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公开(公告)号：CN101672625A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910024280.9
申请日：2009-10-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了硬脆性光学材料亚表面损伤层厚度的测量方法，首先使用磁流变加工工艺在样品表面加工出一特定剖切平面，剖切亚表面损伤层，并将亚表面损伤反映到剖切平面上；使用腐蚀性化学试剂对剖切平面进行处理，将剖切平面上的亚表面裂纹暴露放大；使用粗糙度测量工具测量剖切平面上不同位置处的粗糙度值，得到粗糙度值变化曲线；由粗糙度曲线上取得数据开始趋向平稳的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层厚度d。采用本发明方法快捷、准确，可测量多面型、多材料的光学样品，亦可实现大口径、工程化应用。
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公开(公告)号：CN101042340A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710017792.3
申请日：2007-04-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明针对基于半导体激光器的近红外光纤检测方法的高成本、实用化程度低的不足，公开了一种基于微分光器的光纤传输红外吸收式甲烷气体的检测方法，其特征是，采用宽带红外光源、闪耀光栅、传输光纤、吸收气室、光电探测器、信号处理电路组成测试系统。由红外LED光源发出的光，通过闪耀光栅分光获得中心波长为1331nm的窄带光源，通过入射光纤传输，经过透镜准直入射到充满甲烷气体的吸收气室，出射光通过自聚焦透镜耦合至出射光纤，再传输到光电探测器及信号处理电路，基于Beer－Lambert气体红外吸收定律，通过检测透过气室的红外光衰减情况可以获得气室内的甲烷气体浓度。
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公开(公告)号：CN118707011A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410806212.2
申请日：2024-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种多通道色谱富集系统与分析方法，所述系统包括：富集装置、切换装置、多通道色谱装置；其中，样品气化后进入富集装置进行富集，随后送至切换装置进行分流，最后送至多通道色谱装置进行分析。所述方法包括：样品气化后进入富集装置进行富集，经过预分析后得到检测到的物质；将检测到的物质输送至切换装置进行分流；分流后进入多通道色谱装置进行分析。本发明根据分析气样的不同理化性质，选取不同的富集器、色谱柱与检测器，开发了一种基于集成系统的富集与分析方法，通用性较强，适合于多种应用场合下的气相色谱分析。
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公开(公告)号：CN114965598A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210480855.3
申请日：2022-05-05
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种掺锡氧化镍贵金属修饰的MEMS甲醛传感器及制备方法，在Si基底正反面制备双面氧化硅层、高频Si3N4正应力层、低频Si3N4负应力层、高频Si3N4正应力层、多孔Si3N4低热导率绝缘层；再制备出包括测温电阻、加热电极和敏感叉指电极对，沉积Cr‑Au薄膜制备敏感层图案、掺锡NiO敏感层薄膜；溅射Sn薄膜，Pt和Pd混合靶材贵金属薄膜；制备背部掩蔽层SiO2‑Si3N4；形成绝热槽；通过划片得到气体传感器芯片。通过掺锡氧化镍表面制备贵金属复合颗粒，增加薄膜的比表面积，形成P‑N异质结，提升了甲醛传感器的力学性能，具有更低的热传导系数和更高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN113466393B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202110655172.2
申请日：2021-06-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N30/60 , B01D15/10 , B01D53/04 , B01J20/283 , B01J20/30
Abstract: 本发明公开了一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法，包括在硅片上光刻剥离形成铝掩膜层；通过刻蚀形成带有微立柱阵列的色谱柱微流道；酸溶液浸泡硅片，去除掩膜并与硼硅玻璃键合；在硅片背面溅射钛与铂作为测温电阻、加热丝与电极；溅射金作为电极引脚；毛细管连接微型气相色谱柱两端口；在色谱柱微流道内构筑介孔二氧化硅微球，静态涂覆方式涂覆离子液体固定相。色谱柱内介孔结构极大增加了固定相的涂覆面积，在有限色谱柱长度内提高分离能力，对氧气有很好的耐受性，保证微色谱柱在高温有氧环境下的高可靠性、高稳定性和高柱效，能够直接运用空气作载气，为VOCs检测系统提供一种优良的微色谱柱。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114689654A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210335484.X
申请日：2022-03-31
