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公开(公告)号：CN112903713A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110254460.7
申请日：2021-03-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/95
Abstract: 暗场成像结合空间移相干涉的微球缺陷检测装置及方法，涉及光学检测技术领域。为了解决检测效率低的问题。本发明使线偏振光依次透过λ/2波片、4f扩束系统和高倍显微物镜后入射至针孔反射镜的针孔，针孔反射镜衍射出的光一部分经D形反射镜反射至第二准直透镜后形成参考光，剩余部分依次透过第一准直透镜、λ/4波片、分光棱镜和显微物镜入射至被测微球，其反射光经显微物镜、分光棱镜、成像透镜和掩膜板入射至成像CCD形成被测微球的二维信息图像，分光棱镜透射光原路返回至第二准直透镜准直后构成测量光，参考光和测量光叠加经过波片组调制、检偏器使参考光和测量光产生干涉后入射至大面阵高速相机构成被测微球的三维信息图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112526486A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011321858.X
申请日：2020-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于轴系误差模型的三维激光雷达空间坐标校准方法，涉及激光传感技术领域，针对现有技术中对激光雷达的标定精度差的问题，本发明从误差的角度出发，基于二维转台的结构及测距系统激光的方向与转台轴系的关系，深入研究了激光雷达的几何误差。在此基础上,基于坐标变换的原理，得出了激光雷达的坐标变换矩阵和误差矩阵。通过坐标变换矩阵与误差矩阵的运算，建立优化函数，提高三维扫描数据的精度。
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公开(公告)号：CN112129775A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202011012482.4
申请日：2020-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种匀光棒条形光源及基于该光源的光学元件损伤检测装置，属于光学元件损伤检测技术领域。解决了现有大口径光学元件检测存在检测光源均匀性差影响检测结果准确性的问题。本发明括玻璃棒和激光器，所述玻璃棒由一圆弧面和一平面组成，圆弧面的弧度大于180度，平面为等腰梯形，所述平面为粗糙散射面；圆形玻璃棒的一端设置有激光器，所述激光器的光束从圆形玻璃棒的一个端面沿轴向射入，另一端的端面上贴设有反光条或涂有反光层；所述激光器的光束经弧形面或另一端贴设的反光条或反光层反射后经粗糙散射面射出。采用相机成像即可实现对器件的损伤进行检测。采用相机成像即可实现对器件的损伤进行检测。适用于光学元件损伤检测使用。
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公开(公告)号：CN103196361B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201310063729.9
申请日：2013-02-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌的领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。干涉测量仪中，参考光经单模光纤传递给光纤准直器，准直后形成入射参考光束；测量光束经多次反射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束，入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束，依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束，四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。
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公开(公告)号：CN103344176B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310316913.X
申请日：2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于球面形貌特征检测的倍程式短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测技术领域。解决了传统时域移相干涉测量装置检测范围小、测量精度低和受环境因素影响的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、光纤耦合镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、单模光纤、光纤准直镜、直角反射镜、角锥棱镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、第一平行分束镜、第二平行分束镜、波片组、偏振片、面阵CCD和计算机，通过计算机通过面阵CCD四幅干涉图样获得四幅干涉图像间的定位关系，从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差，进而求出光程差，实现球面形貌测量。本发明适用于球面形貌特征检测。
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公开(公告)号：CN102519358B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110442478.6
申请日：2011-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法，属于空间物体三维形貌的光学检测技术领域。它解决了传统对微小球面的检测手段存在的单次测量检测范围小及参考面理想球面制造困难的问题。本发明装置包括短相干激光器、二分之一波片、起偏器、第一四分之一波片、第二四分之一波片、直角延迟棱镜、偏振分光镜、检偏器、光纤耦合器、单模单芯光纤、直角移相棱镜、汇聚透镜、针孔片、刀口反射镜、显微物镜、大尺寸CCD和计算机；本发明方法通过上述装置形成的光路，调节被测微小球进行旋转，获得相应的微小球形貌参数，实现微小球面的形貌检测。本发明适用于微小球面三维形貌的检测。
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