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公开(公告)号：CN102741966A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201180007788.3
申请日：2011-02-01
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
CPC classification number: H01J33/04 , B65B55/08 , G21K5/02 , H01J3/027 , H01J5/18 , H01J33/00 , H01J33/02 , H01J2237/00 , H01J2237/164 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及用在电子束装置中的托板（22）和出射窗箔（20）的组件，所述托板（22）被设计为减少所述箔（20）中的褶皱，这些褶皱可能由于在装配过程中出现过剩的箔而产生。沿着连续的结合线（26）将所述箔（20）结合到所述托板（22）上，连续的结合线（26）围成大体上圆形的区域，在该区域内，所述托板（22）设置有孔和箔支承部分，以及在该区域内，所述箔适于作为所述电子束装置的真空密封外壳的壁的一部分。本发明还涉及在填充机中使用所述组件的方法，以及减少褶皱的方法。
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公开(公告)号：CN101297220B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200680039839.X
申请日：2006-10-13
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
Inventor： 安德斯·克里斯蒂安松 , 拉尔斯·奥克·内斯隆德 , 汉斯·哈尔斯坦迪斯
CPC classification number: A61L2/08 , B65B55/08 , B65B57/00 , G21K5/10 , H01J33/04 , H01J2237/164 , H01J2237/2446 , H01J2237/24495
Abstract: 本发明涉及传感器(10)，用于检测由电子束发生器沿路径产生的电子束的强度，该电子束通过出射窗口(24)从该发生器射出。该发明特征在于传感器(10)包括位于该路径内并且暴露于该出射窗口(24)的导体(26)，以及用于防护该导体(26)的绝缘壳体(28)，所述壳体(28)与该出射窗口(24)相接合，形成具有所述出射窗口(24)的室(30)，并且该导体(26)设在所述室(30)内。本发明还涉及用于检测电子束强度的系统。
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公开(公告)号：CN102341884A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201080010765.3
申请日：2010-03-05
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
CPC classification number: H01J9/263 , B23K20/02 , H01J5/18 , H01J9/24 , H01J33/04 , H01J37/16 , H01J2237/04 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , Y10T156/10 , Y10T428/13
Abstract: 本发明涉及用于组装电子束产生装置的电子出射窗的方法，包括步骤：在该电子束产生装置的外壳上布置箔托板(208)，沿着至少一条连续的结合线(218)将窗箔(206)结合到框架(214)上，从而形成出射窗子组件(216)，且连接该出射窗子组件(216)到该外壳上。本发明也涉及电子出射窗组件。
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公开(公告)号：CN102197301A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980142967.0
申请日：2009-09-24
Applicant: B-纳诺有限公司
IPC: G01N23/00
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0245 , H01J2237/164 , Y10T29/4973
Abstract: 一种被抽真空的装置，包括：密封外壳、电子束源、电子光学部件、薄膜、以及检测器。所述薄膜密封所述密封外壳的孔隙。所述密封外壳限定其中保持真空的被抽真空的空间。所述电子束源配置为生成电子束，所述电子束在所述被抽真空的空间内传播、与所述电子光学部件相互作用、并通过所述薄膜。所述密封外壳的第一部分成形为配合由保持在不被抽真空的环境中的不被抽真空的扫描电子显微镜部件限定的空间。
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