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多孔金属氧化物晶圆级微纳气体传感器及制备方法，包括在Si基底正背面制备SiO2‑Si3N4双层复合薄膜；薄膜上沉积SiO2和Si3N4，正面绝缘层上光刻得到敏感材料区域的图形；自组装单层SiO2微球，干法刻蚀Si3N4，BOE去除SiO2微球，制作多孔金属氧化物薄膜。光刻工艺得到敏感电极及引线盘、加热电极及引线盘、测温电极及引线盘的图案；湿法腐蚀制作绝缘槽，烘干，得到多孔金属氧化物晶圆级微纳气体传感器。该传感器通过实现多孔金属氧化物薄膜的制作来提高传感器的气敏性能。本发明中敏感材料带有亚微米级微孔，具有极高的比表面积和更好的气体响应特性，能够实现与MEMS工艺的集成，从而实现晶圆级芯片的加工。
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公开(公告)号：CN112798649B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202011565905.5
申请日：2020-12-25
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种贵金属量子点修饰多层纳米复合薄膜气体传感器制备方法，采用双面氧化和氮化硅片作为基底，以贵金属量子点修饰的多层纳米复合薄膜作为气敏材料，并通过溅射方法沉积在硅片基底上，与测试电极在氮化硅层正面上方中心叠层设置，梳齿‑插齿复合状结构的测试电极设在敏感材料上方；加热丝呈剪刀状在测试电极外围环绕两层，梳齿‑插齿复合状测试电极的引出端设于加热丝的剪刀口，加热丝和测试电极分别连接一对对称分布的引线盘。本发明采用溅射方法制备多层纳米复合薄膜和量子点，传感器结构简单，易于封装，结构微型化，功耗低；气敏薄膜一致性高，可以对极低浓度的目标气体进行检测；制备过程流程化，兼具高灵敏度和满足晶圆级气体传感器生产要求。
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公开(公告)号：CN113466393A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110655172.2
申请日：2021-06-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N30/60 , B01D15/10 , B01D53/04 , B01J20/283 , B01J20/30
Abstract: 本发明公开了一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法，包括在硅片上光刻剥离形成铝掩膜层；通过刻蚀形成带有微立柱阵列的色谱柱微流道；酸溶液浸泡硅片，去除掩膜并与硼硅玻璃键合；在硅片背面溅射钛与铂作为测温电阻、加热丝与电极；溅射金作为电极引脚；毛细管连接微型气相色谱柱两端口；在色谱柱微流道内构筑介孔二氧化硅微球，静态涂覆方式涂覆离子液体固定相。色谱柱内介孔结构极大增加了固定相的涂覆面积，在有限色谱柱长度内提高分离能力，对氧气有很好的耐受性，保证微色谱柱在高温有氧环境下的高可靠性、高稳定性和高柱效，能够直接运用空气作载气，为VOCs检测系统提供一种优良的微色谱柱。
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公开(公告)号：CN112798649A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011565905.5
申请日：2020-12-25
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市天地通电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种贵金属量子点修饰多层纳米复合薄膜气体传感器制备方法，采用双面氧化和氮化硅片作为基底，以贵金属量子点修饰的多层纳米复合薄膜作为气敏材料，并通过溅射方法沉积在硅片基底上，与测试电极在氮化硅层正面上方中心叠层设置，梳齿‑插齿复合状结构的测试电极设在敏感材料上方；加热丝呈剪刀状在测试电极外围环绕两层，梳齿‑插齿复合状测试电极的引出端设于加热丝的剪刀口，加热丝和测试电极分别连接一对对称分布的引线盘。本发明采用溅射方法制备多层纳米复合薄膜和量子点，传感器结构简单，易于封装，结构微型化，功耗低；气敏薄膜一致性高，可以对极低浓度的目标气体进行检测；制备过程流程化，兼具高灵敏度和满足晶圆级气体传感器生产要求。
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公开(公告)号：CN111638282A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202010496793.6
申请日：2020-06-03
Applicant: 西安交通大学 , 上海礽芯生物科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于肝病快速筛查的便携式检测设备及其检测方法，包括样品气体采样袋、惰性气体载气瓶、微型电磁阀集成模块、富集器、色谱柱、传感单元和单片机单元，微型电磁阀集成模块将流经微通道的样品气体和惰性气体分别流经富集器和色谱柱，进行通道切换后进入富集器或色谱柱；传感单元将进入的样品气体感应并进行电信号提取；通过单片机单元控制各模块对信号进行传递、交互，依据不同程度肝病特征气体的指纹特征，利用单片机单元中的模式识别算法进行肝病的快速筛查诊断。本发明具有智能化、检测成本低、简单安全、检测时间短、易携带等特点，可以用于家庭、社区、诊所等更广泛的场合进行初步的疾病筛查。
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