一种光频调制器调制延迟的数字化测量方法及装置

    公开(公告)号:CN106124032B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN201610724499.X

    申请日:2016-08-25

    Abstract: 本发明涉及一种光频调制器调制延迟的数字化测量方法及装置,属于光电测量技术领域。该装置包括稳频激光器、偏振片、λ/2波片、分光镜、移频器、反射镜、被测光频调制器、调制信号源、反射镜、半透半反镜、偏振片11、光电探测器、数字示波器、电子计算机。被测对象为光频调制器的激励控制信号和调控后的光频信号两者之间的延迟时间;使用外差式激光干涉测量装置获得光频调制器的激光频率调控信号波形,并将光信号转变成电信号。该方法可获得良好的收敛性,具有较高的测量准确度,并对载波非平稳且幅度包络变化剧烈的情况具有良好的自适应性。

    干涉差动位移法微小力控制系统

    公开(公告)号:CN109917828B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN201910297225.0

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 本发明公开的干涉差动位移法微小力控制系统,属于精密测量技术领域。本发明主要由控制及信息输出模块、光学测量模块、微小力发生模块组成。控制及信息输出模块用于测量光学测量信号,微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯。光学测量模块用于将测量值及计算控制值与微小力值建立相互的对应关系,综合计算输出微小力的数据。微小力发生模块利用静电力方法,采用梳齿结构提高静电力获得微小力值的分辨能力和范围。本发明能够在微小力值的多种环境条件,通过干涉方法准确微小力值发生的位移变化进而确定微小力值的大小。本发明具有较高适应性和准确性,结构紧凑。和量值度量。

    纳米压入面积测量装置
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110132184B

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN201910494551.0

    申请日:2019-06-10

    Abstract: 本发明公开的纳米压入面积测量装置,属于光学及力学精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学系统模块、信号解调模块、数据处理模块组成。所述光学系统模块中主要由光源,散射测量光学部件、散射测量接收器件组成。本发明采用稳定功率输出的激光作为测量光源;光束经分光棱镜后进入会聚物镜聚集于纳米压入压头;调控激光光源的功率,散射光经会聚物镜及分光棱镜在测量接收器件获取测量光电信号,根据信号处理纳米压入压头与被测对象间距及面积,通过散射光功率和光斑范围确定纳米压入面积,提高纳米压入面积测量的准确度,具有较高测量对象适应性。

    一种微尺度激光测量扫描装置

    公开(公告)号:CN110850659A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911185865.9

    申请日:2019-11-27

    Inventor: 梁志国 朱振宇

    Abstract: 本发明公开的一种微尺度激光测量扫描装置,属于微纳米测量和光电测量技术领域。本发明包括激光测量仪器、第一λ/2波片、第二λ/2波片、第三λ/2波片、第一偏振分光镜、第二偏振分光镜、第三偏振分光镜、第一透镜、第二透镜、被测目标、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一声光调制器、第二声光调制器、正弦信号源、电子计算机。以声光调制器的光频衍射色散为基础,用频率信号进行位移控制,实现微尺度范围的精确扫描控制,扫描过程中,仅有测量激光束在平移扫描,同时避免机械结构运动,没有机械回程、迟滞、磨损、环境条件漂移等缺陷,能够实现高精度的扫描控制。通过本发明能够将简单的测量激光光束变成具有精确微位移功能的光学扫描探针。

    纳米压入面积测量装置
    45.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110132184A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910494551.0

    申请日:2019-06-10

    Abstract: 本发明公开的纳米压入面积测量装置,属于光学及力学精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学系统模块、信号解调模块、数据处理模块组成。所述光学系统模块中主要由光源,散射测量光学部件、散射测量接收器件组成。本发明采用稳定功率输出的激光作为测量光源;光束经分光棱镜后进入会聚物镜聚集于纳米压入压头;调控激光光源的功率,散射光经会聚物镜及分光棱镜在测量接收器件获取测量光电信号,根据信号处理纳米压入压头与被测对象间距及面积,通过散射光功率和光斑范围确定纳米压入面积,提高纳米压入面积测量的准确度,具有较高测量对象适应性。

    双飞秒光学频率梳产生装置

    公开(公告)号:CN107918237A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201810017960.7

