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公开(公告)号：CN108698884A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680081978.2
申请日：2016-12-16
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B20/00 , C01B33/12 , C01P2004/51 , C01P2004/61 , C01P2006/11 , C01P2006/12 , C01P2006/14 , C01P2006/82 , C03B17/04 , C03B19/066 , C03B19/106 , C03B19/108 , C03B19/1095 , C03B37/01222 , C03B37/027 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/26 , C03C2201/32 , C03C2203/10 , C03C2203/44 , C03C2203/54 , G02B6/02042 , H01J9/247 , H01J61/302
Abstract: 本发明涉及一种制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅颗粒，ii.)从所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体，和iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体，其中所述提供包含步骤I.提供由硅‑氯化合物制造的具有至少两个粒子的二氧化硅粉末，II.使所述二氧化硅粉末与蒸汽接触以获得经处理的二氧化硅粉末，和III.对所述经处理的二氧化硅粉末造粒以获得二氧化硅颗粒，且其中所述二氧化硅粉末的氯含量大于所述二氧化硅颗粒的氯含量。本发明进一步关于一种可通过此方法获得的石英玻璃体。本发明进一步关于一种提供二氧化硅颗粒的方法。本发明进一步关于一种光导、一种照明体和一种成型体，其中的每一者可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。
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公开(公告)号：CN105439441A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm-700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt. ppm-100wt. ppm的平均OH含量和2,500wt. ppm-10,000wt. ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN105314892A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510395170.9
申请日：2015-07-07
Applicant: 株式会社藤仓
Inventor： 滨口浩辉
IPC: C03C25/60
CPC classification number: C03C25/607 , C03B37/01 , C03B2201/22 , C03C13/047 , C03C25/106 , C03C2201/22 , C03C2203/54 , G02B6/02 , Y02P40/57
Abstract: 本发明的光纤的处理方法以具有纤芯和包围该纤芯的包层的由石英玻璃构成的光纤为对象，具有将该光纤暴露在含有能够与光纤内的非交联氧结合(交联)而处理非交联氧缺陷的氧交联性元素的气体中，使上述氧交联性元素渗入光纤中的含氧交联性元素气体暴露工序、和接着将光纤放置在不含有氧交联性元素的非氧交联性气氛中，使上述氧交联性元素在光纤内扩散的扩散工序。并且，光纤的处理方法具备在实施上述含氧交联性元素气体暴露工序以前的阶段，决定含氧交联性元素气体暴露后的基于非氧交联性气氛中放置的扩散处理的条件中的、至少气氛温度的非氧交联性气氛中放置条件决定工序。该非氧交联性气氛中放置条件决定工序具有第一阶段～第三阶段。
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公开(公告)号：CN104854047A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201380064885.5
申请日：2013-12-11
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/027 , C03B37/10 , C03C13/04 , G02B6/00
CPC classification number: C03C13/046 , C03B37/02727 , C03B2201/50 , C03B2205/55 , C03B2205/56 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , G02B6/02395 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种可制造具有优异耐氢性的低损耗碱金属掺杂光纤的方法。该光纤制造方法具有：拉伸步骤，其中在拉伸炉中拉伸光纤母材从而制造石英玻璃系光纤，该石英玻璃系光纤具有芯区域、以及包围该芯区域的包层区域，其中该芯区域包含平均浓度为至少0.5原子ppm的碱金属；以及在加热炉中加热所述光纤的加热步骤，其中，从所述拉伸炉拉伸出的光纤穿过所述加热炉。
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公开(公告)号：CN102674682B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210058782.5
申请日：2012-03-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 浦田佑平
IPC: C03B37/014 , C03C13/00
CPC classification number: C03B37/01453 , C03B37/01446 , C03B2201/12 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2203/54
Abstract: 经过由氯系气体环境中将多孔质玻璃堆积体加热处理并进行脱水的第一步骤、在含氟源的气体环境中进行加热处理并添加氟的第二步骤、在包含氟源的气体环境中用比上述第二步骤高的温度进行加热处理，透明玻璃化的第三步骤构成的烧结步骤制造含氟光纤基材的方法；其特征在于，所述第一步骤、第二步骤及第三步骤的处理温度分别依次为T1、T2、T3(k)，上述第二步骤及第三步骤的氟源气体浓度，依次为C2、C3(％)，当参数Q用下列数学式1表达的时候，参数Q的值为Q＞0.14的范围的处理温度、氟源气体浓度来制造。[数学式1]Q＝C2×exp(-T2/T1)+C3×exp(-T3/T2)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103492338A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280018685.1
申请日：2012-04-13
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C21/001 , C03C3/087 , C03C15/00 , C03C21/007 , C03C2203/54
Abstract: 在短时间内有效地制得具有折射率低的性能优异的低折射率层的玻璃基体。在将玻璃基体的玻璃化转变温度设为Tg的情形下，在该玻璃基体的温度为400℃～Tg＋60℃的范围内，通过使含有结构中存在氟原子的分子的气体或液体与运送中的玻璃基体接触来进行所述表面处理而制造玻璃基体。
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公开(公告)号：CN101959820A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106555.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/075 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。
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公开(公告)号：CN101959817A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106333.X
申请日：2009-02-25
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/23 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54
Abstract: 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。
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公开(公告)号：CN101959812A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号：CN101426744A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780013293.5
申请日：2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件，该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1～3wt％的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始，为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件，按照本发明建议：第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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