一种具有隔振板的MEMS器件
    51.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112299361B

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202010684750.0

    申请日:2020-07-16

    Abstract: 本发明公开了一种具有隔振板的MEMS器件,包括隔振板,以及设置于隔振板中心处的至少一个谐振元件。其中,隔振板包括围绕所述至少一个谐振元件的平面周期结构。平面周期结构包括多个相邻单元,每个单元均包括悬挂的质量元件,质量元件通过弹簧元件连接于单元的外框架,可沿各个空间方向移动。本发明的MEMS器件能够提高其MEMS谐振器的性能,可更有效地隔离MEMS器件与外界干扰振动,且对工艺变化和环境条件具有鲁棒性,能够广泛应用。此外,本发明的技术方案与标准MEMS制造技术相兼容,隔振板可以和MEMS器件通过标准MEMS制造工艺一同加工制造,制备方便。

    一种用于汽车悬架系统的采样控制方法

    公开(公告)号:CN109782605B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN201910146544.1

    申请日:2019-02-27

    Abstract: 本发明公开了一种用于汽车悬架系统的采样控制方法,该方法包括以下步骤:首先应用力学原理建立汽车悬架系统的动态模型;然后通过坐标变换,建立汽车悬架系统的状态空间模型;之后针对汽车悬架系统的状态空间模型构建相应的采样控制器,实现对汽车悬架系统的控制,构造相应的李雅普诺夫函数,使闭环系统实现稳定,由此完成汽车悬架系统的采样控制。本发明的方法能使汽车悬架系统在不同运行条件下具有更好性能与鲁棒性,此外该采样控制方法简单,使控制成本显著降低,且更加便于用微处理器实现,具有较高的工程实用价值。

    一种基于DC-DC降压电源换流器系统的容错采样控制方法

    公开(公告)号:CN109450251B

    公开(公告)日:2020-06-19

    申请号:CN201811547437.1

    申请日:2018-12-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于DC‑DC降压电源换流器系统的容错采样控制方法,包括以下内容:通过坐标变换,推导出考虑元件不确定性和可能的执行器故障的DC‑DC降压电源换流器系统的数学模型,然后通过DC‑DC降压电源换流器的状态方程构造相应的李雅普诺夫函数,通过设计相应的采样控制信号与采样周期,得到了基于DC‑DC降压电源换流器系统的容错采样控制方法。本发明借助了控制方法设计的简便性,在基于DC‑DC降压电源换流器系统采样控制方法的基础上加入容错控制,使得系统具有更好的抗扰动性能,提高了系统的动态性和鲁棒性,具有较高的工程实用价值。

    压力测试系统检测的装置及检测方法

    公开(公告)号:CN110823445A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201910804672.0

    申请日:2019-08-28

    Abstract: 本发明提供了一种压力测试系统检测的装置及方法。该装置由气瓶、储气罐、分压系统、压力数据采集系统以及气体管路组成。分压系统由四通管路组成,左右两边连接压力传感器,前面接气体管路,后面作为排气口。压力数据采集系统包括压力传感器、数据线、信号调理仪和数据采集系统组成。首先将气瓶中的高压气体通过气体管路进入储气罐中,然后通过分压系统产生两个相同的压力传到压力传感器,完成对压力测试系统的检测,之后将气体排出。本发明采用的压力测试系统检测的方法,不仅可以进行静态压力检测,还可以进行动态压力检测;可以根据需要产生不同的压力值且操作简单,便于应用。

    一种风电场自动电压系统的控制方法

    公开(公告)号:CN110460063A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201810424767.5

    申请日:2018-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种风电场自动电压系统的控制方法,通过分析现有无功补偿方式的响应速度、补偿量的多少以及使用条件的限制素,并根据不同无功电源的特点提出一种基于实际应用的风电场自动电压控制系统优化控制方法,策略分为稳态控制方法和暂态控制方法两部分。本发明使得风电场在能够提供足够的无功出力的前提下拥有充足的无功储备容量去应对系统故障,保证风电场处于最经济的运行状态,并在此基础上,完成风电场内众多无功源协调有序的运行、切换。

    一种用于汽车悬架系统的采样控制方法

    公开(公告)号:CN109782605A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201910146544.1