    申请日:2018-01-09

    Abstract: 本发明涉及一种双飞秒光学频率梳产生装置,属于飞秒激光技术领域。该装置具有光纤和空间光路组成的环形谐振腔结构,包括:泵浦源、波分复用器、压电陶瓷、掺铒光纤、单模光纤、第一光纤准直镜、第二光纤准直镜,以及空间光路元件第一1/4波片、第一1/2波片、偏振分束棱镜、光隔离器、第二1/2波片、第二1/4波片;还包括光栅对;所述光栅对由第一光栅和第二光栅组成,置于所述偏振分束棱镜与所述光隔离器之间。装置通过光栅对引入光程差,从而产生重复频率有差异的双飞秒光学频率梳,重频差可通过光栅对的间距进行调节。本发明的装置成本低、体积小、结构简单紧凑、操作方便,具有广泛的工程应用前景。

    一种基于参数拟合的冲击波形峰值测量方法

    公开(公告)号:CN104796116B

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201410384342.8

    申请日:2014-08-06

    Abstract: 本发明涉及一种基于参数拟合的冲击波形峰值测量方法,属于振动冲击、机械工程领域以及计量测试技术领域。具体方法为使用冲击激励源产生冲击激励,用传感器及配套波形数据采集系统进行波形测量,获得完整的冲击测量波形等间隔采样序列;用比较法获得冲击波形的最大值和最小值;从冲击测量波形等间隔采样序列中截取最大值和最小值之间靠近峰值附近的近似半正弦部分波形用于峰值计算;用正弦波拟合方法进行冲击波形峰值的四参数拟合过程;以拟合正弦波幅度值和直流分量迭加计算冲击测量波形峰值;给出拟合残差有效值作为峰值拟合优劣的辅助判据。具有不需要峰值滤波器,准确度和分辨力更高的计算效果。

    一种激光测振仪阶跃响应的测量装置及方法

    公开(公告)号:CN106382979A

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:CN201610849472.3

    申请日:2016-09-23

    Inventor: 梁志国 朱振宇

    CPC classification number: G01H9/00

    Abstract: 本发明涉及一种激光测振仪阶跃响应特性的测量装置及方法,属于光电测量技术领域。本发明的光频调制器测量装置,包括被计量对象激光测振仪、偏振片P1、偏振片P2、偏振反射镜M1、半透半反镜M2、声光调制器AOM1、声光调制器AOM2、FM信号源、方波信号源、正弦信号源、半透半反镜M3、反射镜M4、M5、M6、M7、半透半反镜M8、光电探测器等,通过拍频将该光频调制信号下变频至射频范围,然后,借助于高速数据采集和量化技术获取信号波形序列,以数字化方式实现激光频率调制信号波形的瞬时频率精确解调,进而获得作为标准的运动速度波形和运动加速度波形,并最终解决激光测振仪本身阶跃响应的精确测量和量值溯源问题。

    一种激光测振校准用大触发延迟的量子化测量方法

    公开(公告)号:CN106153177A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610724475.4

    申请日:2016-08-25

    Inventor: 梁志国 朱振宇

    CPC classification number: G01H9/00

    Abstract: 本发明涉及一种激光测振校准用大触发延迟的量子化测量方法,属于无线电计量测试技术领域。利用相同延迟时间差所对应的正弦信号相位差与正弦信号频率成正比,且相位同时具有周期性的量子化特征,使用互相为质数规律的3个不同频率正弦波形作为触发激励信号,利用固定触发延迟τ在不同频率fk下的相位差φk具有在基础相位差基础上以2π为间隔跳动的量子化特征且理论上不同相频点(fk,φk)在同一直线上来判定量子化整数,再使用这些正弦激励信号周期(频率fk)和相位差φk来测量τ,激光测振仪的延迟可进一步通过数字示波器大触发延迟测量功能来读取。本发明无需硬件延迟器件,可实现对任意选定的大触发延迟进行精确测量和校准。

    一种用于二维光电显微镜的H形狭缝

    公开(公告)号:CN105334611A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201510689245.4

    申请日:2015-10-21

    CPC classification number: G02B21/36 G02B23/10

    Abstract: 本发明涉及一种用于二维光电显微镜的H形狭缝,属于精密测量领域,涉及对精密测量装备的改进。H形狭缝由光学玻璃加工而成,遮光区域由不透光材料在光学玻璃上蒸镀形成,通光区域则是将蒸镀材料去除后得到。通光区域由处于同一直线的2个宽度相同的长方形通光孔组成;并且2个长方形通光孔之间的间距大于长方形通光孔的宽度。本发明提出的一种用于二维光电显微镜的H形狭缝的优点是可以屏蔽二维线纹刻线交叉点附近的制造瑕疵对测量结果的干扰,从而提高二维线纹测量精度。

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