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公开(公告)号：CN105606276B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201510983917.2
申请日：2015-12-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明为一种MEMS光纤微弯压力传感器及其制备方法，其包括两片带有齿槽和光纤安置槽的单晶硅片，两单晶硅片之间的光纤安置槽内安置有光纤，光纤上被齿槽覆盖的部分进行拉锥处理，齿槽与光纤之间形成密闭腔体。当有外界压力作用于硅片时，硅片受压变形使齿纹压迫拉锥光纤产生弯曲，从而产生光纤微弯损耗，利用光电探测器读出输入输出光强的变化，即可反映外界压力。本发明MEMS光纤微弯压力传感器具有解调系统简单、灵敏度高、耐高温性能好、适合批量生产、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107941390A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711114757.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种光纤法珀传感器及其制造方法。其中，光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有沿着轴线方向依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其沿着轴线方向设置在第一管体内，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其沿着轴线方向设置在第二管体内，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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公开(公告)号：CN105953958A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610550743.5
申请日：2016-07-13
Applicant: 中北大学
CPC classification number: G01L1/242 , G01L11/025
Abstract: 本发明公开了两种新型全石英光纤珐珀压力传感器，包括光纤、石英球壳、连接在石英球壳尾部的中空石英管组成；其中一种结构为光纤插入中空石英管并伸至石英球壳内，中空石英管与光纤熔接在一起，使珐珀腔密闭；另一种结构是光纤、中空石英管外分别熔接石英套管，两个石英套管外再共同熔接大石英套管，光纤一端面及石英球壳都位于大石英套管内且相对而置。两种传感器的工作原理都为当外部压力作用于石英球壳上时，引起珐珀腔腔长改变，干涉信号随之发生变化。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器；信号耦合情况好，灵敏度高；全石英结构耐高温性能良好，温度系数小，适于高温环境下应用。
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公开(公告)号：CN104925734B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201510169545.X
申请日：2015-04-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种近场热辐射高效传热无装药MEMS发火芯片及其制备方法，该发火芯片自下而上依次包括SiO2底层、下粘接Ti层、下电极Au层、近场热辐射层、中粘接Ti层、上电极Au层、SiO2腔支撑层、上粘接Ti层、Al层和CuO层，近场热辐射层和SiO2腔支撑层构成高效传热结构，CuO层和Al层构成含能金属材料层，CuO层和Al层为多层交替设置。本发明将焦耳热通过近场热辐射效应高效传递给含能材料，减少了无装药MEMS发火芯片的热散失，提高了能量利用率和总体发火输出；用含能金属替代传统火工药剂改善了含能材料与换能元紧密接触难问题。本发明有利于提高无装药MEMS发火芯片的发火能力和可靠性。
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公开(公告)号：CN105784725A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610251558.6
申请日：2016-04-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01N22/00
CPC classification number: G01N22/00
Abstract: 本发明公开了一种恶劣环境化学参量提取装置及方法，该装置包括处在恶劣环境下的化学参量敏感单元，具有射频或者微波微带天线结构，用于将恶劣环境中的化学参量转换为射频或者微波信号谐振频率；处在普通环境中的信号读取单元，包括发射天线、信号放大电路、测控电路、记录存储电路和一加电端口，具有射频或者微波源，用于发射宽频射频或者微波信号，读取宽频或者微波信号；所述信号读取单元通过微波无线通讯读取处在恶劣环境中的化学参量敏感单元的信号。本发明彻底摒弃了LC谐振式无线无源化学传感器因品质因数Q低导致的传输距离短、高温无信号问题，能有效的实现高温的化学参量传感。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105606276A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510983917.2
申请日：2015-12-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/24
CPC classification number: G01L1/245
Abstract: 本发明为一种MEMS光纤微弯压力传感器及其制备方法，其包括两片带有齿槽和光纤安置槽的单晶硅片，两单晶硅片之间的光纤安置槽内安置有光纤，光纤上被齿槽覆盖的部分进行拉锥处理，齿槽与光纤之间形成密闭腔体。当有外界压力作用于硅片时，硅片受压变形使齿纹压迫拉锥光纤产生弯曲，从而产生光纤微弯损耗，利用光电探测器读出输入输出光强的变化，即可反映外界压力。本发明MEMS光纤微弯压力传感器具有解调系统简单、灵敏度高、耐高温性能好、适合批量生产、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN103438911B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201310317227.4
申请日：2013-07-25
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/24
Abstract: 本发明为一种定频模式下的LC谐振传感器读取系统及其方法，解决了现在LC谐振传感器读取装置存在精度低、稳定性差、响应速度慢、误差大等缺点。该系统包括输出端、输入端依次连接的信号源模块、天线测试端、峰值检波模块、信号采集模块、数据存储模块、中央处理模块以及显示模块，同时中央处理模块的输出端又分别与信号采集模块和数据存储模块的输入端连接。本发明读取系统原理简单，结构合理科学，该系统中设计有完善的峰值检测系统，实现了对LC谐振传感器信号的高精度、高频响、稳定地实时测量，提高了整个测量系统的频率响应速度和精确度，有利于以后更进一步对传感器的高精度、快响应频率测量技术方面的研究。
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公开(公告)号：CN105136350A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510246997.3
申请日：2015-05-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种近场耦合无线无源超高温压力传感器及其制备方法，该传感器由近场耦合力敏结构、耐高温波导和耐高温天线构成，所述近场耦合力敏结构由平面谐振器、介质层或金属与介质复合层构成，所述介质层或金属与介质复合层构成力敏膜，平面谐振器和介质层或金属层之间使用空心耐高温筒体隔开。本发明以近场耦合理论作为压力信号、电磁场耦合依据设计力敏结构，极大的减少了传感器体积和压力信号、电磁场耦合灵敏度；基于近场耦合理论的近场耦合力敏结构无需侧壁涂覆金属，降低了加工难度，避免了腔内壁转角、折弯及形状突变处金属涂覆，保证了金属涂层与基片粘接可靠性，进而保证本超高温压力传感器可靠性。
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公开(公告)号：CN105043605A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510387188.4
申请日：2015-07-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于HTCC技术的无源压力敏感头，包括读取电路储存室、耐高温隔热层、无源压敏微结构和封盖，耐高温隔热层的前端安装有无源压敏微结构，耐高温隔热层的后端安装有读取电路储存室，读取电路储存室中设置有可检测无源压敏微结构中谐振频率变化的天线接收电路，无源压敏微结构的前端设置有封盖，读取电路储存室、耐高温隔热层、无源压敏微结构集成于一个敏感头中，无源压敏微结构采用高温共烧陶瓷氧化铝流延带和导电铂浆的压敏微结构。本发明结构简单，设计合理，稳定性好，灵敏度高，保证了压敏结构在高温环境的性能，可靠性高，实用性强。
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公开(公告)号：CN103292836B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310179513.9
申请日：2013-05-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明为一种扫频模式下LC传感器的测量系统及其测量方法，解决了现有测量方法不完善、准确度不高、不能在恶劣环境中使用等问题。该测量系统包括扫频信号源模块、测试天线端、混频模块、信号采集模块、中央处理模块以及显示模块；扫频信号源模块的输出端与测试天线端的输入端连接和混频信号模块的输入端连接，测试天线端的输出端与混频模块的输入端连接，混频模块的输出端与信号采集模块的输入端连接，信号采集模块的输出端与中央处理模块的输入端连接，中央处理模块的输出端与扫频信号源模块的输入端连接和显示模块的输入端连接。本发明测量系统结构简单、移动方便、易于实施、操作方便、测量准确，可非接触测量，适用于恶劣环境使用。
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