    申请日:2019-02-27

    Abstract: 本发明公开了一种用于汽车悬架系统的采样控制方法,该方法包括以下步骤:首先应用力学原理建立汽车悬架系统的动态模型;然后通过坐标变换,建立汽车悬架系统的状态空间模型;之后针对汽车悬架系统的状态空间模型构建相应的采样控制器,实现对汽车悬架系统的控制,构造相应的李雅普诺夫函数,使闭环系统实现稳定,由此完成汽车悬架系统的采样控制。本发明的方法能使汽车悬架系统在不同运行条件下具有更好性能与鲁棒性,此外该采样控制方法简单,使控制成本显著降低,且更加便于用微处理器实现,具有较高的工程实用价值。

    一种应用于MEMS力敏感器件的二级应力隔离结构

    公开(公告)号:CN109110724A

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201811158479.6

    申请日:2018-09-30

    Inventor: 张晶 苏岩 刘雨东

    Abstract: 本发明公开了一种应用于MEMS力敏感器件的二级应力隔离结构(3),包括外部框架结构(14)以及设置在外部框架结构(14)内的力敏感结构(9),所述外部框架结构(14)包括内框架(15),所述内框架(15)的上下两端分别通过至少一个应力集中梁(12)与对应的应力衰减梁(13)连接,所述应力衰减梁(13)通过多个柔性连接(11)与位于柔性连接(11)内部的固定锚点(10)相连字,本发明能够实现二级应力释放,所述柔性连接(11)为一级应力隔离,应力衰减梁(13)与应力集中梁(12)为短粗的刚性梁构成过渡框架,作为二级应力隔离,能够在敏感结构层上隔绝敏感结构工艺与封装过程中产生的应力。

    仪器固定支架及模拟噪声测试系统

    公开(公告)号:CN206683665U

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201720490092.5

    申请日:2017-05-04

    Abstract: 本实用新型涉及仪器仪表技术领域,尤其涉及一种仪器固定支架及模拟噪声测试系统。该仪器固定支架,适用于基于林带的模拟噪声测试系统,包括支撑装置和稳定装置;所述支撑装置用于连接仪器,且所述支撑装置上设置有一处或者多处标记物;所述标记物用于显示预设高度;所述稳定装置与所述支撑装置可拆装连接,所述稳定装置用于支撑所述支撑装置。该模拟噪声测试系统,包括所述的仪器固定支架。本实用新型的目的在于提供仪器固定支架及模拟噪声测试系统,以解决现有技术中存在的模拟声源和噪声分析仪的固定过程繁琐、耗时耗力的技术问题。

    一种双质量块音叉式角速率陀螺仪

    公开(公告)号:CN206177310U

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201621105182.X

    申请日:2016-10-08

    Abstract: 本实用新型公开了一种双质量块音叉角速率陀螺仪,包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构的两个子结构对称分布在质量块连接机构和两个桁架与水平直梁的组合机构的两侧,第一U型梁沿子结构的长边设置,且位于长边的两端,桁架与水平直梁的组合机构通过第一U型梁与子结构连接,U型梁组合梁沿子结构的长边设置;直梁沿子结构宽度方向设置,用于连接子结构两侧的第一U型梁。本实用新型既能实现驱动模态与检测模态为第一阶模态和第二阶模态,又能有效抑制所有常见的驱动同向、检测同向和Z向模态等干扰模态,其一致性强,抗振动干扰能力强。

    一种混合气体爆炸试验装置

    公开(公告)号:CN217717589U

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202220548111.6

    申请日:2022-03-14

    Abstract: 本实用新型为一种混合气体爆炸试验装置,包括进气系统,通过位于爆炸试验罐主体后端的进气孔接入爆炸试验罐主体;在爆炸试验罐主体前端设有一抽气孔,与抽真空机相连,用来抽真空及释放未反应气体;转换接头位于爆炸试验罐主体的前部,视镜组件在爆炸试验罐主体两侧的中心处对称设置;在爆炸试验装置主体后部有一开孔,连接点火系统,点火系统与信号调理器直接相连,同时信号调理器与压力传感系统及高速摄影系统相连,在点火同时触发信号采集;高速摄影系统安装在视镜组件侧,用于采集图像;爆炸试验装置主体上部有两个的吊环,通过吊环将爆炸试验装置主体放置在支架上,试验装置上设置多个压力采集孔。该装置便于操作,精确度高,安全性能高。

Patent Agency Ranking