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公开(公告)号：CN210572371U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921626254.9
申请日：2019-09-27
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计；其中，第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计分别包括质量块、可动电极、固定电极、支撑梁、锚点区，质量块通过支撑梁悬空位于所述基底层顶部；摆式微加速度计包括中间极板、上极板及下极板，中间极板设置在上极板与下极板之间，上极板位于基底层，下极板位于衬底层。该三轴电容式微加速度计成在同一个芯片上，免除装配过程，具有稳定性高，体积小，制备成本低的优点。
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公开(公告)号：CN208953557U
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201821993984.8
申请日：2018-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/097 , G01P15/09 , G01P15/08
Abstract: 本实用新型的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁的下表面与质量块下表面之间的距离，振梁的一端连接于装配区的上表面，另一端连接于质量块的上表面。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠，挠性梁位于质量块上下表面的中间，提高器件的灵敏度，挠性梁的厚度跟振梁的厚度可以不一致，增加了设计的自由度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN205280252U
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201520982703.9
申请日：2015-12-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种集成压电式万向冲击传感器，涉及传感器技术领域。本实用新型包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；所述质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本实用新型采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。
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公开(公告)号：CN210635908U
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201921687755.8
申请日：2019-10-10
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本实用新型提供了一种玻璃腐蚀的复合掩膜结构，该玻璃腐蚀的复合掩膜结构包括：自玻璃基片依次设置的第一金属打底层、第一金属层、第二金属打底层、第二金属层以及光刻胶层；其中，所述第一金属打底层及所述第二金属打底层为金属Cr层；其中，所述第一金属层和所述第二金属层为金属Au或金属Cu。该玻璃腐蚀的复合掩膜结构能够提高玻璃腐蚀深度、掩膜与玻璃结合性好，同时可以避免多晶硅和单晶硅复杂的应力控制问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209256851U
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201821939089.8
申请日：2018-11-23
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: B25D11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种小型便携式电控多用途冲击器。所述冲击器包括：控制盒以及冲击台体；所述控制盒内设有PLC控制器；所述PLC控制器用于控制所述冲击台体运动；所述冲击台体包括底座、丝杠组件、导向套、电磁吸铁安装架、电磁吸铁、落锤组件以及步进电机；所述丝杠组件固定于所述底座上，所述步进电机设于所述丝杠组件的顶部；所述步进电机与所述PLC控制器电连接；所述导向套套设于所述丝杠组件上，所述电磁吸铁安装架与所述导向套固定连接；所述电磁吸铁安装架与所述丝杠组件相互垂直；所述电磁吸铁固定于所述电磁吸铁安装架上，所述落锤组件吸附于所述电磁吸铁上。采用本实用新型所提供的冲击器能够实现落锤组件的反复冲击。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208953556U
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201821855067.3
申请日：2018-11-12
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本实用新型公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；振梁包括第一直梁及第二直梁，第一直梁及第二直梁并列设置，第一直梁及第二直梁的一端连接于装配区，另一端连接于质量块，金属电极设置第一直梁及第二直梁上，第一直梁及第二直梁上的金属电极的极性相反；挠性梁包括两个连接梁，两个连接梁位于振梁的两侧，挠性梁的一端连接于装配区，另一端连接于质量块。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN203053456U
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201320046536.8
申请日：2013-01-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本实用新型提供了一种批量微机械陀螺测试装置，所述测试装置包括上下两层圆台、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板。上层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条，下层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条以及安装锚点。圆柱空腔包括上下两个半空腔，其顶面和侧面分别设有通道开关、电源接口、主串口、主CAN总线接口、主模拟信号接口。电路板包括数块测试电路板和一块主电路板。测试电路板固定在上下两层圆台“F”形固定条上，上下两层圆台通过数根圆柱形支撑柱连接，圆柱空腔嵌入双层圆台中央通孔中，主电路板置于圆柱空腔内部。本实用新型的批量微机械陀螺测试装置适用于小批量测试微机械陀螺，适合小批量微机械陀螺生产中的性能测试和筛选场合。
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