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公开(公告)号：CN101034880A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710079179.4
申请日：2007-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: H03H9/25 , H03H9/10 , H01L41/083
Abstract: 本发明提供一种拉姆波式高频设备、拉姆波式高频设备的制造方法，该设备可提高结构强度、实现稳定的特性，该方法在制造步骤中不易破裂、可以提高成品率。拉姆波式高频设备(10)由在一个主面上形成有IDT电极(30)的压电基板(20)和接合在压电基板(20)的另一个主面上的加强基板(50)构成，在压电基板(20)和加强基板(50)的接合面上设有面积大于拉姆波的传输区域的空间(54)。并且，该拉姆波式高频设备(10)的制造方法包括：在加强基板(50)上形成相当于空间(54)的凹部(53)的步骤；在凹部(53)内形成牺牲层的步骤；在接合压电基板(20)的厚板和加强基板(50)之后，将压电基板(20)的厚板研磨为规定厚度的步骤；形成IDT电极(30)和反射器(41、42)的步骤；以及去除牺牲层以形成空间(54)的步骤。
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公开(公告)号：CN117928507A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410110455.2
申请日：2021-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01C19/5614 , B81B7/02 , G01C19/5776
Abstract: 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器(1)包含：基板(2)，其设置有第1固定电极(24)；可动体(3)，其包含与第1固定电极对置的第1质量部(34)。第1质量部包含第1区域(61)和远离旋转轴(AY)的第2区域(62)，在第1、第2区域分别设置有第1、第2贯通孔组，可动体包含基板侧的第1面(6)和第2面(7)。在第1质量部的第1面，设置有用于使第1区域中的第1质量部与第1固定电极间的第1空隙的第1间隙距离小于第2区域中的第1质量部与第1固定电极间的第2空隙的第2间隙距离的阶梯差或斜面。第1和第2贯通孔组的贯通孔的深度小于可动体的最大厚度。
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公开(公告)号：CN114485599B
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202111246032.6
申请日：2021-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01C19/5614 , G01C19/5776
Abstract: 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器(1)包含：基板(2)，其设置有第1固定电极(24)；可动体(3)，其包含与第1固定电极对置的第1质量部(34)。第1质量部包含第1区域第2区域分别设置有第1、第2贯通孔组，可动体包含基板侧的第1面(6)和第2面(7)。在第1质量部的第1面，设置有用于使第1区域中的第1质量部与第1固定电极间的第1空隙的第1间隙距离小于第2区域中的第1质量部与第1固定电极间的第2空隙的第2间隙距离的阶梯差或斜面。第1和第2贯通孔组的贯通孔的深度小于可动体的最大厚度。(61)和远离旋转轴(AY)的第2区域(62)，在第1、
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公开(公告)号：CN116621111A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310139332.7
申请日：2023-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且，在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第一凹部，在第二固定电极组设置有向第三方向凹陷的第二凹部，在框架部的第二可动电极组侧的区域设置有向第三方向凹陷的第三凹部。
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公开(公告)号：CN112147369B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202010578057.5
申请日：2020-06-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
Abstract: 提供惯性传感器、电子设备及移动体。当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116068222A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211316966.7
申请日：2022-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
Abstract: 本发明提供物理量传感器及惯性测量装置，能够同时实现小型化和高精度化。物理量传感器(1)包括：第一固定电极部(10)、第一可动电极部(20)、固定于基板(2)的第一固定部(40)、一端与第一固定部连接的第一支撑梁(42)、一端与第一固定部连接的第二支撑梁(43)、以及连结第一支撑梁的另一端及第二支撑梁的另一端与第一可动电极部的第一连结部(30)。在从与基板正交的第三方向(DR3)俯视时，第一可动电极部、第一固定部沿第一方向(DR1)配置，第一支撑梁及第二支撑梁沿第二方向(DR2)配置，第一连结部包括：与第一支撑梁及第二支撑梁排列而沿第二方向配置的第一部分、和与第一部分和第一可动电极部连接并沿第一方向配置的第二部分。
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公开(公告)号：CN110346603B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201910251468.0
申请日：2019-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种物理量传感器及其设备、复合传感器设备和电子设备，具有优异的检测灵敏度。物理量传感器包括：基板；与基板相对的可动体；固定于基板的固定部；连接可动体和固定部的支承梁。另外，可动体能够将支承梁作为旋转轴而进行位移，在俯视时，可动体包括相对于旋转轴位于第二方向的一侧的第一质量部和位于另一侧的第二质量部。另外，第一质量部以及第二质量部分别具有贯通可动体并且开口形状为正方形状的多个贯通孔。另外，将阻尼设为C、将阻尼的最小值设为Cmin时，满足C≤1.5×Cmin。
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公开(公告)号：CN109425755B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201810996247.1
申请日：2018-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
Abstract: 一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部；第一、第二固定电极，设置于支承基板上，与第一、第二质量部相对；以及突起，设置于设有第一、第二固定电极的区域，从支承基板朝向第一、第二质量部突出，在交叉方向上，当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L，且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1为0.18L以上0.88L以下。
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公开(公告)号：CN107010588B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201610846981.0
申请日：2016-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
Abstract: 本发明提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其以与底基板(2)对置并能够相对于底基板(2)而进行位移的方式被设置；第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)，其以与可动部(42)对置的方式被配置在底基板(2)上；多个突起部(6)，其被配置在底基板(2)的可动部(42)侧且被配置于在俯视观察时与可动部(42)重叠的位置处，突起部(6)具有导体层和绝缘层，所述导体层与第一固定电极(51)以及第二固定电极位(52)为相同电位，所述绝缘层相对于导体层而被设置在与底基板(2)相反的一侧。
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公开(公告)号：CN112698054A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011139915.2
申请日：2020-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种物理量传感器、电子设备和移动体，物理量传感器具有：基板；以及可动体，与基板隔开空隙并与第三方向相对，且相对于基板在第三方向上位移。可动体具有：第一部分和第二部分；以及多个贯通孔，配置于第一部分和第二部分，且在第三方向上贯通。并且，在将阻尼作为C、将阻尼的最小值作为Cmin时，在从第三方向的俯视观察下，在与第一部分重叠的第一区域和与第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足C≤1.5×Cmin。
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