旋涡式真空泵
    51.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101392749B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200810228429.0

    申请日:2008-10-31

    Abstract: 一种旋涡式真空泵,涉及真空技术领域,包括底座、电机、转子和定子,转子为多级转子,多级转子由多层单级转子形成,单级转子由三层圆盘叠加形成,转子外侧有凸台、进气道和排气道;定子为多级定子,每一级定子内侧设有径向叶片,每一级转子与对应的一级定子组成一级抽气压缩单元;相邻的两个抽气压缩单元之间设有排气道。该泵采用旋涡加速的原理,可以单独使用,也可以作为干式真空泵机组中的前级泵使用,泵结构简单,零部件少,易于加工,维修简单,同时该泵内运动件与泵腔无摩擦,故几乎无磨损,所以该泵振动小,噪声低。

    一种具有轴端动密封结构的干式真空泵

    公开(公告)号:CN101985939A

    公开(公告)日:2011-03-16

    申请号:CN201010565680.3

    申请日:2010-11-30

    Abstract: 本发明涉及干式真空泵,具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有至少三组转子,转子组之间用隔板隔开,在主轴和从动轴两端分别装配有轴承,所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封,骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口,在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔,两个排气孔通过排气流道与排气口相通。工作时,各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布,提高泵的极限压力、缩短抽气时间,又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。

    一种非对称爪型真空泵
    53.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101985936A

    公开(公告)日:2011-03-16

    申请号:CN201010565610.8

    申请日:2010-11-30

    Abstract: 本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种非对称爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在主轴一侧的从动轴上,在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子,爪型转子组之间用隔板隔开,相互啮合的两个爪型转子节圆半径不相等,因此接触点的两爪的转子线速度不同,产生表面滑移气流,能及时将转子表面的杂物刮去,使干泵保持良好的工作状态。

    增强排气型复合分子泵
    54.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101457758A

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200810228430.3

    申请日:2008-10-31

    Abstract: 本发明涉及一种增强排气型复合分子泵,涉及真空技术领域,包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子,转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成,光轴与转子体连接,转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方,螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子,增强排气级转子为光板;涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片,螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子,增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理,通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵,该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。

    一种用于真空干泵间隙流量的模拟测试装置

    公开(公告)号:CN119914515A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202411785775.4

    申请日:2024-12-06

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及真空干泵间隙流量技术领域,具体涉及一种用于真空干泵间隙流量的模拟测试装置,包括测试主体、测试转子和驱动组件。测试主体包括下壳体和端盖,端盖能够扣合于容纳腔室上并通过连接件可拆卸连接。端盖的底部具有延伸部,延伸部与测试转子之间形成间隙。驱动组件位于测试主体的外部,且驱动组件能够与测试转子相连。通过该装置模拟真空干泵间隙的泄漏气体量,可以得到气体的泄漏规律,指导真空干泵的设计,以提高真空干泵的抽气性能和可靠性。

    金属-聚合物的复合膜材在镀膜过程中增强结合力的方法

    公开(公告)号:CN119876857A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411838159.0

    申请日:2024-12-13

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及一种金属‑聚合物的复合膜材在镀膜过程中增强结合力的方法,包括以下步骤:S1、对聚合物衬底层/每一层的金属镀层待镀膜的表面进行打孔预处理。S2、对镀膜辊内的循环水温度进行调控,以使金属镀层待镀膜的温度随着蒸镀次数的增多而逐渐增加。本发明能够从两个方向分别对于聚合物衬底层的第一表面与之相邻的金属镀膜层以及相邻的金属镀膜层界面之间的结合力进行提升。具体地,在每个蒸镀源蒸镀之前聚合物衬底层/每一层的金属镀层待镀膜的表面进行打孔预处理,并调节镀膜辊的循环水温度,提升了相邻层金属镀层之间的结合性能。有利于蒸镀金属粒子在复合膜材的金属镀层及其内部的扩散和迁移,提高复合膜材的界面结合性能。

    一种大物面宽束低能碳纳米管冷阴极电子枪

    公开(公告)号:CN119694859A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411639678.4

    申请日:2024-11-16

    Abstract: 本申请涉及真空电子学技术领域,具体而言,涉及一种大物面宽束低能碳纳米管冷阴极电子枪,包括盖板、外壳、底座、聚焦电极、大物面阴极组件以及电极柱,其中:盖板固定在外壳的顶端,外壳的底端固定在底座上;聚焦电极设置在外壳的内部,包括第一聚焦极、减速极和第二聚焦极;大物面阴极组件设置在外壳的内部,通过陶瓷绝缘垫片和连接件绝缘衬套与第一聚焦极固定连接;电极柱通过连接件绝缘衬套固定在底座上。本申请采用大物面碳纳米管阴极、栅极、第一聚焦极、减速极、第二聚焦极的五电极结构,使用的大面积碳纳米管阴极和栅极组成的阴栅结构能够发射稳定、高强度的电子束流。

    一种具有热补偿功能的蒸发舟
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118726913A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410706567.4

    申请日:2024-06-03

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开一种具有热补偿功能的蒸发舟,包括主体、保温层、相变层、热电偶;主体为分体式,主体外围为保温层,保温层外围为相变层,相变层为分体式且与主体对应设置,相变层外部为热电偶。本专利旨在解决因蒸发舟的结构问题及蒸发舟长度方向不同位置散热不同导致的蒸发舟温度分布不均问题,通过设置不同比热容的相变层分块,利用相变层分块材料属性的差异,使得不同相变层分块吸收同等热量时温升不同,与对应主体之间的温差也不同,进而改变对应主体散热速率,实现主体内部物料温度的均匀分布。

    一种地外天体样品密封装置
    59.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118270365A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410392683.3

    申请日:2024-04-02

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明专利公开了一种地外天体样品密封装置,包括密封盖体、密封橡胶圈、密封筒体、压紧环和加热装置;所述密封盖体沿轴线自上向下设置有周向刀口与橡胶圈密封沟槽,密封橡胶圈置于橡胶圈密封沟槽内,密封盖体与密封筒体同轴心配合,所述压紧环嵌套于加热装置内构成运动副,所述加热装置与密封筒体同轴心配合,其顶部加工有接电端子,施加电压于接电端子,加热装置加热压紧环使其发生相变向内收缩,筒体受到压紧力并被密封盖体设置的刀口刃入,同时进一步压紧密封橡胶圈,形成冗余密封;本发明能够实现低功耗自动密封,适用于地外微重力天体样品的真空密封。

    一种螺杆真空干泵转子的设计方法

    公开(公告)号:CN114607603B

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202011445863.1

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本发明涉及真空泵领域,具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法,转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段,并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙,转子设计方法包括如下步骤:步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线;步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理,形成平直段ef;步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构;步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构;步骤五、调整平直段ef的长度,进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态,降低转子泄露,且间隙设计可调。

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