公开(公告)号：CN1180286C

公开(公告)日：2004-12-15

申请号：CN02144511.7

申请日：2002-10-30

Applicant: 吉林大学

Inventor： 董玮 ,  陈维友 ,  刘彩霞 ,  张歆东 ,  孙东明 ,  贾翠萍 ,  潘建旋 ,  徐宝琨

IPC: G02B6/35 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片上制作；倾斜下电极平面相对于上电极平面向下倾斜一定的角度x°，下电极在(111)硅片上制作，硅片的法线方向为由 方向向最近的 方向偏转一定角度x°具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关在与平面下电极结构的光开关具有相同结构尺寸的情况下，可以使静电驱动电压有明显的下降。本发明所述具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关采用光刻、反应离子刻蚀、湿法化学法腐蚀等常规技术制备。

公开(公告)号：CN1402034A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：CN02133096.4

申请日：2002-09-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 董玮 ,  陈维友 ,  刘彩霞 ,  张龙 ,  徐宝琨

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H04B10/12 ,  H04J14/02

Abstract: 本发明涉及一种利用(110)硅片制作的静电驱动微反射镜型扭臂结构的微光电子机械系统(MOEMS)光开关、光开关阵列及制作方法。微机械光开关由在硅片(1)上制作的上电极(2)、微反射镜(3)、扭臂(4)和自对准光纤槽(5)以及玻璃片(6)、氮化硅或二氧化硅绝缘层(7)，作为下电极的铝膜(8)组成。微反射镜(3)的镜面沿硅片的{111}面，与硅片表面相垂直。微反射镜(3)的厚度为3～5微米，长度和高度分别为100～200微米，上电极(2)的厚度为10～20微米，扭臂宽度为10～15微米，长度为500～700微米。本发明所述及的微机械光开关具有镜面平整垂直、各单元的反射镜面平行、扭臂的结构尺寸能够准确控制，制作工艺简单，成品率高，制作成本低等特点。

公开(公告)号：CN2869908Y

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200620028287.X

申请日：2006-02-22

Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ,  吉林大学

Inventor： 梁静秋 ,  赵莉娜 ,  董玮 ,  王惟彪 ,  陈维友

IPC: G02B26/08

Abstract: 本实用新型涉及一种对微光学部件定位的结构，结构包括支撑体，微反射镜芯片坑，V形槽，入射、出射微光学部件，衬底，微通道阵列和盖板组成，本实用新型中微通道模块制备的材料可以采用SU－8光刻胶，PMMA或单晶硅，使微通道阵列的高度和宽度与微反射镜的尺寸相匹配，将入射微光学部件输出的光束分别通过相应的微通道阵列由出射微光学部件接收，由于采用精度和位置精度很高的微通道阵列，利用微通道阵列之间的平行和垂直关系，保证微光学部件精确对准和光束共面。采用本实用新型定位结构减少了微反射镜的损伤，减少微反射镜缺陷影响微光学部件精确定位的问题，同时使微光学部件光轴共面的问题得以解决，本实用新型还可用于其它需要定位的场合。