照明器件、曝光装置、调整方法和用于制造物品的方法

    公开(公告)号:CN105278258B

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201510336459.3

    申请日:2015-06-17

    Abstract: 本发明涉及照明器件、曝光装置、调整方法和用于制造物品的方法。一种照明器件包括:多个光源单元,每个光源单元包含:光源、反射来自光源的光的镜子和阻挡被镜子反射并且向照明表面行进的光的一个或更多个遮光部件;以及在瞳面中形成叠加了来自各光源单元的光的叠加光的光强度分布并且用叠加光照射照明表面的照明光学系统。在照明光学系统的瞳面中的光强度分布中,包含于光源单元中一个中的所有遮光部件的阴影的位置与包含于其余光源单元中的至少一个中的所有遮光部件的阴影的位置分开。

    用于激光射束成形的光学系统及包括此系统的激光系统

    公开(公告)号:CN102540471B

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201110426533.2

    申请日:2011-12-19

    Abstract: 本发明涉及用于激光射束成形的光学系统及包括此系统的激光系统。对激光射束(6)成形的光学系统(2)包括:光学元件,它至少部分构造为具有底面(10)、顶面(11)和与底面及顶面邻接的侧面(12)的基体(7),侧面至少部分构造为激光射束的透射面,基体包括第一凹口(8),该第一凹口具有设置在基体的顶面中的底面(14)和至少部分构造为激光射束的第一反射面并产生至少部分呈环状的激光射束(22)的侧面(15)。基体包括第二凹口(9),该第二凹口具有设置在基体的底面中的底面(17)、至少部分地构造为激光射束的透射面的顶面(18)和与底面及顶面邻接的侧面(19),该侧面至少部分构造为至少部分呈环状的激光射束(22)的第二反射面。

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