一种低成本无污染单根硼氮纳米线可控生长方法

    公开(公告)号:CN104674187B

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201510101325.3

    申请日:2015-03-08

    Abstract: 一种低成本无污染单根硼氮纳米线可控生长方法属于无机化合物半导体材料的制备领域。本发明采用PECVD方法,未使用任何催化剂,首次在硅衬底上水平生长出了规则排列的硼氮纳米线。纳米线在Si(110)衬底上仅沿着一个方向生长;在Si(100)衬底上生长的纳米线互相垂直;在Si(111)衬底上纳米线有三个生长方向,且任意两个方向之间的夹角为60°。通过不同硅衬底表面晶体微结构特征以及电镜分析,发现纳米线总是在基底表面沿着Si 取向定向生长。TEM显示纳米线是由一系列生长进衬底里的非晶量子点组成,电子能量损失谱(EELS)表明纳米线确实由硼氮组成。本发明简单,将对推动纳米器件的制造具有重要的意义。

    一种数控磨床砂轮主轴可靠性试验装置

    公开(公告)号:CN103743567B

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201410020648.5

    申请日:2014-01-16

    Abstract: 本发明涉及一种数控磨床砂轮主轴的可靠性试验装置,该装置可以模拟数控磨床的各种不同工况,变频器驱动主轴电机以不同的转速运转,周向加载装置施加不同的周向载荷,径向加载装置施加不同的径向载荷,记录运行过程中的故障数据,通过这些数据来计算、评价数控磨床砂轮主轴的可靠性水平。本发明适用于数控磨床砂轮主轴的可靠性试验,在数控磨床的可靠性设计时,用来评价砂轮主轴的可靠性水平,具有较好的应用前景。

    一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法

    公开(公告)号:CN103280490B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310193772.7

    申请日:2013-05-23

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法,属于晶硅薄膜太阳能电池领域。首先,分别采用磁控溅射法和等离子增强型化学气相沉积法,制备铝薄膜和非晶硅薄膜,通过控制铝层/非晶硅层厚度比例在0.5-1之间,叠层薄膜总厚度在100-400nm之间,能够有效优化多晶硅薄膜的连续性。本发明中还提出了新的薄膜腐蚀工艺,与传统腐蚀工艺相比,不但可以移除退火后薄膜内的铝,还能够起到消除多晶硅薄膜表面“硅岛”结构的作用。采用本发明的方法,能够获得表面平滑且连续性良好的高质量多晶硅薄膜。

    一种数控磨床载荷谱数据变采样率采集装置与方法

    公开(公告)号:CN103170910B

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201310007289.5

    申请日:2013-01-08

    Abstract: 本发明针对建立数控磨床载荷谱的需要,提出了一种数控磨床载荷谱数据变采样率采集装置与方法。四个非接触式转速传感器分别安装在主轴、砂轮轴、X轴丝杠和Z轴丝杠端部,四个电流变送器分别穿过主轴伺服驱动器、砂轮轴变频器、X轴伺服驱动器和Z轴伺服驱动器的电源线。转速传感器和电流变送器将信号送给信号采集处理板,信号采集处理板首先将各路信号进行分时采样,然后将采样的模拟信号转为数字信号送给CPU处理,处理后的数据通过RS232串口传送给上位计算机。计算机存储载荷谱数据并进行后处理。本发明具有以下优点:在不影响数控磨床正常工作的前提下,可以方便、快捷地采集、记录数控磨床载荷谱数据,为数控磨床的可靠性设计提供依据。

    一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置

    公开(公告)号:CN103926260A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410126393.0

    申请日:2014-03-31

    Abstract: 一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置,该装置包括微波源、通电线圈、进气管、手持式红外测温仪、可视窗口、加热炉、抽真空管道、水冷管、样品、绝缘陶瓷片。设备的腔体上端附有通电线圈,为等气体电离提供磁场;在腔体的一侧设有进气管,底端设有抽气管道,另一侧设有可视窗口。ECR-PECVD设备在化学气上沉积方面有很大的应用,但经过改造后在面向等离子体材料的研究方面也能起到至关重要的作用。其中在样品上加负偏压在150V左右是束达到2x1020He·m-2·s-1,并能够在此参数下稳定长时间的工作;此设备在温度可控的条件下能够进行各种参数的调节,能够稳定的进行工作解决了低能高束流设备短缺的问题。

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