮；第二步进电机安装在水平连接板上，水平连接板安装在砂轮罩上。本发明用于圆弧砂轮的在线修整。
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公开(公告)号：CN103335833B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310272441.2
申请日：2013-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 在线测量超精密静压主轴动态性能的装置及采用该装置测量静压主轴动态性能的方法，本发明涉及一种超精密静压主轴动态性能在线测量方法。本发明解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测量或现有方法难以解决测量基准的安装误差和制造误差对测量结果产生影响的问题。本发明采用高精度位移传感器采集传感器与标准球之间的位移信息，获得的位移信息经信号放大器进行放大，经A/D转换电路和数据采集电路后输入至计算机；采用旋转编码器对主轴的相位信息进行采集并输入计算机，通过计算机进行分析与处理，获得超精密静压主轴旋转的动态性能误差数据，完成超精密静压主轴动态性能在线测量。本发明适用于超精密静压主轴动态性能在线测量。
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公开(公告)号：CN102975299B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210486509.2
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双刀盘式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统、空气隔振支撑系统；横向直线导轨系统与纵向直线导轨系统垂直布置在大理石T型床身上，横向直线导轨系统位于纵向直线导轨系统的两端，双刀盘主轴系统位于纵上溜板上，两个真空吸盘和双刀盘主轴系统形成相对运动。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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