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    振动片、振子、振荡器以及电子仪器
    41.
    发明公开
    振动片、振子、振荡器以及电子仪器 失效

    公开(公告)号：CN102035498A

    公开(公告)日：2011-04-27

    申请号：CN201010501423.3

    申请日：2010-10-08

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山田明法

    IPC: H03H9/21 ,  H03H9/00

    CPC classification number: H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/21

    Abstract: 提供一种降低了CI值且抑制了不必要振动的小型的振动片、振子、振荡器以及电子仪器。压电振动片(81)具备：一对振动臂(83)，其从基部(22)一端侧起分成两叉而互相平行地延伸；锤部(85)，被设置在各个振动臂(83)的前端一侧；具有底部的第1槽部(87)，其沿着各个振动臂(83)的长度方向设置。在从第1槽部(87)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第1激励电极(89)；在从振动臂(83)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第2激励电极(90)。在比从各个振动臂(83)与基部(22)相连接部分的基端到前端(锤部(85)的前端)的长度L的一半L/2更靠前端一侧的第1槽部(87)上，形成有用于集中质量的槽内突出部(95)。

    振动片、振子、振荡器及电子设备
    42.
    发明公开
    振动片、振子、振荡器及电子设备 失效

    公开(公告)号：CN102025341A

    公开(公告)日：2011-04-20

    申请号：CN201010277937.5

    申请日：2010-09-08

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山田明法 ,  古畑诚

    IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15

    CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021

    Abstract: 本发明提供一种可在确保耐冲击性的同时抑制Q值下降的振动片、振子、振荡器及电子设备。压电振动片具有所谓音叉型的外形，具有基部、和从基部的一端侧分成两股并列地延伸的一对振动臂。各振动臂具有：窄幅部，其是振动臂的两个侧面之间的宽度较窄的部分；宽幅部，在与基部连接的根部部分，从窄幅部朝向基部侧，两个侧面之间的宽度逐渐变宽，并在与基部的连接根部成为最大宽度。在各振动臂的两个主面沿着长度方向设有有底的长槽。各长槽形成为宽幅部的堤岸部(25)的宽度(t2)与堤岸部(25’)的宽度(t2’)之和，比窄幅部的堤岸部(25)的宽度(t1)与堤岸部(25’)的宽度(t1’)之和小。

    振动元件的制造方法
    43.
    发明公开
    振动元件的制造方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN116131789A

    公开(公告)日：2023-05-16

    申请号：CN202211418004.2

    申请日：2022-11-14

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 小林琢郎 ,  坂田日和 ,  山田明法

    IPC: H03H3/02

    Abstract: 振动元件的制造方法。能够抑制无用振动的产生和振动元件的破损。振动元件的制造方法包括：第1干蚀刻工序，从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第1槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形；第2干蚀刻工序，从第2面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第2槽和上述外形；湿蚀刻工序，形成连接底面和槽内侧面的倾斜面，在设第1槽和第2槽的深度为D、深度减去倾斜面的Z方向的长度后的值为D1时，满足D1/D≥0.80。

    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
    44.
    发明授权
    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 有权

    公开(公告)号：CN109217838B

    公开(公告)日：2021-12-24

    申请号：CN201811050020.4

    申请日：2014-06-24

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

    IPC: H03H9/05 ,  H03H9/21

    Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。

    振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体
    45.
    发明授权
    振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体 有权

    公开(公告)号：CN104753491B

    公开(公告)日：2019-12-10

    申请号：CN201410828016.1

    申请日：2014-12-26

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山田明法

    IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19 ,  G06F17/50

    Abstract: 提供振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体，能够减少振动泄漏。振子(1)具有：振动元件(2)；安装有振动元件(2)的封装(9)；以及将振动元件(2)固定于封装(9)的导电性粘合部件(11、12)。在设振动元件(2)的基部(31)的宽度为W1、连结部(35)的宽度为W2、导电性粘合部件(11、12)的杨氏模量为E时，在满足‑1.3GPa≤logE≤‑0.7GPa的关系时，满足0.1≤W2/W1≤0.7的关系。

    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
    47.
    发明授权
    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 有权

    公开(公告)号：CN104242860B

    公开(公告)日：2018-10-02

    申请号：CN201410286254.4

    申请日：2014-06-24

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

    IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19

    Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。

    振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
    48.
    发明授权
    振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 有权

    公开(公告)号：CN104052426B

    公开(公告)日：2018-08-10

    申请号：CN201410087903.8

    申请日：2014-03-11

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山田明法

    IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

    CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/215

    Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够在减少CI值的上升的同时发挥优异的振动特性。振动元件（2）包含：基部（4）；以及1对振动臂（5、6），它们与基部（4）一体设置，在X轴方向上排列，从基部（4）朝Y轴方向延伸，振动臂（5、6）分别包含：臂部（51、61）；以及位于臂部（51、61）的自由端侧、且X轴方向的长度比臂部（51、61）长的宽锤头（59、69），在设振动臂（5、6）的Y轴方向的长度为L、锤头（59、69）的Y轴方向的长度为H时，满足1.2%＜H/L＜30.0%的关系，在设臂部（51、61）的X轴方向的长度为W1、锤头（59、69）的X轴方向的长度为W2时，满足1.5≤W2/W1≤10.0的关系。

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